n-InP yarıiletkeni ile hazırlanan TiO2 arayüzey tabakalı metal yarıiletken kontakların elektriksel özelliklerinin incelenmesi
INVESTIGATING THE ELECTRICAL PROPERTIES OF METAL SEMICONDUCTOR CONTACTS PREPARED ON n-InP SEMICONDUCTOR WITH TiO2 INTERFACIAL LAYER
- Tez No: 395660
- Danışmanlar: DOÇ. DR. METİN ÖZER
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2015
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Gazi Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
ÖZET Bu çalışmada, (100) yönelimli, 500 μm kalınlığında 3,13x1018 cm-3 taşıyıcı yoğunluğuna sahip n-InP yarıiletkeni üzerine sputtering (püskürtme) metodu ile Ag/TiO2/n-InP/Au yapılar oluşturuldu. Arayüzeydeki TiO2 filmler püskürtme cihazında iki farklı kalınlıkta, 60 Ǻ ve 120 Ǻ olarak büyütüldü. Bu yapıların bazı temel parametreleri 120-420 K sıcaklık aralığında incelendi. Hazırlanan yapıların akım-gerilim (I-V) ölçümlerinden; idealite faktörü n, Schottky engel yüksekliği ΦB ve diğer bazı diyot parametreleri hesaplandı. Oda sıcaklığında, engel yüksekliği 60 Ǻ film kalınlığı için 0,524 eV, idealite faktörü 1,39 ve 120 Ǻ film kalınlığı için ise 0,50 eV, 1,42 bulundu. Sıcaklık artışıyla idealite faktörünün azaldığı, bariyer yüksekliğinin ise arttığı gözlendi. Akım iletimi ile ilgili olarak termoiyonik emisyon, Cheung Cheung metodu, Norde metodu uygulanarak parametreler hesaplandı ve bulunan sonuçlar kıyaslandı. Akım-gerilim ölçümlerinden elde edilen verilere Gauss Dağılımı uygulandı ve diyotların ikili Gauss Dağılımı verdiği görüldü, ortalama engel yükseklikleri Gauss Dağılımından hesaplandı. Bilim
Özet (Çeviri)
ABSTRACT In this study, Ag/TiO2/n-InP structures were prepared on n-type InP semiconductor with orientation (100) and having 500 μm thickness and carriers concentration of 3,13x1018 cm-3 by sputtering method. The TiO2 films with two different thickness were formed on the n- InP by sputtering system. Some basic electrical parameters of these Ag/TiO2/n-InP/Au structures were investigated in the range of 120-420 K. Ideality factor n, Schottky barrier heights ΦB and other related diode parameters of prepared structures have been calculated by currrent- voltage (I-V) measurements. At room temperature, it has been determined for barrier height as 0,524 eV and for ideality factor as 1,39 for 60 Ǻ film thickness, 0,50 eV and 1,42 for 120Ǻ film thickness, respectively. It has been observed that ideality factor decreases and barrier height increases with an increase in temperature. Related with current transport, termoionic emission theory, Cheung Cheung method and Norde method are used to calculate the diodes parameters and they are compared with each other. Gauss distribution is applied to the data gained from I-V measurements. It is seen that the diodes gave double Gaussian distribution. Mean barrier heights are calculated by using Gaussian distribution. Science
Benzer Tezler
- Yüksek dielektrik sabitli yalıtkan filmlerin üretilmesi ve mos yapıda incelenmesi
Fabrication and characterization of high-k dielectric films in mos structure
AYŞE EVRİM SAATCİ
Doktora
Türkçe
2015
Fizik ve Fizik MühendisliğiYıldız Teknik ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. KUBİLAY KUTLU
- Au/TiO2/p-GaAs Diyotun Elektronik özelliklerinin incelenmesi
Investigation of electronic properties of Au/TiO2/p-GaAs (mis) diode
İRFAN ÜNAL
Yüksek Lisans
Türkçe
2025
Fizik ve Fizik MühendisliğiGazi ÜniversitesiFotonik Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ADEM TATAROĞLU
- Dört bileşenli fonksiyonel malzeme arayüzeyli metal/yarıiletken (MS) fotodiyotların hazırlanması ve elektrik ile optik özelliklerinin incelenmesi
The fabrication of metal/semiconductor (MS) photodiodes with quaternary functional interfacial layer and investigation their electric and optic characteristics
KEVSER YILDIZ
Yüksek Lisans
Türkçe
2025
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiGazi Üniversitesiİleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. SEÇKİN ALTINDAL YERİŞKİN
- Dört bileşenli fonksiyonel yarıiletken infrared fotodedektörlerinin üretilmesi ve elektronik özelliklerinin belirlenmesi
Fabrication of quaternary functional semiconductor infrared photodetectors and investigation of their electronic properties
MUSTAFA İLHAN
Doktora
İngilizce
2019
Fizik ve Fizik MühendisliğiFırat ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. FAHRETTİN YAKUPHANOĞLU
- Magnetron saçtırma yöntemiyle hazırlanan metal/P-InP Schottky diyotların karakteristik parametrelerinin tavlama ve numune sıcaklığına bağlı değişimlerinin incelenmesi
Investigation of changes in caharacteristic parameters of metal/P-InP Schottky diodes prepared by magnetron sputter method depend on annealing and sample temperature
KADİR EJDERHA
Doktora
Türkçe
2012
Fizik ve Fizik MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ABDULMECİT TÜRÜT
PROF. DR. BAHATTİN ABAY