Geri Dön

Bir basınç algılayıcının diyafram boyutlarının belirlenmesi

Design of a silicon diaphragm pressure sensor

  1. Tez No: 39583
  2. Yazar: TUNA B. TARIM
  3. Danışmanlar: Y.DOÇ.DR. HAKAN ÖZDEMİR
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 1994
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: İstanbul Teknik Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 109

Özet

ÖZET Mikroelektronik teknolojisindeki hızlı gelişim sa dece elektroniğin gelişmesini sağlamakla kalmamış; aynı zamanda elektroniğin diğer bilim dallarıyla olan etkile şimlerini de arttırmıştır. Bu ise ortaya yeni teknolojik ürünler çıkarmıştır. Mikromekanik düzenler bu yeni tek nolojik Ürünlerden birisidir. Mikromekanik düzenler kısa geçmişlerine rağmen ilerisi için büyük umut vaadeden ve günümüzde de oldukça çok kullanılan düzenlerdir. Bunlar arasında basınç algılayıcıları en geniş kullanıma sahip düzenler olarak dikkat çekmektedir. Mikromekanik düzenlerin tasarımındaki ilk adım, me kanik düzenlerin boyut opti mi zasyonudur. Tasarlanacak düzenin görevi belirlendikten ve kullanılacak malzeme ile teknoloji tespit edildikten sonra, en iyi performansı sağlayacak şekilde boyutları belirlemeye geçilir. Tezin konuya giriş amaçlı ilk bölümünden sonra, i- kinci bolümde, konunun mekanik olarak anlaşılmasını sağ layacağı düşünülen açıklamalar yer almaktadır. Silisyum günümüzde mi kr oelektronikte kullanılan en temel malzeme dir. Mikromekanik düzenlerin Üretilmesinde mi kr oelektro nikte kullanılan teknolojiler kullanılmaktadır. Üçuncü bolum, mikromekanik yapıların Üretilmesinde kullanılan silisyumun mekanik özelliklerinin ayrıntılı açıklamasını içermektedir. Dördüncü böl üm mikromekaniğin uygulama a lanlarını anlatmaktadır. Günümüzde, mikromekanik düzen ler arasında en çok uygulama alanına sahip olanlardan bi risi basınç algılayıcılarıdır; bu konu beşinci bolümde e le alınmıştır. Bu tezin esas konusu, basınç algılayıcı nın diyafram boyutlarının belirlenmesidir. Bu konuyla ilgili yapılan çalışmalar altıncı bol Umde anlatılmıştır. Son bolum, tez konusuyla ilgili olarak yapılan çalışmala rın genel bir değerlendirmesidir. vi

Özet (Çeviri)

SUMMARY DESIGN OF A SILICON DIAPHRAGM PRESSURE SENSOR Digital computers and memories based on silicon technology have made an incredible impact on our daily- lives. The driving force of the progress is the needs of industrial areas that have become dependent on electronic circuits. From microwave ovens to the guidance systems of airplanes, silicon microprocessors and memories have been introduced into a great number of products. However the continuing development in these industrial areas re quires input/output devices Csensors and actuator sD which interface the electronic circuitry with the external worl d. Silicon mi cr ©mechanics is a fabrication technology in which integrated circuit manufacturing methods are used in producing mechanical structures made of silicon along with electronic circuits. First silicon mi cr ©mechanical structures were made in the late 1960s and they were used in biomedical appli cations. The Sensors & Actuators Center at University of California-Berkeley has produced the first working micro- turbine in June 1988. Since then, this technology has been developing in a very rapid pace. The earliest and most commercially successful appli cation of silicon mi cr ©mechanics is pressure sensors. Silicon diaphragms in semiconductor pressure sensors are used in a great variety of applications, e.g., to measure pressure, force, fluid level, flow velocity and acoustic signals. They are used mainly in automotive engineering, though they also find use in medical engineering, marine and auronautical engineering, hydraulics and recently in industrial instrumentation. They cover about 40% of the entire sensor market. The pi ezoresi stive effect of silicon, which was discovered by C. S. Smith more than thirty years ago, has vii

Benzer Tezler

  1. Tez No

    442035

    Design of a MEMS based hydraulic pressure sensor

    MEMS tabanlı hidrolik basınç sensörü tasarımı

    UTKU GÖREKE

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2016

    Makine MühendisliğiOrta Doğu Teknik Üniversitesi

    Mikro ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. KIVANÇ AZGIN

    YRD. DOÇ. DR. MUSTAFA İLKER BEYAZ

  2. Tez No

    67369

    Otomatik dolum ve plastik şekillendirme yapabilen bir hidrolik presin bilgisayarlı kontrol ünitesinin tasarımı ve gerçekleştirilmesi

    Başlık çevirisi yok

    ABDULLAH BORCA

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    1997

    Elektrik ve Elektronik MühendisliğiSelçuk Üniversitesi

    Elektrik-Elektronik Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. ŞABAN ERGÜN

  3. Tez No

    496329

    Modeling and development of piezoelectric based tactile sensors

    Dokunsal piezoelektrik algılayıcının geliştirilmesi ve modellemesi

    FARSHAD HAMEDI BAZZAZ

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2017

    Makine Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Makine Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. ŞENİZ ERTUĞRUL

  4. Tez No

    406319

    Optik temelli dokunmatik bir prototip algılayıcının gerçekleştirilmesi ve geliştirilmesi

    Realization and development of an optic based prototype tactile sensor

    AHMET KIRLI

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2015

    BiyoteknolojiYıldız Teknik Üniversitesi

    Makine Teorisi ve Dinamiği Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. UTKU BÜYÜKŞAHİN

  5. Tez No

    392714

    MEMS teknikleri kullanarak esnek piezoelektrik dokunsal algılayıcı dizini üretimi

    Fabrication of flexible piezoelectric tactile sensor using MEMS techniques

    ZEYNEP KORKMAZ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2015

    Bilim ve TeknolojiHacettepe Üniversitesi

    Nanoteknoloji ve Nanotıp Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. BİLSAY SÜMER

Geri Dön