Geri Dön

Karbon nitrür ince filmlerin üretilmesi ve fiziksel özelliklerinin belirlenmesi

Production of carbon nitride thin films and determination of their physical properties

  1. Tez No: 434128
  2. Yazar: ZELİHA ŞEKER
  3. Danışmanlar: PROF. DR. RAMAZAN ESEN
  4. Tez Türü: Doktora
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2016
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Çukurova Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 120

Özet

Bu çalışmada elektron siklotron rezonans kimyasal buhar depolama (ECR-CVD) sistemi kullanılarak oda sıcaklığında (25°C) cam ve silisyum alt tabanlar üzerine amorf karbon nitrür (a-CNx) ince fimler sentezlenmiştir. a-CNx filmler çeşitli CH4/N2 gaz akış oranlarında depolanarak karbonla bağ yapan azot miktarının artırılması hedeflenmiştir. Elde edilen karbon nitrür ince filmlerin optiksel, yapısal, elektriksel ve yüzeysel özellikleri belirlenmiş ve tartışılmıştır.

Özet (Çeviri)

In this study, amorphous carbon nitride (a-CNx) thin films were deposited at room temperature (25°C) on glass and silisyum substrates via Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition (ECR-CVD) system. Amorphous carbon nitride thin films have been deposited at various CH4/N2 gas flow ratios in order to maximise the carbon-nitrogen bonds. Finally, optical, structural, electrical and morphological properties of these thin films were determined and discussed.

Benzer Tezler

  1. Deposition and characterization of single and multilayered boron carbide and boron carbonitride thin films by different sputtering configurations

    Tek ve çok katmanlı bor karbür ve bor karbonitrür ince filmlerinin farklı sıçratma teknikleriyle biriktirilmesi ve karakterizasyonu

    TOLGA TAVŞANOĞLU

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2009

    Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DR. MİCHEL JEANDİN

    PROF. DR. OKAN ADDEMİR

  2. Manyetik sıçratma yöntemiyle üretilmiş CRN-BN ince film kaplamaların yapısal ve mekanik özelliklerinin incelenmesi

    Investigation of structural and mechanical properties of CRN/BN multilayer thin film coatings produced by magnetron sputtering method

    KAAN DEMİRALAY

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2023

    Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. MUHAMMET KÜRŞAT KAZMANLI

  3. A study on the optical and mechanical properties of optical thin films

    Optik ince filmlerin mekanik ve optik özellikleri üzerine bir çalışma

    ALP EREN SİNAN ÖZHAN

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2018

    Makine MühendisliğiAtılım Üniversitesi

    Makine Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. BİLGİN KAFTANOĞLU

  4. Doğal gaz boru hatlarında orbital kaynak teknolojisi kullanılarak yapılan kaynakların mekanik ve mikroyapı özelliklerinin incelenmesi

    Characterization of microstructure and mechanical properties of girth welds welded with orbital welding technology in the natural gas pipelines

    HANİFE DİDEM GENÇKAN

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2014

    Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. FİLİZ ŞAHİN

  5. Optical properties of group III-nitride thin films grown by hollow cathode plasma assisted atomic layer deposition

    Oyuk katot plazma destekli atomik katman biriktirme yöntemi ile büyütülen grup III-nitrür ince filmlerinin optik özellikleri

    NEŞE GÜNGÖR

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2019

    Fizik ve Fizik MühendisliğiMarmara Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. MUSTAFA ALEVLİ