Karbon nitrür ince filmlerin üretilmesi ve fiziksel özelliklerinin belirlenmesi
Production of carbon nitride thin films and determination of their physical properties
- Tez No: 434128
- Danışmanlar: PROF. DR. RAMAZAN ESEN
- Tez Türü: Doktora
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2016
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Çukurova Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 120
Özet
Bu çalışmada elektron siklotron rezonans kimyasal buhar depolama (ECR-CVD) sistemi kullanılarak oda sıcaklığında (25°C) cam ve silisyum alt tabanlar üzerine amorf karbon nitrür (a-CNx) ince fimler sentezlenmiştir. a-CNx filmler çeşitli CH4/N2 gaz akış oranlarında depolanarak karbonla bağ yapan azot miktarının artırılması hedeflenmiştir. Elde edilen karbon nitrür ince filmlerin optiksel, yapısal, elektriksel ve yüzeysel özellikleri belirlenmiş ve tartışılmıştır.
Özet (Çeviri)
In this study, amorphous carbon nitride (a-CNx) thin films were deposited at room temperature (25°C) on glass and silisyum substrates via Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition (ECR-CVD) system. Amorphous carbon nitride thin films have been deposited at various CH4/N2 gas flow ratios in order to maximise the carbon-nitrogen bonds. Finally, optical, structural, electrical and morphological properties of these thin films were determined and discussed.
Benzer Tezler
- Deposition and characterization of single and multilayered boron carbide and boron carbonitride thin films by different sputtering configurations
Tek ve çok katmanlı bor karbür ve bor karbonitrür ince filmlerinin farklı sıçratma teknikleriyle biriktirilmesi ve karakterizasyonu
TOLGA TAVŞANOĞLU
Doktora
İngilizce
2009
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DR. MİCHEL JEANDİN
PROF. DR. OKAN ADDEMİR
- Manyetik sıçratma yöntemiyle üretilmiş CRN-BN ince film kaplamaların yapısal ve mekanik özelliklerinin incelenmesi
Investigation of structural and mechanical properties of CRN/BN multilayer thin film coatings produced by magnetron sputtering method
KAAN DEMİRALAY
Yüksek Lisans
Türkçe
2023
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MUHAMMET KÜRŞAT KAZMANLI
- A study on the optical and mechanical properties of optical thin films
Optik ince filmlerin mekanik ve optik özellikleri üzerine bir çalışma
ALP EREN SİNAN ÖZHAN
Doktora
İngilizce
2018
Makine MühendisliğiAtılım ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. BİLGİN KAFTANOĞLU
- Doğal gaz boru hatlarında orbital kaynak teknolojisi kullanılarak yapılan kaynakların mekanik ve mikroyapı özelliklerinin incelenmesi
Characterization of microstructure and mechanical properties of girth welds welded with orbital welding technology in the natural gas pipelines
HANİFE DİDEM GENÇKAN
Doktora
Türkçe
2014
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. FİLİZ ŞAHİN
- Optical properties of group III-nitride thin films grown by hollow cathode plasma assisted atomic layer deposition
Oyuk katot plazma destekli atomik katman biriktirme yöntemi ile büyütülen grup III-nitrür ince filmlerinin optik özellikleri
NEŞE GÜNGÖR
Doktora
İngilizce
2019
Fizik ve Fizik MühendisliğiMarmara ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MUSTAFA ALEVLİ