Geri Dön

Sıçratma yöntemi ile kaplanmış iletken camların optik ve yapısal karakterizasyonları

Characterization of ITO thin films prepared by magnetron sputtering dc system

  1. Tez No: 442694
  2. Yazar: AYDIN KAMİL ERDEM
  3. Danışmanlar: DOÇ. DR. NALAN ÇİÇEK BEZİR
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2016
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Süleyman Demirel Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 69

Özet

Bu çalışmada şeffaf ve iletkenin indiyum-kalay oksit (ITO); DC magnetron püskürtme yöntemi ile bir cam alt-tabaka üzerinde biriktirilmiştir. Elde edilen ince filmin optik ve elektriksel özellikleri incelenerek optimum büyüme koşulları belirlenmiştir. Yüzey morfolojisi X-ışını kırınımı (XRD) ile karakterize edilmiştir. Ayrıca ince filmlerin elektriksel özellikleri dört nokta metodu kullanılarak belirlenmiştir. Bu ince filmlerin ısı ve oksijene bağlı olarak Kristal yapısı değişmiştir. Depolama basıncı 7x10-3 Barr ve 200 sıcaklık ve 150 magnetron gücünde argon ve oksijen oranı 28:1 ve depolama zamanı 6 dakika olarak alınmıştır. Optimum direnç 10 ohm geçirgenlik %85-95 olarak elde edilmiştir. Depolama zamanının azalması ile geçirgenlik artmıştır depolama ısısı ile de direnç değişmiştir.

Özet (Çeviri)

In this study, transparent and conductive indium-tin oxide (ITO) was deposited on glass substrate by DC magnetron sputtering method. The optical and electrical characteristics were investigated to achieve optimum growth conditions. The surface morphology was characterized by X-ray diffraction (XRD). More over the resistivity were measured by four prop to find out electrical properties of grown films. It is found that thin films were grown crystal was depend on heat and oxygen. In addition that the resistivity decreasing with an increase in the deposition heat. The transparency increase with an degrease in deposition time the optimum growth condition DC power:150 deposition pressure 7x10-3Barr deposition heat 200 C, and the gas of argon and oxygen 28:1 and the deposition time was 6 minute. With the optimum condition resistivity of 10 ohm, transmittance %85-95 for films grown on glass substrate. We conclude that the deposition heat improve the resistivity and with degrease of deposition time increase the transmittance.

Benzer Tezler

  1. Thin film coatings with various materials and techniques for smart glass applications

    Akıllı cam uygulamaları için farklı malzemeler ve tekniklerle ince film kaplamalar

    AYŞE DİCEL

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2021

    Bilim ve Teknolojiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Nanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. ESRA ZAYİM

  2. Role of growth parameters on electrochromic behavior of tungsten oxide thin films grown by RF magnetron sputtering

    Büyütme parametrelerinin RF magnetron sıçratma ile büyütülmüş tungsten oksitin elektrokromik davranışına etkisi

    DUYGU NUHOĞLU

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2020

    Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Fizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. ESRA ÖZKAN ZAYİM

  3. Preparation of indium tin oxide thin films and investigation of hydrogen post-treatment effect

    İndiyum kalay oksit ince filmlerin hazırlanması ve hidrojen ile indirgeme etkisinin incelenmesi

    GÖKÇEN GÖKÇELİ

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2018

    Mühendislik Bilimleriİstanbul Teknik Üniversitesi

    Nanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. NİLGÜN YAVUZ

  4. Cu-S ince filmlerin termoelektrik özelliklerinin incelenmesi

    Investigation of thermoelectric properties of cu-S thin films

    NURGÜL AYGÜN

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2019

    Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. MUHAMMET KÜRŞAT KAZMANLI

    DOÇ. DR. SEDAT BALLIKAYA

  5. Preparation of PZT and PLZT thin films on different substrates by sol-gel spin coating methods and investigation of their properties

    PZT ve PLZT ince filmlerin farklı altlıklar üzerinde sol-jel spin kaplama yöntemiyle hazırlanması ve özelliklerinin incelenmesi

    MUSTAFA ÇAĞRI BAYIR

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2019

    Bilim ve TeknolojiGebze Teknik Üniversitesi

    Malzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. EBRU MENŞUR ALKOY