Tekli RF plazma metodu ile üretilmiş amorf hidrojenlenmiş karbon ince filmlerin (a-C: H) optik bant aralıklarının karakterizasyonu
Characterisation of optical band gap energies of amorf hydrogeneted carbon thin films (a-C: H) produced by single RF plasma method
- Tez No: 473062
- Danışmanlar: DOÇ. DR. KADİR GÖKŞEN, DOÇ. DR. YAVUZ KÖYSAL
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Fiziksel optik, Yarı iletken ince filmler, Physical measurements, Semiconductor thin films
- Yıl: 2017
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Düzce Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Bu çalışmada plazma kaplama metodu ile üretilmiş a-C:H ince filmlerin optik bant aralıkları incelenmiştir. Çalışmada kullanılan ince filmler 15 dakika kaplama süresi içerisinde ve 0,2 torr çember basıncı altında üretilmiştir. İnce filmlerin üretiminde kullanılan plazma, farklı numuneler için 40 MHz plazma frekansı altında ve 100, 150 ve 200 W elektrik güçleri altında oluşturulmuştur. Üretilen ince filmlerin kalınlıkları elipsometre cihazı ile sırasıyla 100, 150 ve 200 W elektrik gücü altında üretilen ince filmler için 798, 850 ve 946 Ao olarak bulunmuştur. Analizler sonucu plazma frekansının değiştirilmesinin film kalınlıklarına herhangi önemli bir etkisi olmadığı ve plazma gücünün ve kaplama süresinin artırılmasının ince film kalınlığını artmasını sağladığı ortaya çıkarılmıştır. İnce filmlerin optik özellikleri ışık geçirgenlik deneyleri aracılığı ile incelenerek, 100, 150 ve 200 W elektrik güçleri altında üretilmiş plazmalar tarafından kaplanan ince filmlerin dalgaboyuna ve ışık enerjisine bağlı optik geçirgenlik verileri elde edilmiştir. Bu veriler kullanılarak filmlerin dalgaboyuna bağlı soğurma katsayıları hesaplanmıştır. Soğurma katsayılarından faydalanarak, filmlerin optik bant aralıkları sırasıyla 1,36, 1,23 ve 0,86 eV olarak bulunmuştur. Yapılan analizler sonucu, ince film üretiminde plazma frekansının rolünün önemli olduğu, plazma frekansına uygulanan değişikliklerin doğrudan üretilen filmin bağ yapısını etkilediği ve bunun sonucu olarak optik bant enerjilerinde farklılık meydana getirdiği ortaya çıkarılmıştır. Hesaplamaların sonuçlarından faydalanılarak, ince filmlerin üretim koşullarına bağlı optik bant aralığı değişimleri teorik olarak modellenmiştir. Elde edilen model, bazı bilinen renklerde verimli çalışacak cihazların üretiminde kullanılabilme potansiyeli olan ince filmler için üretim parametrelerinin hesaplanmasında kullanılmıştır.
Özet (Çeviri)
In this study, optical band gap energies of a-C: H thin films produced by the plasma coating method were investigated. Thin films used in the study were produced within 15 minutes of coating time and under 0.2 torr chamber pressure. The plasma used in the production of thin films was generated under 40 MHz plasma frequency for different samples and under electric powers of 100, 150 and 200 W. The thicknesses of the produced thin films were found to be 798, 850 and 946 Ao for the thin films produced under the electric powers of 100, 150 and 200 W, respectively by an ellipsometer. Analyzes have shown that changing the plasma frequency has no significant effect on the film thickness, and increasing the plasma power and duration of the coating has increased the thin film thickness. The optical properties of thin films were examined by means of light transmittance experiments and the optical transmittance data of thin films produced under electric powers of 100, 150 and 200 W were obtained with respect to wavelength and light energy. Using this data, the wavelength-dependent absorption coefficients of the films were calculated. By using the absorption coefficients, the optical band gap energies of the films were found to be 1.36, 1.23 and 0.86 eV, respectively. Analyzes have revealed that the role of plasma frequency in the production of thin films is important, and that the changes in plasma frequency affect directly produced film's bond structure, which in turn leads to differences in optical band energies. Utilizing the results of the calculations, the optical band gap changes depending on the production conditions of the thin films are theoretically modeled. The obtained model was used to calculate the production parameters for thin films which are potentially usable in the production of devices which will work efficiently at some known color wavelengths.
Benzer Tezler
- Tekli RF plazma metodu ile üretilmiş amorf hidrojenlenmiş karbon ince filmlerin optik bant aralıklarının plazma akış hızına bağlı incelenmesi
Investigation of the dependence of optical band gap energy of amorph hydrogenated carbon thin films produced by single RF plasma method on plasma flow rate
TAMER ŞİMŞEK
Yüksek Lisans
Türkçe
2017
Fizik ve Fizik MühendisliğiDüzce ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. KADİR GÖKŞEN
- 11-14.gebelik haftalarında tekil gebeliklerde bakılan serbest ßhcg, PAPP-a değerleri ile 16-18.gebelik haftalarında bakılan afp, ßhcg, ue3 ve inhibin-a değerlerinin 50 gram glukoz tarama testi ve bebek doğum ağırlığı üzerine prediktif etkileri
Effect of f-ßhcg and papp-a values at 11-14 weeks, and AFP, ßhcg,ue3 and ihibin-a values at 16-18 weeks of singleton pregnancies on prediction of 50-G OGTT and neonatal birth weight
ESENGÜL CAN
Tıpta Uzmanlık
Türkçe
2013
Kadın Hastalıkları ve Doğumİstanbul Bilim ÜniversitesiKadın Hastalıkları ve Doğum Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ALİN BAŞGÜL YİĞİTER
- Effects of the non-oxisymmetric perturbations on the divertor tokomaks
Eksenel simetrik olmayan tedirgenimlerin divertor tokamakları üzerindeki etkileri
CUMA YARIM
- Talasemi Major'lü okul çocuklarında oral demir selatörü Deferipron'un Desferrioksamin ile kombine sağaltım modeli
Başlık çevirisi yok
YEŞİM AYDINOK
Tıpta Uzmanlık
Türkçe
1998
Çocuk Sağlığı ve HastalıklarıEge ÜniversitesiÇocuk Sağlığı ve Hastalıkları Ana Bilim Dalı
PROF. DR. GÜNGÖR NİŞLİ
- Kronik bronşit ve amfizemde sigaradaki kadmiyumun rolü
Başlık çevirisi yok
NECATİ KOÇ
Tıpta Uzmanlık
Türkçe
1982
Göğüs HastalıklarıAnkara ÜniversitesiGöğüs Hastalıkları ve Tüberküloz Ana Bilim Dalı
PROF.DR. NECDET MENEMENLİ
