NİO, NiCr2O4 ve α-Fe2O3 ince filmlerinin büyütülmesi, karekterizasyonu ve NiO ince filmlerinin gaz sensörü özelliğinin incelenmesi
Magnification of NİO, NiCr2O4 and α-Fe2O3 thin films, characterization and investigation of gas sensor properties of NiO thin films
- Tez No: 483645
- Danışmanlar: PROF. DR. MUHAMMET YILDIRIM, DOÇ. DR. TEVHİT KARACALI
- Tez Türü: Doktora
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2017
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Atatürk Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Katıhal Fiziği Bilim Dalı
- Sayfa Sayısı: 195
Özet
Bu çalışmada ilk olarak RF Magnetron Sputtering (RF Sıçratma) büyütme tekniği ile %2,4, %6,4 ve %9,8 gibi farklı oksijen kısmi basınçları uygulanarak cam ve silisyum üzerine NiO ince filmleri büyütülmüştür. Elde edilen NiO ince filmlerinin Optik Soğurma, XRD ölçümleri ile SEM ve AFM görüntüleri alındıktan sonra oksijenin, filmlerin yapısal, optik ve elektriksel özelliklerinde meydana getirdiği etki incelenmiştir. Daha sonra oda sıcaklığında Hall ve I-V ölçümleri alınan NiO ince filmlerinin farklı konsantrasyonlardaki hidrojen gazı ortamında gaz sensörü özellikleri incelenmiştir. Çalışmanın ikinci aşamasında, yine RF Sıçratma tekniği ile %5,56, %8,19 ve %12,83 oranlarında farklı oksijen kısmi basınçları uygulanarak cam ve silisyum üzerine üçlü bileşik Nikel-Krom Oksit (NiCr2O4) yarıiletken ince filmleri büyütülerek Optik Soğurma, XRD, oda sıcaklığında Van-der Pauw ölçümleri, Raman değişim grafikleri ile SEM ve AFM görüntüleri edilmiştir. Çalışmanın son aşamasında ise kimyasal püskürtme yöntemi ile hematit ( -Fe2O3) faza sahip ince filmler elde edilmiştir. Daha sonra kimyasal püskürtme yöntemi ile demir III oksit ( -Fe2O3) içerisine Al, Cd, Ga, gibi elementler katkılanıp, RF Magnetron Sputtering büyütme tekniği kullanılarak üzerine nikel oksit (NiO) ince filmler büyütülmüş, filmlerin optik soğurma, XRD, oda sıcaklığında Hall ölçümleri ile SEM ve AFM görüntüleri elde edilmiştir.
Özet (Çeviri)
In this study, NiO thin films were grown on glass and silicon by applying different partial pressures of oxygen such as 2,4%, 6,4% and 9,8% by RF Magnetron Sputtering (RF magnetron sputtering) magnification technique. The effect of the obtained NiO thin films on optical absorption, XRD measurements, and SEM and AFM images of oxygen, films, optical and electrical properties was investigated. Next, the gas sensor properties of NiO thin films with Hall and I-V measurements at room temperature were investigated in the hydrogen gas environment at different concentrations. In the second phase of the study, triple compound Nickel-Chromium Oxide (NiCr2O4) semiconductor thin films were grown on glass and silicon by applying different oxygen partial pressures of 5,56%, 8,19% and 12,83% with RF magnetron sputtering Technique to Optical Absorption, XRD Van-der Pauw measurements at room temperature, Raman change charts, SEM and AFM images. At the last stage of the work, thin films with hematite (α-Fe2O3) film were obtained by chemical spraying method. Next, elements such as Al, Cd and Ga were doped into iron III oxide (α-Fe2O3) by chemical sputtering method and nickel oxide (NiO) thin films were grown on it by using RF Magnetron Sputtering magnification technique. Optical absorption, XRD, SEM and AFM images were obtained.
Benzer Tezler
- Phase equilibria and thermodynamic studies in the MnO-NiO-Cr2O3 System at 1300°C
MnO-NiO-Cr2O3 sisteminin 1300°C'de katı hal thermodinamiği ve faz ilişkileri üzerinde çalışmalar
NURŞEN KOÇ
Yüksek Lisans
İngilizce
1981
Metalurji MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiMetalurji Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MUHARREM TİMUÇİN
- Synthesis and characterization of mesoporous nickel oxide and nickel cobaltite thin films
Mezogözenekli nikel oksit ve nikel kobalt oksitince filmlerin sentezi ve karakterizasyonu
ASSEL AMIRZHANOVA
Yüksek Lisans
İngilizce
2019
Kimyaİhsan Doğramacı Bilkent ÜniversitesiKimya Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ÖMER DAĞ
- Nano boyutta zeolit destekli metal katalizör sentezi, karakterizasyonu ve karbonmonooksit metanlaşması reaksiyonunda aktivitelerinin incelenmesi
Synthesis of nano-sized zeolite supported metal catalysts, characterization and evaluation of their activities on methanation reaction of carbon monoxide
GÜLİSTAN YAŞAR
Yüksek Lisans
Türkçe
2010
KimyaGazi Üniversitesiİleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. FİLİZ DEREKAYA
- Synthesis of first row transition metal oxide nanomaterials for electrocatalytic water oxidation reaction
İlk sıra geçiş metal oksit nanomalzemelerin sentezi ve suyun elektrokatalitik yükseltgenme tepkimesinde kullanımı
ASUDE ÇETİN
Doktora
İngilizce
2020
KimyaOrta Doğu Teknik ÜniversitesiKimya Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. EMREN NALBANT ESENTÜRK
- Investigating the hydrothermal process parameters' effect on the mxoy (M: Ni, Mn, Co) powder properties and evaluating their performances when used as anodes for lithium ion batteries
Mxoy (M: Ni, Mn, Co) toz özellikleri üzerine hidrotermal proses parametrelerinin etkisinin incelenmesi ve lityum iyon bataryalarda anot olarak performanslarının değerlendirilmesi
REYHAN SOLMAZ ERGUN
Yüksek Lisans
İngilizce
2018
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ÖZGÜL KELEŞ
DR. ÖĞR. ÜYESİ BİLLUR DENİZ KARAHAN