Geri Dön

NİO, NiCr2O4 ve α-Fe2O3 ince filmlerinin büyütülmesi, karekterizasyonu ve NiO ince filmlerinin gaz sensörü özelliğinin incelenmesi

Magnification of NİO, NiCr2O4 and α-Fe2O3 thin films, characterization and investigation of gas sensor properties of NiO thin films

PDF İndir

  1. Tez No: 483645
  2. Yazar: ERDAL TURGUT
  3. Danışmanlar: PROF. DR. MUHAMMET YILDIRIM, DOÇ. DR. TEVHİT KARACALI
  4. Tez Türü: Doktora
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2017
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Atatürk Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Katıhal Fiziği Bilim Dalı
  13. Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.

Özet

Bu çalışmada ilk olarak RF Magnetron Sputtering (RF Sıçratma) büyütme tekniği ile %2,4, %6,4 ve %9,8 gibi farklı oksijen kısmi basınçları uygulanarak cam ve silisyum üzerine NiO ince filmleri büyütülmüştür. Elde edilen NiO ince filmlerinin Optik Soğurma, XRD ölçümleri ile SEM ve AFM görüntüleri alındıktan sonra oksijenin, filmlerin yapısal, optik ve elektriksel özelliklerinde meydana getirdiği etki incelenmiştir. Daha sonra oda sıcaklığında Hall ve I-V ölçümleri alınan NiO ince filmlerinin farklı konsantrasyonlardaki hidrojen gazı ortamında gaz sensörü özellikleri incelenmiştir. Çalışmanın ikinci aşamasında, yine RF Sıçratma tekniği ile %5,56, %8,19 ve %12,83 oranlarında farklı oksijen kısmi basınçları uygulanarak cam ve silisyum üzerine üçlü bileşik Nikel-Krom Oksit (NiCr2O4) yarıiletken ince filmleri büyütülerek Optik Soğurma, XRD, oda sıcaklığında Van-der Pauw ölçümleri, Raman değişim grafikleri ile SEM ve AFM görüntüleri edilmiştir. Çalışmanın son aşamasında ise kimyasal püskürtme yöntemi ile hematit ( -Fe2O3) faza sahip ince filmler elde edilmiştir. Daha sonra kimyasal püskürtme yöntemi ile demir III oksit ( -Fe2O3) içerisine Al, Cd, Ga, gibi elementler katkılanıp, RF Magnetron Sputtering büyütme tekniği kullanılarak üzerine nikel oksit (NiO) ince filmler büyütülmüş, filmlerin optik soğurma, XRD, oda sıcaklığında Hall ölçümleri ile SEM ve AFM görüntüleri elde edilmiştir.

Özet (Çeviri)

In this study, NiO thin films were grown on glass and silicon by applying different partial pressures of oxygen such as 2,4%, 6,4% and 9,8% by RF Magnetron Sputtering (RF magnetron sputtering) magnification technique. The effect of the obtained NiO thin films on optical absorption, XRD measurements, and SEM and AFM images of oxygen, films, optical and electrical properties was investigated. Next, the gas sensor properties of NiO thin films with Hall and I-V measurements at room temperature were investigated in the hydrogen gas environment at different concentrations. In the second phase of the study, triple compound Nickel-Chromium Oxide (NiCr2O4) semiconductor thin films were grown on glass and silicon by applying different oxygen partial pressures of 5,56%, 8,19% and 12,83% with RF magnetron sputtering Technique to Optical Absorption, XRD Van-der Pauw measurements at room temperature, Raman change charts, SEM and AFM images. At the last stage of the work, thin films with hematite (α-Fe2O3) film were obtained by chemical spraying method. Next, elements such as Al, Cd and Ga were doped into iron III oxide (α-Fe2O3) by chemical sputtering method and nickel oxide (NiO) thin films were grown on it by using RF Magnetron Sputtering magnification technique. Optical absorption, XRD, SEM and AFM images were obtained.

Benzer Tezler

  1. Tez No

    967209

    Advancing creep performance and oxidation resistance of inconel 939 alloy fabricated by selective laser melting

    Seçici lazer ergitme yöntemi ile üretilen ınconel 939 alaşımının sürünme performansı ve oksidasyon direncinin geliştirilmesi

    FATİH GÜLER

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2025

    Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. ÖZGÜL KELEŞ

    DR. HÜSEYİN AYDIN

  2. Tez No

    557702

    Phase equilibria and thermodynamic studies in the MnO-NiO-Cr2O3 System at 1300°C

    MnO-NiO-Cr2O3 sisteminin 1300°C'de katı hal thermodinamiği ve faz ilişkileri üzerinde çalışmalar

    NURŞEN KOÇ

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    1981

    Metalurji MühendisliğiOrta Doğu Teknik Üniversitesi

    Metalurji Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. MUHARREM TİMUÇİN

  3. Tez No

    306770

    Nano boyutta zeolit destekli metal katalizör sentezi, karakterizasyonu ve karbonmonooksit metanlaşması reaksiyonunda aktivitelerinin incelenmesi

    Synthesis of nano-sized zeolite supported metal catalysts, characterization and evaluation of their activities on methanation reaction of carbon monoxide

    GÜLİSTAN YAŞAR

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2010

    KimyaGazi Üniversitesi

    İleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. FİLİZ DEREKAYA

  4. Tez No

    1001899

    Biyolojik öneme sahip bazı analitlerin tayini için esnek ve giyilebilir elektrokimyasal sensörlerin geliştirilmesi

    Development of flexible and wearable electrochemical sensors for the determination of some analytes of biological importance

    EBRAR DOKUR

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2026

    KimyaYıldız Teknik Üniversitesi

    Kimya Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. YÜCEL ŞAHİN

  5. Tez No

    593610

    Synthesis and characterization of mesoporous nickel oxide and nickel cobaltite thin films

    Mezogözenekli nikel oksit ve nikel kobalt oksitince filmlerin sentezi ve karakterizasyonu

    ASSEL AMIRZHANOVA

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2019

    Kimyaİhsan Doğramacı Bilkent Üniversitesi

    Kimya Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. ÖMER DAĞ

Geri Dön