RF magnetron saçtırma yöntemi ile üretilen SmCo5 filmlerin yapısal, mekanik ve manyetik özellikleri ve süper iletken kalıcıanahtar uygulaması
Structural, mechanical and magnetic properties of SmCo5 films produced by RF magnetron sputtering technique and superconducting permanent switch application
- Tez No: 533971
- Danışmanlar: DOÇ. DR. MUSTAFA SERDAR ÖNSES
- Tez Türü: Doktora
- Konular: Metalurji Mühendisliği, Mühendislik Bilimleri, Metallurgical Engineering, Engineering Sciences
- Anahtar Kelimeler: SmCo5 manyetik ince film, RF magnetron saçtırma yöntemi, Nano sertlik, Süperiletken kalıcı anahtar, SmCo5 magnetic thin film, RF magnetron sputtering technique, Nano hardness, Superconducting permanent switch
- Yıl: 2018
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Erciyes Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Malzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 145
Özet
Bu tez çalışmasında RF magnetron saçtırma yöntemi ile üretilen SmCo5 manyetik ince filmlerin ısıl işlem sıcaklığının yapısal, morfolojik, nano-mekanik ve manyetik özellikler üzerindeki etkisi incelenmiştir. Oda sıcaklığında Si (100) altlık üzerine kaplanan SmCo5 ince filmlere argon ortamında 400oC, 500oC, 600oC ve 700oC sıcaklıklarda ısıl işlem uygulanmıştır. Bu filmlerin yapısal, morfolojik ve mekanik özellikleri sırasıyla, geliş açılı X ışını kırınım deseni (GIXRD), atomik kuvvet mikroskobu (AFM), taramalı elektron mikroskobu (SEM) ve nano çentik yöntemleri ile incelenmiştir. Elde edilen sonuçlara göre, oda sıcaklığında kaplanan numunelerin amorf yapıda olduğu, uygulanan ısıl işlem ile hem kristallik hem de tane boyutunun arttığı bulunmuştur. Ayrıca, artan ısıl işlem sıcaklığı ile nanosertlik ve elastik modülünün azaldığı gözlenmiştir. Farklı sıcaklıklardaki ısıl işlemler sonucunda filmlerde oluşan manyetik faz bölgelerinin değişimi manyetik kuvvet mikroskobu (MFM) ile görüntülenmiş ve manyetik özelliklerini belirlemek için histerezis eğrileri, süperiletken kuantum girişim cihazı (SQUID) kullanılarak incelenmiştir. Elde edilen sonuçlar ışığında en iyi manyetik özellik gösteren sıcaklık belirlenerek, süperiletken kalıcı anahtar uygulaması için manyetik altyapıyı oluşturacak değerlerin belirlenmesi hedeflenmiştir.
Özet (Çeviri)
In this thesis, the influence of annealing temperature on structural, morphological, nanomechanical and magnetic properties of SmCo5 thin films, which was produced by RF magnetron sputtering technique, was investigated. SmCo5 thin films were grown on a Si (100) substrate at room temperature, and subsequently annealed at 400°C, 500°C, 600°C, and 700°C in an argon atmosphere. Structural, morphological and nanomechanical properties of SmCo5 thin films were examined using the grazing incident Xray diffraction (GIXRD), atomic force microscopy (AFM), scanning electron microscopy (SEM) and nano indentation techniques. Results showed that the asdeposited SmCo5 thin films had a polycrystalline structure. Following the heat treatment, both crystallite and grain sizes increased, and thin film crystallinity improved. Also, nano hardness and reduced elastic modulus values decreased with the increasing annealing temperature. As a result of the heat treatment at different temperatures, the magnetic phase regions in the films were visualized by magnetic force microscopy (MFM) and the hysteresis curves were determined using the superconducting quantum interference device (SQUID) to determine their magnetic properties. In the light of the results obtained, the best magnetic property temperature was determined, and it was aimed to determine the magnetic infrastructure for the superconductor permanent switch application.
Benzer Tezler
- Planar perovskite solar cells with metal oxide transport layers by co-evaporation and hybrid vapor-solution sequential method
Birlikte buharlaştırma ve hibrit buhar çözeltisi sıralı yöntemi ile metal oksit delik (Hole) taşıma katmanlı düzlemsel perovskit güneş hücreleri
WIRIA SOLTANPOOR
Doktora
İngilizce
2020
Bilim ve TeknolojiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiMikro ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı
DR. ÖĞR. ÜYESİ SELÇUK YERCİ
- RF manyetik saçtırma yöntemi ile üretilen ZnGa2O4 ince filmlerin yapısal, morfolojik ve optik özelliklerinin incelenmesi
Investigation of structural, morphological and optical properties of ZnGa2O4 thin films produced by RF magnetron sputtering method
KÜBRA KARAKAYA KONUKÇU
Yüksek Lisans
Türkçe
2024
Fizik ve Fizik MühendisliğiGazi ÜniversitesiFotonik Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. NİHAN AKIN SÖNMEZ
- Deposition of nanocrystallized amorphous silicon thin films by magnetron sputtering
Nanokristalize edilmiş amorf silisyum ince filmlerin magnetron saçtırma yöntemi ile büyütülmesi
ELİF CEYLAN CENGİZ
Yüksek Lisans
İngilizce
2013
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiNanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. EYÜP SABRİ KAYALI
DOÇ. DR. OSMAN ÖZTÜRK
- Characterization of molybdenum oxide and magnesium doped zinc oxide charge transport layers deposited by sputtering for heterojunction solar cells
Heteroeklem güneş hücreleri için saçtırma yöntemi ile büyütülmüş molibden oksit ve magnezyum katkılı çinko oksit yük taşıyıcı tabakaların karakterizasyonu
GENCE BEKTAŞ
Yüksek Lisans
İngilizce
2017
Fizik ve Fizik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiMikro ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. SELÇUK YERCİ
DOÇ. DR. ALPAN BEK
- Properties of thin film LixLayTiO3 electrolyte for all-solid state Li-ion batteries
Tamamen katı hal Li-iyon bataryaları için ince film LixLayTiO3 elektrolitinin özellikleri
SENA GÜLEN ÖÇLÜ
Yüksek Lisans
İngilizce
2016
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİzmir Yüksek Teknoloji EnstitüsüFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. GÜLNUR AYGÜN ÖZYÜZER