Geri Dön

V2O5 ince filmlerin Si alttaş üzerine büyütülmesi ve sıcaklığın film karakterleri üzerine etkisinin incelenmesi

Production of V2O5 thin films on Si substrate and investigation of the effect of temperature on film characteristics

  1. Tez No: 545397
  2. Yazar: OĞUZ ÖZBAL
  3. Danışmanlar: PROF. DR. SÜLEYMAN ÖZÇELİK
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2018
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Gazi Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: İleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 64

Özet

Bu tez çalışmasında; V2O5 ince filmler Si alttaş üzerine farklı alttaş sıcaklıklarında RF magnetron püskürtme tekniği kullanılarak büyütüldü. Büyütülen ince filmler farklı sıcaklık değerlerinde tavlandı. V2O5 ince filmlerin yapısal, morfolojik, optik ve elektriksel özellikleri X-Işını Kırınım (XRD), Fourier Dönüşümlü Kızılötesi (FTIR), Atomik Force Mikroskop (AFM) ve Hall analiz teknikleri kullanılarak belirlendi. İnce filmlerdeki kristal oluşumu ve kristal kaliteleri XRD ile, kimyasal bağ yapısı FTIR spektrometre ile, yüzey morfolojisi ise AFM ile belirlendi. Elde edilen ölçüm sonuçlarından, filmlerin kristal kalitesinin artan alttaş sıcaklığı ile arttığı bulundu. Ayrıca, ince filmlerin yüzey pürüzlülüğü artan tavlama sıcaklığı ile arttığı bulundu. Hall analizleri incelendiğinde, özdirencin artan film sıcaklığı ile özdirencin azaldığı gözlendi.

Özet (Çeviri)

In this thesis; V2O5 thin films were produced on Si subsrate by using RF magnetron sputtering technique at different subsrate temperatures. The produced thin films were annealed at different temperature values. The structural, morphological, optical and electrical properties of V2O5 thin films were determined using X-Ray Diffraction (XRD), Fourier Transformed Infrared (FTIR), Atomic Force Microscope (AFM) and Hall analysis techniques. Crystal formation and crystal quality in thin films were determined by XRD, chemical bond structure was determined by FTIR spectrometer and surface morphology by AFM. From the measurement results obtained, it was found that the crystal quality of the films was increased with increasing subsrate temperature. Morever, it was found that the surface roughness of the thin films increased with increasing annealing temperature. When the Hall analysis was examined, it was observed that the resistivity decreased with increasing film temperature.

Benzer Tezler

  1. V2O5 ince filmlerin yapısal, morfolojik ve optiksel karakterizasyonu

    Structural, morphological and optical characterization of V2O5 thin films

    MELTEM DÖNMEZ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2015

    Fizik ve Fizik MühendisliğiGazi Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. MEHMET ÇAKMAK

  2. Vanadyum pentaoksit temelli optik sensörlerde numune kalınlığının ve tavlama sıcaklığının sensör parametrelerine etkisi

    The effect of sample thickness and anneali̇ng temperature on sensor parameters in vanadium pentoxide based optical sensors

    EVREN ERDİL

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2022

    Metalurji MühendisliğiGazi Üniversitesi

    İleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. SELİM ACAR

  3. Vanadyum oksit tabanlı kızılötesi dedektör geliştirilmesi

    Development of vanadium oxide-based infrared detector

    MELTEM DÖNMEZ KAYA

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2021

    Fizik ve Fizik MühendisliğiGazi Üniversitesi

    İleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. MEHMET ÇAKMAK

  4. V2O5 ince filmlerin saçtırma yöntemi ile biriktirilmesi ve diyot üretiminde kullanılması

    Deposition of V2O5 thin films by sputtering method and their usage in the fabrication of diodes

    RAHMİ ÖZALP

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2019

    Fizik ve Fizik MühendisliğiDicle Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. SEZAİ ASUBAY

  5. A microbolometer detector based on a sol-gel technology

    Sol jel teknolojisine dayalı mikrobolometre dedektörü

    ÖZGECAN DERVİŞOĞLU

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2013

    Elektrik ve Elektronik MühendisliğiOrta Doğu Teknik Üniversitesi

    Mikro ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. TAYFUN AKIN

    DOÇ. DR. CANER DURUCAN