DC magnetron sıçratma tekniği ile büyütülen titanyum ince filmlerinin fiziksel özelliklerinin incelenmesi
Investigation of physical propenties of titanium thin films grown by DC magnetron sputtering technique
- Tez No: 570464
- Danışmanlar: PROF. DR. YUSUF ATICI
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2019
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Fırat Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 67
Özet
Bu çalışma kapsamında doğru akım (DC) magnetron sıçratma tekniği ile hazırlanan 300 nm kalınlığındaki titanyum (Ti) ince filmleri 10, 20 ve 30 mTorr'luk sıçratma gazı (argon) basınç değerlerinde ve 15 dakika boyunca 150oC'lik alt tabaka sıcaklığı ile büyütülen ince filmlerin yüzey morfolojileri ve elementsel bileşimi üzerinde gaz basıncının etkisi araştırılmıştır. Atomik Kuvvet Mikroskobu, X-ışını Kırınımı, Taramalı Elektron Mikroskobu ve Enerji Dağılımlı X-ışını teknikleri kullanılarak numunelerin mikro yapıları incelenmiştir.
Özet (Çeviri)
In this study, the effect of gas pressure on 300 nm-thick titanium (Ti) thin films grown by direct current (DC) magnetron sputtering technique and the surface morphologies and elemental compositions of thin-films due to the sputtering gas (argon) pressure values of 10, 20 and 30 mTorr with a substratum temperature of 150 oC for 15 minutes have been investigated. Micro structures of the samples have been studied by Atomic Force Microscope, X-Ray Diffraction, Scanning Electron Microscope and Energy Dispersive X-Ray techniques.
Benzer Tezler
- Cu katkılı TiO2 ince filmlerin memristiv davranışı ve karakterizasyonu
Cu-doped TiO2 thin film based memristors and characterization
BANAFSHEH ALIZADEH ARASHLOO
Doktora
Türkçe
2021
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiNanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HASAN EFEOĞLU
- Structural and magnetic properties of Si(100)/Ta/Co multilayers for spintronics applications
Spintronik uygulamaları için Si(100)/Ta/Co çoklu katmanların yapısal ve manyetik özellikleri
KADİR VAHAPLAR
Yüksek Lisans
İngilizce
2007
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİzmir Yüksek Teknoloji EnstitüsüFizik Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. SÜLEYMAN TARI
- Reaktif DC magnetron sıçratma tekniği ile üretilmiş vanadyum oksit ince filmlerin gaz sensör özelliklerinin incelenmesi
Investigation of gas sensor properties of vanadium oxide thin films grown by reactive DC magnetron sputtering technique
SEMİH İNCEÇAM
Yüksek Lisans
Türkçe
2021
Fizik ve Fizik MühendisliğiGazi Üniversitesiİleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı
PROF. DR. SELİM ACAR
- Dik manyetik anizotropili çok katmanlı ultraince Co/Pd filmlerinin anormal Hall etkisi
The anomalous Hall effect on multilayered ultrathin Co/Pd films with perpendicular magnetic anisotropy
VEDAT KESKİN
Doktora
Türkçe
2013
Fizik ve Fizik MühendisliğiGebze Yüksek Teknoloji EnstitüsüFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. BEKİR AKTAŞ
- Reaktif DC magnetron sıçratma tekniği ile n-tipi silisyum taban malzeme üzerine bakır oksit ince film biriktirme
Deposition of copper oxide thin films with DC magnetron sputtering on n-type silicon substrate
S. ALPER YEŞİLÇUBUK
Yüksek Lisans
Türkçe
2002
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. M. KELAMİ ŞEŞEN