Geri Dön

DC magnetron sıçratma tekniği ile büyütülen titanyum ince filmlerinin fiziksel özelliklerinin incelenmesi

Investigation of physical propenties of titanium thin films grown by DC magnetron sputtering technique

  1. Tez No: 570464
  2. Yazar: ÜMÜT KAPLAN
  3. Danışmanlar: PROF. DR. YUSUF ATICI
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2019
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Fırat Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 67

Özet

Bu çalışma kapsamında doğru akım (DC) magnetron sıçratma tekniği ile hazırlanan 300 nm kalınlığındaki titanyum (Ti) ince filmleri 10, 20 ve 30 mTorr'luk sıçratma gazı (argon) basınç değerlerinde ve 15 dakika boyunca 150oC'lik alt tabaka sıcaklığı ile büyütülen ince filmlerin yüzey morfolojileri ve elementsel bileşimi üzerinde gaz basıncının etkisi araştırılmıştır. Atomik Kuvvet Mikroskobu, X-ışını Kırınımı, Taramalı Elektron Mikroskobu ve Enerji Dağılımlı X-ışını teknikleri kullanılarak numunelerin mikro yapıları incelenmiştir.

Özet (Çeviri)

In this study, the effect of gas pressure on 300 nm-thick titanium (Ti) thin films grown by direct current (DC) magnetron sputtering technique and the surface morphologies and elemental compositions of thin-films due to the sputtering gas (argon) pressure values of 10, 20 and 30 mTorr with a substratum temperature of 150 oC for 15 minutes have been investigated. Micro structures of the samples have been studied by Atomic Force Microscope, X-Ray Diffraction, Scanning Electron Microscope and Energy Dispersive X-Ray techniques.

Benzer Tezler

  1. Cu katkılı TiO2 ince filmlerin memristiv davranışı ve karakterizasyonu

    Cu-doped TiO2 thin film based memristors and characterization

    BANAFSHEH ALIZADEH ARASHLOO

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2021

    Elektrik ve Elektronik MühendisliğiAtatürk Üniversitesi

    Nanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. HASAN EFEOĞLU

  2. Structural and magnetic properties of Si(100)/Ta/Co multilayers for spintronics applications

    Spintronik uygulamaları için Si(100)/Ta/Co çoklu katmanların yapısal ve manyetik özellikleri

    KADİR VAHAPLAR

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2007

    Fizik ve Fizik Mühendisliğiİzmir Yüksek Teknoloji Enstitüsü

    Fizik Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. SÜLEYMAN TARI

  3. Reaktif DC magnetron sıçratma tekniği ile üretilmiş vanadyum oksit ince filmlerin gaz sensör özelliklerinin incelenmesi

    Investigation of gas sensor properties of vanadium oxide thin films grown by reactive DC magnetron sputtering technique

    SEMİH İNCEÇAM

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2021

    Fizik ve Fizik MühendisliğiGazi Üniversitesi

    İleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. SELİM ACAR

  4. Dik manyetik anizotropili çok katmanlı ultraince Co/Pd filmlerinin anormal Hall etkisi

    The anomalous Hall effect on multilayered ultrathin Co/Pd films with perpendicular magnetic anisotropy

    VEDAT KESKİN

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2013

    Fizik ve Fizik MühendisliğiGebze Yüksek Teknoloji Enstitüsü

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. BEKİR AKTAŞ

  5. Reaktif DC magnetron sıçratma tekniği ile n-tipi silisyum taban malzeme üzerine bakır oksit ince film biriktirme

    Deposition of copper oxide thin films with DC magnetron sputtering on n-type silicon substrate

    S. ALPER YEŞİLÇUBUK

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2002

    Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. M. KELAMİ ŞEŞEN