Geri Dön

Graphene transfer approaches with different support materials on the substrates with cavities

Oyuklu alt taşlar üzerinde farklı destek malzemeleri ile grafen aktarma yaklaşımları

  1. Tez No: 573120
  2. Yazar: SİNEM DUMAN
  3. Danışmanlar: DOÇ. DR. MÜJDAT BALANTEKİN, DOÇ. DR. CEM ÇELEBİ
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Fizik ve Fizik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2019
  8. Dil: İngilizce
  9. Üniversite: İzmir Yüksek Teknoloji Enstitüsü
  10. Enstitü: Mühendislik ve Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Elektronik ve Haberleşme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 68

Özet

Mikro kapasitif sensör, karakteristik olarak, iletken ve hareketsiz duran bir alt elektrot ile buna paralel olarak yerleştirilmiş iletken ve hareket edebilen bir üst elektrottan oluşur. Bu yapı, kapasitif mikro-işlenmiş ultrasonik çevirgeç, basınç sensörü, resonatör ve biyolojik yada kimyasal madde algılama elemanı gibi uygulamalarda dönüştürücü olarak bulunabilir. Membran yapısında eğilmeye yol açan fiziksel girdi ultrason dalgası, basınç, biyolojik yada kimyasal bir malzeme olabilir. Nano malzemeler, yeni nesil nano ve mikro elektro mekanik sistemlerin (NEMS, MEMS) geliştirilmesinde büyük potansiyele sahiptir. Nano malzemelerin arasında grafen çok küçük kütlesi, yüksek yüzey hacim oranı, esnekliği, özel elektriksel ve mekanik özelliklerinden dolayı öne çıkan bir malzemedir. Ancak, grafenin kapasitif yapılar oluşturmak üzere mikro ölçekte oyuklu örnekler üzerine aktarılması kılcal veya elektrostatik kuvvetlerin etkisinden ötürü membran yapısının çökmesi veya yırtılması ile sonuçlanabilir. Bu çalışma, kapasitif mikro sensör olarak kullanılmak üzere çok ince grafen membranlarının oluşturulmasını ve karakterizasyonunu içermektedir. Bu amaç ile çapları 2 ile 100 μm arasında değişen deşikli alttaşlar hazırlanmıştır. Grafen mikro membran üretimi için, farklı destek malzemeleri kullanılarak, grafen transferi gerçekleştirilmiştir. 300 nm derinliğinde deşikli yapılar üzerinde çapları 5 μm'ye kadar ulaşan grafen membranlar taramalı elektron ve atomik kuvvet mikroskobu ölçümleri ile gösterilmiştir.

Özet (Çeviri)

A micro capacitive sensor characteristically embraces a thin conductive membrane which is freely suspended above an immovable counter electrode in a parallel plate geometry. Such capacitive structures are found in broad range of applications as a transducer like capacitive micro-machined ultrasonic transducer (CMUT), pressure sensor, resonator and biological or chemical material sensing element. The input can be an ultrasound wave, pressure, chemical or biological mass attachment which result in the deflection of the membrane. Emerging nano materials have shown great potential as candidates for generation of nano and micro electromechanical systems (NEMS, MEMS). Among these nano materials, graphene is regarded as a promising material because of its ultra low mass, thickness, high surface to volume ratio, flexibility, and extraordinary electrical and mechanical properties. However, the transfer of graphene on substrates with micro scale cavities is challenging since the fabrication of large area membranes with a smaller air gap often results in membrane tearing or collapse driven by capillary or electrostatic forces. This study presents a research on the fabrication and the characterization of graphene membranes to be used in micro capacitive sensor applications. Substrates which span a large array of circular and hexagonal micro cavities between 2-100 μm in diameter are fabricated. Graphene transfer with different support materials are studied to fabricate graphene micro membranes. Up to 5 μm diameter membranes on 300 nm deep cavities are demonstrated via scanning electron microscope (SEM) and atomic force microscope (AFM) tools.

Benzer Tezler

  1. Nanostructuredpolythiophene hybrid chargetransfer complexes

    Başlık çevirisi yok

    EMİN ISTİF

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2018

    KimyaUniversidad de Zaragoza

    DR. WOLFGANG MASER

  2. Experimental and theoretical approaches in macromolecules design, synthesis, modification and nanosensor applications

    Makromoleküllerin dizayn, sentez ve modifikasyonunda teorik ve deneysel yaklaşımlar ve nanosensör uygulamaları

    MERVE SENEM AVAZ

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2017

    Bilim ve TeknolojiSabancı Üniversitesi

    Malzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. YUSUF ZİYA MENCELOĞLU

  3. Thermal radiation from modulated metal surfaces

    Modüle metal yüzeylerden termal radyasyon

    SAIFA AMIN

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2023

    Fizik ve Fizik MühendisliğiSabancı Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. İSMET İNÖNÜ KAYA

  4. Investigation of electronical and mechanical properties of twisted bilayer systems of two dimensional materials

    İki boyutlu materyallerinin döndürülmüş çift katmanlı sistemlerinin elektronik ve mekanik özelliklerinin araştırılması

    BÜŞRA GAMZE ARSLAN

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2021

    Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Fizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. OĞUZHAN GÜRLÜ

  5. Design and characterization of active photocataylysts based on transition metal chalcogenides

    Fotokatalitik hidrojen üretimi için süülfürizasyon yöntemi ile fotokatalizörlerin üretilmesi ve karakterizasyonu

    İREM TANIŞIK

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2019

    Kimya MühendisliğiMarmara Üniversitesi

    Kimya Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. ATIF KOCA