Design and development of fiber optic MEMS microphonemeasurement system
Fiber optik MEMS mikrofon ölçüm sistemi tasarımı vegeliştirilmesi
- Tez No: 582647
- Danışmanlar: PROF. DR. BARIŞ BAYRAM
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2019
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Orta Doğu Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 78
Özet
Bu tez çalışmasında, fiber optik MEMS mikrofon ölçüm sistemi tasarlanmış ve gösterilmiştir. Zarın, fiber optik mikrofonun algılama elemanının, optik bileşenlerle birlikte yer değiştirmesi, 3-B modellenmiş ve ışın izleme yöntemleri ile benzetim yapılmıştır. Optik sistemin farklı ölçüm koşulları altındaki parametreleri benzetim sonuçlarına göre optimize edilmiştir. Benzetim sonuçlarına dayanarak, ölçüm sistemi kurulumu tasarlanmış, yapılandırılmış ve işlevselleştirilmiştir. Sistemin optik bileşenleri, genel sistemin, zarın yer değiştirmesinin yüksek kalitede saptanması ile uyumlu olacak şekilde seçilmiştir. Benzetim sonuçları ve deneysel verilerin, ölçüm sisteminin çalışmasını doğruladığı gösterilmiştir. Sistem optik bileşenler ve zar ile kurulmuş olup fiber optik mikrofonun karakteristik özellikleri elde edilmiştir. Sistemin tümü ile ilgili sonuçlar ve gözlemler sunulmuştur.
Özet (Çeviri)
In this thesis, fiber optic MEMS microphone measurement system is designed and demonstrated. The displacement of the sensing element of the fiber optic microphone, the membrane, together with the optical components are 3-D modeled and simulated by means of ray tracing methods. The parameters of the optical system under different measurement conditions are optimized according to the simulation results. Based on the simulation results, the measurement system setup is designed, constructed and functionalized. The optical components of the system are chosen such that the overall system is compatible to high quality detection of the displacement of the membrane. The simulation results and experimental data are demonstrated to validate the operation of the measurement system. The system is demonstrated with optical components and the membrane, and characteristics of the fiber optic microphone are obtained. The results and observations related to the overall system are presented.
Benzer Tezler
- MEMS sensor platform for vital monitoring under mri and intraocular pressure measurement
Yaşamsal işaretlerin ve göz içi basıncın ölçülmesine yönelik MEMS basınç ölçer platformunun geliştirilmesi
PARVIZ ZOLFAGHARI
Doktora
İngilizce
2023
Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiElektronik ve Haberleşme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. ONUR FERHANOĞLU
- Batch-compatible micromanufacturing of a CMUT array for optoacoustic imaging of tissue-like phantoms
Doku benzeri fantomların optoakustik görüntülenmesi için CMUT dizilerinin toplu mikro üretimi
DOĞU KAAN BUĞRA ÖZYİĞİT
Yüksek Lisans
İngilizce
2021
Mühendislik Bilimleriİhsan Doğramacı Bilkent ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı
DR. ÖĞR. ÜYESİ MEHMET YILMAZ
- The development and comparison of procedures for the immobilization of various reagents onto polymeric supports for use in optical sensors
Optik sensörlerde kullanılmak üzere çeşitli reaktiflerin polimerik desteklere tutturulması yöntemlerinin geliştirilmesi ve karşılaştırılması
NURGÜL MALÇIK
- Design and analysis of an open loop fiber-optic gyroscope
Açık döngü fiber optik dönüölçer tasarımı ve analizi
MURAT ÖZDEMİR
Yüksek Lisans
İngilizce
2012
Fizik ve Fizik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiFizik Bölümü
HALİL BERBEROĞLU
DR. HAKAN ALTAN
