Geri Dön

MEMS sensor platform for vital monitoring under mri and intraocular pressure measurement

Yaşamsal işaretlerin ve göz içi basıncın ölçülmesine yönelik MEMS basınç ölçer platformunun geliştirilmesi

PDF İndir

  1. Tez No: 874473
  2. Yazar: PARVIZ ZOLFAGHARI
  3. Danışmanlar: DOÇ. DR. ONUR FERHANOĞLU
  4. Tez Türü: Doktora
  5. Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2023
  8. Dil: İngilizce
  9. Üniversite: İstanbul Teknik Üniversitesi
  10. Enstitü: Lisansüstü Eğitim Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Elektronik ve Haberleşme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Elektronik Mühendisliği Bilim Dalı
  13. Sayfa Sayısı: 125

Özet

Bu çalışma kapsamında, Manyetik Rezonans Görüntüleyi'cide (MRI) gerçekleştirilen müdahalelerde kullanılan minimal ve non-invaziv tıbbi cihazlar için basınç, sıcaklık ve lokalizasyon bilgilerinin gerçek zamanlı olarak izlenmesi için optik tabanlı Mikroelektromekanik Sistem (MEMS) sensörleri geliştirmek amaçlanmıştır. Geliştirilen bu yeni sistem, operatörün ameliyatta kullanılan tıbbi cihazın (örneğin kateterler) konumunun yanı sıra çevresel koşulları (sıcaklık ve basınç) gerçek zamanlı olarak bilmesini sağlar. Böylece elde edilen görüntü kalitesindeki bozulma engellenmiş; dolayısıyla girişimsel cihazdan bilgi alınması, aynı zamanda da izlenmesi sağlanarak operasyonun başarılı olma ihtimali artırılmış olacaktır. MEMS, minyatürleştirmeya dayalı bir alan olduğu ve aynı alt tabakaya entegre edilecek çok işlevli cihazlar sunduğundan, bu teknolojinin kullanımı tıbbi ve biyolojik uygulamalarda giderek artmaktadır. Bu çalışmanın ana amacı; MEMS ve fiber optik bileşenlerin, görüntüleme yöntemleriyle uyumlu olacak şekilde entegre edilmesi ve MEMS sensörlerinin uygulanması gibi alanlarda kullanılacak bir takım mikrofabrikasyon dizisi geliştirmektir. İlk yaklaşım olarak, manyetik rezonans görüntüleme destekli müdahalelerde kullanılmak üzere fiber optik tabanlı bir platform üzerinde mikrosistem sensörleri uygulanmaktadır. MEMS sensörleri bir platform üzerinde gerçeklenir ve bu platform ile tek modlu fiber kablolar arasında entegrasyon sağlanır. Sunulan platform, görüntüleme destekli cerrahi prosedürler sırasında gerçek zamanlı ve yerinde basınç, sıcaklık ve lokalizasyon geri bildirimi sağlar. Platform, iç çapı 1,8 mm olan bir girişimsel tıbbi cihaza sığacak şekilde tasarlanmıştır. Bu platform damardaki kan dolaşımı için kullanılırken; sıcaklık ve basıncın gerçek zamanlı ve doğru şekilde izlenmesini sağlamak amacıyla üç boyutlu (3D) basılan delikli polimer bir kapağa sahiptir.Fiber kabloların ucunda, optik sinyal toplama verimliliğini artıran Kademeli İndeks (GRIN) lensler kullanılmıştır. Sıcaklık (T), basınç (P) ve konum (∆X) sensörlerine sahip MEMS platformu üç ışık huzmesi ile aydınlatılmaktadır. Her bir sensör için farklı dalga boylarına sahip ışık kaynakları kullanılmıştır. Bunlar basınç, lokalizasyon ve sıcaklık sensörleri için sırasıyla 637 nm lazer, 780 nm lazer ve 875 nm LED'dir (50 nm bant genişliği ile). Membranın hazne basıncına göre çevresel basınç değişimi, bir kırınım ızgarası interferometre okuma şemasına sahip salınan bir metal-polimer-metal hibrit membran tarafından gerçekleştirilir. İstenen kan basıncı aralığına (5 mmHg ila 240 mmHg) uygun olanı incelemek ve optimize etmek için optik basınç sensörünün zarı (platform üzerinde) 200 ve 400 um arasındaki çeşitli çaplarda tasarlandı ve üretildi. Yansıyan ışık, basınç bilgisini elektrik sinyallerine dönüştüren bir fotodedektör tarafından toplandı. Sıcaklık algılama, enerji bant aralığının ortam sıcaklığındaki değişimlerinden dolayı yarı iletkenlerdeki (yani GaAs) absorpsiyon ve iletim değişikliğine dayalı olarak gerçekleştirilir. Yarı iletken (örneğin GaAs) üzerine özel olarak seçilmiş bir dalga boyunda gelen ışık, sıcaklık değişimi kendi özellikleri doğrultusunda yansıtılacaktır. GaAs'ın bir yüzeyinin ayna görevi görmesi için metalle kaplandığı Gallium Arsenide kalıbı, platforma entegre edilmiş ve ışık çiftli fiber optikle aydınlatılmış bir optik sıcaklık olarak kullanıldı. Tıbbi cihazın lokalizasyonu, manyeto-optik Kerr etkisine dayalı olarak elde edilir, yani Demir (III) Oksit manyetik malzeme gibi bir manyetik malzemede değişen mıknatıslanma nedeniyle yansıyan ışık huzmesi üzerindeki polarizasyon değişikliği kullanılır. Manyetik malzeme iki prizma üzerine kaplanmıştır ve prizmalar, aydınlatılmış polarize ışığı fiber optiğe doğru yansıtmak için platformun altına retro-reflektör formunda entegre edilmiştir. Sensör çipi, ±0,22 C'lik bir sıcaklık hassasiyeti, 1 mmHg'lik bir basınç çözünürlüğü ve 3 mm'lik bir yerelleştirme çözünürlüğü ortaya çıkarmıştır. Burada bahsedilen tüm değerler tıbbi uygulamalar açısından önemlidir. Bu projede geliştirilecek entegre MEMS basınç, sıcaklık ve manyeto optik sensörler, MR uyumlu fiber tabanlı tüm cihazları aynı platform üzerine getirmesi ve operatöre gerçek zamanlı veri vermesi açılarından önemli yenilikler içermektedir. Özetle tüm bunlar, operatörün operasyon sırasında hastanın durumuna ilişkin güvenilir bir gerçek zamanlı veri seti ile müdahaleler gerçekleştirmesine olanak sağlayacaktır. Bu çalışmada geliştirilen sensörlerin entegrasyonu, kateter ve stent gibi tıbbi cihazların girişimsel cerrahide yeni bir ufuk açmasına yardımcı olur. İkinci bir yaklaşım olarak ise, bir fiber optik ve bir ışık kaynağı kullanmak için önerilen ilk çoklu sensör platformumuz geliştirildi. Bu amaçla, Manyetik Rezonans Görüntüleme altında minimal invaziv cerrahi ve teşhis uygulamaları için hedeflenen yığınlanmış bir sıcaklık, basınç ve lokalizasyon platformu sunuldu. Platform; mikro fabrikasyon ile üretilmiş üç katmanlı bir (Titanyum-Parilen-Titanyum) membran basınç sensöründen, bir Galyum Arsenit bant aralığı sıcaklık sensöründen, son olarak Manyetik Rezonans Görüntüleme altında yerelleştirme geri bildirimi sağlamak üzere kullanılacak bir manyetik alan sensöründen oluşmuşmaktadır. Bu manyetik alan sensörü ise Manyeto-Optik Kerr etkisinden yararlanan çift prizma retro-yansıtma özelliğine sahip bir manyetik malzemeden oluşur. Sensörün ve platformumuzun bağlı olduğu girişimsel cihazın (yani kateter, ablasyon probu vb.) konumunu gözlemlemek için uzamsal olarak değişen manyetik alan yoğunluğunu (MRI ortamında olduğu gibi) ölçmek için MOKE etkisinden yararlanıldı. Tüm sensörler, toplanan ışığın bir spektrometre ve polarimetreye yönlendirildiği tek bir fiber optik kablo ile adreslenebilir. Basıncı interferometri ile gözlemlemek için gömülü kırınım ızgaralarıyla birlikte mikro fabrikasyon üç katmanlı sızdırmaz bir zar kullanıldı. Üç katmanlı mikro fabrikasyon membran sensörü için, basıncı optik yoğunluğa bağlayan analitik bir formülasyon türetilmiştir. Ayrıca, analitik bulguları doğrulayan sonlu eleman simülasyon sonuçları sağlandı. Sensörleri aynı anda adreslemek için dalga boyu bölmeli çoğullamadan yararlanıldı. Prensip kanıtı işlemleri, simülasyon sonuçları ve analitik bulgularla uyumlu olarak 25 milidegree/milliGauss polarizasyon dönüşü, 1,5 nm/mmHg yer değiştirme, manyetik alan için 0,36nm/°C bant aralığı dalga boyu kayması, basınç ve sıcaklık hassasiyetlerini ortaya koyan tüm sensörler için gösterildi. Önerilen bu cihaz, daha fazla geliştirme halinde Manyetik Rezonans destekli cerrahi prosedürlerde kullanılmak üzere klinik bir ortama uyarlanabilir. Bu çalışma kapsamında geliştirilecek sensörlerin kateter, stent gibi medikal cihazlara entegrasyonu girişimsel cerrahide yeni bir ufuk açacaktır. MRG modalitesinde sensör çalışmasının başarılı bir şekilde gösterilmesi, RF ablasyon kateterleri, yüksek odaklı ultrasonik kateterler ve lazer ablasyon kateterleri gibi yeni uygulama alanları açacaktır. Bu çalışmanın sonucu, yeni girişimsel tıbbi cihaz ve sistemlerin geliştirilmesinde bilgi birikimi sağlayabilir. İnsan fizyolojik basıncına uygun çeşitli membran çaplarında birkaç optik basınç sensörünün tasarımına ve imalatına dayanarak, göz içi basıncının gerçek zamanlı izlenmesine yönelik yeni bir implante edilebilir MEMS sensör okuma gözlüğü çifti sunuldu. Genel sistem, i) korneaya veya göz içi merceğe gömülecek bir kırınım ızgaralı interferometrik MEMS sensörünü ve ii) bir lazer diyodu, minyatür asferik mercekler ve bir CMOS kamera ile gömülü okuma gözlüklerini içermektedir. Kırılan düzenlerin bolluğu nedeniyle, önerilen göz içi basıncı ölçüm sistemi, kamera aracılığıyla izleme sırasında ±8 derecelik göz eğimi toleransı sunar. Ayrıca, sensöre bitişik bir veya daha fazla referans ızgarasının kullanılması, sensör üzerindeki değişen optik gücün (göz hareketi veya lazer gürültüsü nedeniyle) etkilerini azaltır. Önerilen cihazın tasarımı, basınç sensöründen kırılan sıraların analitik modellemesi, okuma camlarının ışın izleme simülasyonları ve MEMS sensörünün basınç ve sapma davranışını gösteren FEM sonuçları ile çerçevelenmiştir. In-vitro ölçümler yoluyla, 4,06 nm/mmHg ortalama sapma hassasiyeti ve 2,5 mmHg çözünürlük ile ∆p = 40 mmHg aralığında basınç ölçümü olduğu görülmüştür. Daha fazla geliştirme ile, önerilen sistem kişiselleştirilmiş gerçek zamanlı glokom izleme için kullanılabilir. Genel olarak, çalışmanın bu bölümünde, göz içi basıncının gerçek zamanlı izlenmesi için optik sensör-gözlük çiftinin tasarımını, üretimini ve karakterizasyonu sunulmuştur. Okuma gözlükleri, bir ışık kaynağı, bir teleskop asferik lens çifti ünitesi, bir saçılma plakası ve bir endoskopik kamera, IOP'nin bir fonksiyonu olarak kırınımlı düzen yoğunluğunu izlemek için kullanıldı. Ölçülen basıncı optik lazer gücündeki değişikliklerden ayırmak amacıyla, mühürlü membran tabanlı basınç sensörünün yanına bir referans ızgara yerleştirildi. Birleşik sensör-gözlük platformu, göz küresi dönüşleri için ±15 dereceye kadar potansiyel bir artışla ±8 dereceye kadar kırınımlı düzen yoğunluklarını ölçtüğümüz PDMS tabanlı şişirilebilir bir göz fantomuyla test edildi. Camlar, Seçici Lazer Sinterleme (SLS) yöntemiyle modüler bir şekilde 3D olarak basılmıştır. 1 mW'lık uygulanan lazer gücü, ANSI lazer güvenlik standartlarına uygun olarak ayarlanmıştır. Ayrıca tez çalışmasının son bölümü olarak göz içi basıncının izlenmesine yönelik temassız ve girişimsel olmayan bir cihaz sunulmuştur. Basınç izleme cihazı, bir lazer kaynağı, çoklu minyatür lensler ve aynalar, korneanın yapılandırılmış aydınlatması için bir maske ve minyatür bir kamera içeren giyilebilir gözlükler biçimindedir. Basınç seviyesi, kornea üzerindeki ızgara deseninin eğrilik yarıçapı gözlenerek çıkarılmıştır. Tasarımımız analitik modelleme, ışın izleme ve sonlu eleman simülasyonları ve farklı eğim açılarında elastik bir göz fantomu üzerinde deneyler ile doğrulanmıştır. Ayrıca, yeni bir temassız akıllı camın prensip kanıtı çalışmasını gösterilmiştir. Değişen iç basınçla göz küresi üzerindeki yansıtılan ızgara deseninin eğrilik yarıçapındaki değişikliğe dayalı olarak sonuçlar, 0 – 55 mmHg basınç aralığında 2,4 mmHg'lik bir basınç ölçüm çözünürlüğünü ortaya koymaktadır. Gözlük çerçevesi, Erimiş Biriktirme Modellemesi (FDM) yoluyla Polilaktik Asit (PLA) malzemesi kullanılarak basılmıştır. Silindirik oluklar, lazer diyot (λ = 650 nm), lensler ve minyatür kamera için ayrılmıştır. Young's modülü yaklaşık 1.5 MPa olan bir Polidimetilsiloksanın (PDMS) elastik özelliği nedeniyle, deneylerde PDMS tabanlı bir göz fantomu kullanılmıştır. Akıllı gözlükler yalnızca gündüz için kısıtlıdır ve açık bir göz kapağını taklit eden bir hayalet üzerinde gösterilmiştir. Gelecekteki çalışmalarda gece kullanımı için kapalı göz kapakları ile eğrilik yarıçapındaki değişimi gözlemlemek planlarımız arasındadır. Bu durumda, iç basınçta aşırı bir değişiklik olması durumunda kullanıcıyı uyarmak için yeterli olabilecek daha küçük bir ROC değişikliği beklenmektedir. Ayrıca uyku sırasında kullanılmak üzere gözlüğün mekanik tasarımı ve formu iyileştirilebilir. Daha fazla in-vivo deney ve geliştirme ile, önerilen cihaz potansiyel olarak gündüz saatlerinde kişiselleştirilmiş gerçek zamanlı göz içi basıncı izlemede kullanılabilir.

Özet (Çeviri)

In part of this study, we aim to develop optical-based Microelectromechanical System (MEMS) sensors for minimally invasive and non-invasive medical devices used for Magnetic Resonance Imaging (MRI) interventions.The use of MEMS in medical and biological applications has been rising steadily because it allows multifunctional devices to be integrated on the same substrate with the help of miniaturization. These sensors will be used to track the location of medical devices in real-time as well as measure pressure and ambient temperature. The operator can see environmental factors like temperature and pressure as well as the locations of surgical tools like catheters with the aid of this cutting-edge technology. This improves the success of the procedure by enabling tracking and information gathering from the interventional device without degrading the quality of the collected images. This work aims to integrate MEMS and fiber optical components to be compatible with the imaging modality. It also develops a microfabrication sequence for MEMS sensor implementation. In the first approach, microsystems sensors are integrated on a fiber optics-based platform for use in therapies supported by magnetic resonance imaging. MEMS sensors are implemented on a platform, and single-mode fiber cables are integrated with this platform. During imaging-assisted surgical operations, the described platform provides real-time and in-situ pressure, temperature, and location feedback. A medical interventional device with an inner diameter of 1.8 mm may accommodate the platform. The platform has a three-dimensional printed polymer cap with perforation utilized for the circulation of blood in the vessel to allow correct monitoring of the temperature and pressure in real-time. At the fiber cable ends, Graded Index (GRIN) lenses were used to increase the effectiveness of optical signal collecting. Three laser beams illuminate the MEMS platform that contains temperature (T), pressure (P), and localisation (∆X) sensors. Each sensor used a separate light source with a different wavelength: a 637 nm laser for pressure, a 780 nm laser for localization, and an 875 nm LED (with 50 nm bandwidth) for temperature. A released metal-polymer-metal hybrid membrane changes the environment's pressure relative to the membrane's chamber pressure using an interferometer readout method based on diffraction gratings. To research and develop the best membrane for the intended blood pressure range (from 5 mmHg to 240 mmHg), we designed and made the membrane of the optical pressure sensor (over the platform) in multiple sizes between 200 and 400 um. Based on fluctuations in the energy bandgap with ambient temperature, temperature sensing is performed in semiconductors (such as GaAs) by changing the absorption and transmission. The incident light on the semiconductor (such as GaAs) at a certain wavelength are reflected with the temperature change signature. As an optical thermometer integrated on the platform and lighted by light-coupled fiber optic, we used a Gallium Arsenide die, where one surface of GaAs is coated with metal to operate as a mirror. The magneto-optical Kerr effect (MOKE), which describes the change in polarization on the reflected light beam caused by variable magnetization in a magnetic substance like Iron(III) Oxide, is used to determine the location of the medical device. Prisms are incorporated under the platform in a retro-reflector shape and covered with magnetic material to reflect lit polarized light in the direction of the fiber optic. The sensor chip's measurements of temperature precision (0.22 ◦C), pressure resolution (1 mmHg), and localization resolution (3 mm), all of which are pertinent to medical practice, were made. In a second study; the integrated MEMS pressure, temperature, and magneto-optical sensors are developed enabling the operator to get real-time data from all MRI-compatible fiber-based devices on a single platform. As a result, the operator will be able to undertake interventions with a solid collection of real-time information about the patient's condition during the procedure. By incorporating the sensors developed in this work, medical equipment like catheters and stents can open up new possibilities for interventional surgery. We developed our first proposed multi-sensor platform as a second approach, using one fiber optic and one light source. In order to do this, we describe a stacked temperature, pressure, and localization platform designed for magnetic resonance imaging-based minimally invasive surgical and diagnostic procedures. The platform includes a magnetized material on a double prism retro-reflector that uses the MOKE as a magnetic field sensor to provide localization feedback during magnetic resonance imaging, a Gallium Arsenide band-gap temperature sensor, and a titanium, parylene, and titanium three-layer membrane pressure sensor. In order to determine where the sensor and the interventional device, such as a catheter, ablation probe, etc. to which our platform is attached are located, we used the MOKE technique to assess the spatially changing magnetic field density. A single fiber optic connection may connect all sensors, and the gathered light is sent to a spectrometer and a polarimeter. To employ interferometry to measure the pressure, a microfabricated three-layer sealed membrane with embedded diffraction gratings is used. An analytical formulation that connects the pressure to optical intensity is developed for the three-layer microfabricated membrane sensor. The analytical conclusions are also supported by finite-element simulation results. The use of wavelength division multiplexing allows for simultaneous sensor addressing. A magnetic field sensor, a pressure sensor, and a temperature sensor each had proof-of-concept operations that revealed sensitivities of 25 mdeg/mG rotation of polarization, 1.5 nm/mmHg displacement in agreement with simulation results and analytical findings, and 0.36 nm/◦C bandgap wavelength shift, respectively. The suggested gadget can be modified for usage in clinical settings for magnetic resonance-assisted surgical operations with future development. Overall, new application areas, including those for RF ablation catheters, highly focused ultrasonic catheters, and laser ablation catheters, will be made possible by the successful demonstration of sensor functioning in the MRI modality. The results of this study could inspire the development of novel interventional medical systems and technologies. In a third study, we presented a novel implanted MEMS sensor-readout glasses pair for the real-time monitoring of intraocular pressure based on the design and manufacturing of several optical pressure sensors in varied membrane widths that are acceptable for human physiological pressure. The entire system consists of two components: (i) a diffraction grating interferometric MEMS sensor that can be implemented into the cornea or intraocular lens, and (ii) readout glasses embedded with a laser diode, miniaturized aspheric lenses, and a CMOS camera. The suggested intraocular pressure measuring device allows for an eye tilt tolerance of around ±8 degrees while being monitored by a camera because to the number of diffracted orders. Additionally, the sensor is protected from the effects of changing optical power (caused by eye movement or laser noise) by the use of one or more reference gratings nearby. The ray-tracing simulations of the readout glasses, the analytical modeling of the diffracted orders from the pressure sensor, and the FEM results showcasing the deflection versus pressure behavior of the MEMS sensor are all included in the detailed design of the proposed device. We demonstrated pressure measurement in the range of ∆ p = 40 mmHg using in-vitro tests, with an average deflection sensitivity of 4.06 nm/mmHg and a resolution of 2.5 mmHg. Overall, in this part of the study, we present the design, manufacturing, and characterization of the optical sensor-glasses pair for real-time monitoring of intraocular pressure. To track the diffracted order intensity as a function of IOP, the readout glasses are equipped with a light source, a telescope aspheric lens pair unit, a scattering plate, and an endoscopic camera. A reference grating is placed next to the sealed membrane-based pressure sensor in order to distinguish the recorded pressure from variations in optical laser power. With a Polydimethylsiloxane(PDMS)-based inflated eye phantom, the combined sensor-glasses platform was put to the test. We took measurements of the diffracted order intensities for eyeball rotations up to ±8 degrees with a potential increment of ±15 degrees. The glasses were 3D printed in a modular form using the Selective Laser Sintering (SLS) technique. According to ANSI laser safety guidelines, a 1 mW laser was used in the application. The last section of the thesis study includes the latest results on a non-contact, non-invasive device for measuring intraocular pressure. The pressure-monitoring device is a pair of wearing 3D printed glasses that includes a laser source, several miniature lenses and mirrors, a mask for structured corneal illumination, and a miniature camera. By measuring the radius of curvature of the grid-like pattern on the cornea, the pressure level may be determined. We use tests on an elastic eye phantom at various tilt angles, analytical modeling, ray tracing, finite element simulations, and experiments to support our concept. In addition, we have shown the innovative non-contact smart glass in proof-of-concept functioning. The findings show that a pressure measurement resolution of 2.4 mmHg between the 0-55 mmHg pressure range may be achieved. This is based on the change in the radius of curvature of the projected grid pattern on the eyeball with altering internal pressure. The laser diode (with a wavelength of 650 nm), the lenses, and the miniature camera all had their own cylindrical grooves. A PDMS-based eye phantom was utilized in the studies due to the elasticity property of a PDMS with a Young's modulus of roughly 1.5 MPa. The suggested device may be employed for individualized real-time intraocular pressure monitoring throughout the daylight with additional in-vivo testing and development.

Benzer Tezler

  1. Tez No

    884259

    MEMS ile entegre mikro ısıtıcı ve IDE mikro sistemlerin fabrikasyonu ve nano kompozit yarı iletken gaz sensör uygulaması

    Fabrication of integrated micro heater and ide micro systems with MEMS and application of nano composite semiconductor GAS sensor

    HALİME İLBEYİİLİNGİ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2024

    Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Fizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DR. ÖĞR. ÜYESİ BERNA MOROVA

    DOÇ. DR. CİHAT TAŞALTIN

  2. Tez No

    902417

    Development of microRNA-based lab-on-a-chip biosensor platforms with direct electrical readout for screening of colorectal cancer biomarkers

    Kolorektal kanser biyobelirteçlerinin taraması için doğrudan elektriksel okuma özellikli mikroRNA tabanlı çip-üstü-laboratuvar biyosensör platformlarının geliştirilmesi

    OSMAN ŞAHİN

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2024

    BiyoteknolojiSabancı Üniversitesi

    Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. MURAT KAYA YAPICI

  3. Tez No

    371837

    Electroplating RF MEMS resonators and optical characterization

    RF MEMS çınlayıcıların elektrokaplaması ve optik belirlemesi

    MOHAMMAD HOSSEIN MAZAHERI KOUHANI

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2014

    Elektrik ve Elektronik MühendisliğiBoğaziçi Üniversitesi

    Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. ARDA DENİZ YALÇINKAYA

  4. Tez No

    485111

    Farklı yüzeylere uyum sağlayabilen denge robotu için zeki ve adaptif kontrol algoritmalarının geliştirilmesi

    Development of intelligent and adaptive control algorithms for balance robot capable of adapting different surfaces

    ALİ ÜNLÜTÜRK

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2017

    Elektrik ve Elektronik MühendisliğiSelçuk Üniversitesi

    Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. ÖMER AYDOĞDU

  5. Tez No

    332219

    Development of actuator and force sensor for small-scale mechanical testing

    Küçük ölçekte mekanik test için eyleyici ve kuvvet algılayıcısı geliştirilmesi

    GÖKHAN NADAR

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2013

    Makine MühendisliğiKoç Üniversitesi

    Makine Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. BURHANETTİN ERDEM ALACA

Geri Dön