Growth and characterization of MoO thin films
MoO ince filmlerin üretimi ve karakterizasyonu
- Tez No: 672253
- Danışmanlar: DR. ÖĞR. ÜYESİ HASAN HÜSEYİN GÜLLÜ
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2020
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Atılım Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 55
Özet
Bu tezde, deneysel çalışmalar MoO ince filmlerinin üretimi ve karakterizasyonu üzerine yoğunlaştı. Bu nedenle, kompozisyon stokiyometrisini sağlayan ince film örnekleri DC magnetron saçtırma metodu kullanarak üretildi. Saçtırma sürelerine bağlı olarak iki farklı örnek seti hazırlandı. DC gücü 100 W olarak sabitlenerek üretimde birikme oranı kontrol altına alındı ve üretim süresi 30 ve 60 dakika olarak belirlendi. Ayrıca, alttaş sıcaklığının etkileri de araştırıldı. Her örnek seti için, üretim sırasında oda sıcaklığı ile 300°C arasında farklı alttaş sıcaklıkları uygulanarak dört faklı örnek elde edildi. Böylece, üretim zamanı ve altaş sıcaklığı farklılıklarına bağlı olarak, örneklerin yapısal, yüzey, optik ve elektriksel karakteristikleri değerlendirildi.
Özet (Çeviri)
In this thesis, the experimental work was focused on growth and characterization of MoO thin films. Therefore, thin film samples in the compositional stoichiometry were deposited using DC magnetron sputtering method. Two sets of samples depending on their sputtering times were obtained. Keeping DC power at 100 W that allows to get a fixed deposition ratio, timing was arranged as 30 and 60 minutes. In addition, the effects of substrate temperature were investigated. For each set, four different samples due to their substrate temperatures, in between the room temperature and 300°C, during the sputtering process were prepared. Thus, structural, surface, optical and electrical characteristics of these samples depending on deposition time and the variation in substrate temperature were evaluated.
Benzer Tezler
- Molibden oksit ince filmlerin saçtırma metodu ile büyütülmesi ve karakteristiklerinin incelenmesi
Growth and characterization of MoO3 thin films with RF sputtering
AYLAR FEIZOLLAHI VAHID
Yüksek Lisans
Türkçe
2016
Mühendislik BilimleriAtatürk ÜniversitesiNanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. EMRE GÜR
- Çok fazlı molibden oksitten molibden disülfür ince film büyütülmesi
Molybdenum disulfide thin films fabrication from multiphase molybdenum oxide
AYŞE KARATAŞ
Yüksek Lisans
Türkçe
2020
Bilim ve TeknolojiNecmettin Erbakan ÜniversitesiNanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı
DR. ÖĞR. ÜYESİ MÜCAHİT YILMAZ
- Manyetik geçiş elementiyle katkılanmış germanyum yarı iletkenlerinin büyütülmesi ve karakterizasyonu
Growth and characterization of germanium semiconductors doped with magnetic transition metals
AYKUT CAN ÖNEL
Yüksek Lisans
Türkçe
2014
Fizik ve Fizik MühendisliğiGebze Yüksek Teknoloji EnstitüsüFizik Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. LEYLA ÇOLAKEROL ARSLAN
- Silisyum ve germanyum nanoçubukların elektron demeti buharlaştırma sistemiyle büyütülmesi ve karakterizasyonu.
Growth and characterization of silicon and germanium nanorods by electron beam deposition
MEHMET KARAKIZ
Doktora
Türkçe
2014
Fizik ve Fizik MühendisliğiGebze Yüksek Teknoloji EnstitüsüFizik Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. LEYLA ÇOLAKEROL ARSLAN
- Fe ve AI ortak katkılı Zn0.95Mn0.05O ince filmlerin büyütülmesi ve karakterizasyonu
Growth and characterization of Fe and AI co-doped Zn0.95Mn0.05O thin films
MEHMET YILDİRİM
Yüksek Lisans
Türkçe
2019
Fizik ve Fizik MühendisliğiHarran ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. YUNUS BABUR