Farklı yönelimli safir alttaşlar üzerine sisli kimyasal buhar biriktirme yöntemiyle büyütülen ZnO filmlerin yapısal ve elektriksel özelliklerin incelenmesi
Investigation of structural and electrical properties of ZnO thin films by mist chemical vapor deposition method on sapphire with different orientation
- Tez No: 679766
- Danışmanlar: PROF. DR. MEHMET KASAP
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2021
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Gazi Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 80
Özet
Bu çalışmada, ZnO ince filmler c-, r- ve m- yönelimli safir alttaşlar üzerine sis kimyasal buhar biriktirme (Mist-CVD) yöntemi ile büyütülmüştür. ZnO numuneler zenginleştirilmiş ozon gazı ortamında 350℃ sıcaklıkta 30 dakika boyunca büyütülmüştür. Tüm numunelerin x-ışını kırınımı (XRD), atomik kuvvet mikroskobisi (AFM) ve taramalı elektron mikroskobisi (SEM), Raman spektroskopisi ve oda sıcaklığında Hall etkisi ölçümleri yapılmıştır. XRD sonuçlarına göre büyüyen ZnO filmlerin hekzagonal fazda olduğu belirlenmiştir. Hem AFM hem de SEM görüntüleri ile yüzeyde sürekli ve homojen film olduğu belirlenmiştir. Raman spektroskopi ölçüm sonuçlarında hekzagonal ZnO'ya ait titreşim modları görülmüştür. Elde edilen sonuçlarla sis kimyasal buhar biriktirme yöntemi ile farklı yönelimli safir alttaşlar üzerine kaliteli ZnO ince filmlerin büyüdüğü görülmüştür.
Özet (Çeviri)
In this study, ZnO thin films on sapphire substrates with c-, r-, m- orientation were grown by Mist-CVD method. ZnO samples were grown under enriched ozone gas atmosphere at 350℃ temperature for 30 minutes. X-Ray Diffraction (XRD), Atomic Force Microscope (AFM) and Scanning Electron Microscopy (SEM), Raman spectroscopy and Hall effect measurements were carried out. According to XRD results grown ZnO films have hexagonal phase. Both AFM and SEM images are shown a continues and homogenous films on the surface. The vibration modes related to hexagonal ZnO are observed by Raman spectroscopy. The XRD peaks of ZnO has become stronger after the annealing of properties of the grown samples. The obtained results indicate that ZnO thin films with quality on sapphire substrates with different orientation are grown by mist chemical vapor deposition.
Benzer Tezler
- İki boyutlu dikey MoS2 yapılarının kimyasal buhar biriktirme metoduyla büyütülmesi ve süperkapasitör aygıt uygulamaları
Growth of two-dimensional vertical MoS2 structures by chemical vapor deposition method and supercapacitor applications
HASAN FEYZİ BUDAK
Doktora
Türkçe
2024
EnerjiAtatürk ÜniversitesiNanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. EMRE GÜR
- RF saçtırma yöntemi ile GaN ince filmlerinin büyütülmesi yapısal, morfolojik ve optik özelliklerinin incelenmesi
Growth of GaN thin films by RF sputter, investigation of structural, morphological and optical properties
ASİM MANTARCI
Doktora
Türkçe
2017
Fizik ve Fizik MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiNanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MUTLU KUNDAKÇİ
- İyon bombardımanının reaktif DC magnetron kopartma tekniğiyle büyütülen metalik ince filmlerin yapısal ve elektriksel özellikleri üzerindeki etkileri
Effects of ion bombardment on the structural and electrical properties of metallic thin films prepared by reactive DC magnetron sputtering
ÖZLEM DUYAR
Yüksek Lisans
Türkçe
2001
Fizik ve Fizik MühendisliğiHacettepe ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ZAFER DURUSOY
- Fabrication and characterization of superconductor YBCO josephson junctions
Süperiletken YBCO josephson eklemleri yapımı ve karakterizasyonu
BERRİN PINAR ALGÜL
Yüksek Lisans
İngilizce
2008
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİzmir Yüksek Teknoloji EnstitüsüFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. DOĞAN ABUKAY
- Nitrit tabanlı III-V grubu yarıiletkenlerle oluşturulan çoklu kuantum kuyularının yapısal, morfolojik ve bazı optik özelliklerinin sıcaklığa bağlı olarak incelenmesi
Investigation of structural, morphological and some opticalproperties of multi-quantum wells, formed by nitrite based III-Vgroup semiconductors, dependent on temperature
AHMET KÜRŞAT BİLGİLİ
Doktora
Türkçe
2019
Fizik ve Fizik MühendisliğiGazi ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MUSTAFA KEMAL ÖZTÜRK