Geri Dön

Safir alttaş üzerine Si katkılı aın ince filmlerin epitaksiyel büyütülmesi ve yapısal karakterizasyonu

Epitaxial growth and structural characterization of Si dopedain thin films on sapphire substrate

PDF İndir

  1. Tez No: 683674
  2. Yazar: İREM ŞİMŞEK
  3. Danışmanlar: DOÇ. DR. İLKAY DEMİR
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Fizik ve Fizik Mühendisliği, Mühendislik Bilimleri, Electrical and Electronics Engineering, Physics and Physics Engineering, Engineering Sciences
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2021
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Sivas Cumhuriyet Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Nanoteknoloji Mühendisliği Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 105

Özet

Bu çalışmada, üniversitemiz bünyesinde bulunan Nanoteknoloji Laboratuvarı' ndaki Metal Organik Buhar Faz Epitaksi (MOVPE) sistemi ile safir alttaş üzerine AlN epitaksiyel tek kristal ince filmleri büyütülmüş ve detaylı karakterizasyonları yapılmıştır. Çalışmanın ilk aşamasında katkısız AlN ince filmlerin çekirdeklenme tabakası sıcaklık optimizasyonu yapılmış ardından n-AlN katkılama çalışmaları gerçekleştirilmiştir. Büyütülen epitaksiyel ince filmlerin Rigaku SmartLab x-ışını kırınımı (XRD) cihazı ile kristal yapıları analiz edilmiştir. Ayrıca ince filmlerin atomik kuvvet mikroskobu (AFM) ve Cary 5000 UV-VIS-NIR Spektrofotometre Sistemi ile yapısal ve optik karakterizasyonları incelenmiştir. Yapılan karakterizasyon çalışmaları sonucunda kristal kalitesinin, katkılama atomu Si' nin miktarına, reaktöre gönderilme sırasına ve akış miktarına bağlı olarak etkilendiği görülmüştür.

Özet (Çeviri)

In this study, AlN epitaxial single crystal thin films were grown on sapphire substrate with the Metal Organic Vapor Phase Epitaxy (MOVPE) system in the Nanotechnology Laboratory of our university and detailed characterizations were made. In the first stage of the study, nucleation layer temperature optimization of undoped AlN thin films was made, and then n-AlN doping studies were carried out. The crystal structures of the grown epitaxial thin films were analyzed with the Rigaku SmartLab x-ray diffraction (XRD) device. In addition, structural and optical characterizations of thin films were investigated with atomic force microscopy (AFM) and Cary 5000 UV-VIS-NIR Spectrophotometer System. As a result of the characterization studies, it was observed that the crystal quality was affected depending on the amount of doping atom Si, the order in which it was sent to the reactor and the amount of flow.

Benzer Tezler

  1. Tez No

    841968

    Farklı oranlarda bi katkılı ZnO ara yüzey tabakalı Al/(Bi:ZnO)/p-Si (MIS) fotodiyotların optik ve elektrik parametrelerinin incelenmesi

    Optical and electrical parameters of Al/(Bi:ZnO)/p-Si (MIS) photodiodeodes with different ratios of bi doped zno interfacial layer

    AHMET DEMİRCİ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2023

    Bilim ve TeknolojiGazi Üniversitesi

    Fotonik Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. ŞEMSETTİN ALTINDAL

    DOÇ. DR. HAYRİYE GÖKÇEN ÇETİNKAYA

  2. Tez No

    693771

    RF püskürtme yöntemi ile üretilen Ti katkılı ZnO nano malzemenin karakterizasyonu

    Characterization of Ti-doped ZnO nanomaterial produced by RF sputtering method

    CHOUSEIN BAIRAM

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2021

    Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. BARIŞ KINACI

  3. Tez No

    844120

    Grafen kuantum nokta tabanlı diyotun elektriksel ve dielektrik özelliklerinin incelenmesi

    Investigation of electrical and dielectric properties of diode based graphene quantum dots

    ZEYNEP BERKTAŞ

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2024

    Mühendislik BilimleriGazi Üniversitesi

    İleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. ELİF ORHAN

  4. Tez No

    879069

    Enerji depolamada yenilikçi karbon yapılı esnek yüzeylerin üretimi ve analizi

    Production and analysis of novel carbon structured flexible surfaces for energy storage applications

    ESRA ŞERİFE KILIÇ

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2024

    Tekstil ve Tekstil Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Tekstil Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. ALİ DEMİR

  5. Tez No

    441858

    Eş püskürtme tekniği ile büyütülen mgzno ince filmlerin yapısal ve optiksel karakterizasyonu

    The structural and optical characterization of mgzno thin films by magnetron co-sputtering

    NESLİHAN BOZKURT

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2016

    Fizik ve Fizik MühendisliğiGazi Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. AKİF ÖZBAY

Geri Dön