Safir alttaş üzerine Si katkılı aın ince filmlerin epitaksiyel büyütülmesi ve yapısal karakterizasyonu
Epitaxial growth and structural characterization of Si dopedain thin films on sapphire substrate
- Tez No: 683674
- Danışmanlar: DOÇ. DR. İLKAY DEMİR
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Fizik ve Fizik Mühendisliği, Mühendislik Bilimleri, Electrical and Electronics Engineering, Physics and Physics Engineering, Engineering Sciences
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2021
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Sivas Cumhuriyet Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Nanoteknoloji Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 105
Özet
Bu çalışmada, üniversitemiz bünyesinde bulunan Nanoteknoloji Laboratuvarı' ndaki Metal Organik Buhar Faz Epitaksi (MOVPE) sistemi ile safir alttaş üzerine AlN epitaksiyel tek kristal ince filmleri büyütülmüş ve detaylı karakterizasyonları yapılmıştır. Çalışmanın ilk aşamasında katkısız AlN ince filmlerin çekirdeklenme tabakası sıcaklık optimizasyonu yapılmış ardından n-AlN katkılama çalışmaları gerçekleştirilmiştir. Büyütülen epitaksiyel ince filmlerin Rigaku SmartLab x-ışını kırınımı (XRD) cihazı ile kristal yapıları analiz edilmiştir. Ayrıca ince filmlerin atomik kuvvet mikroskobu (AFM) ve Cary 5000 UV-VIS-NIR Spektrofotometre Sistemi ile yapısal ve optik karakterizasyonları incelenmiştir. Yapılan karakterizasyon çalışmaları sonucunda kristal kalitesinin, katkılama atomu Si' nin miktarına, reaktöre gönderilme sırasına ve akış miktarına bağlı olarak etkilendiği görülmüştür.
Özet (Çeviri)
In this study, AlN epitaxial single crystal thin films were grown on sapphire substrate with the Metal Organic Vapor Phase Epitaxy (MOVPE) system in the Nanotechnology Laboratory of our university and detailed characterizations were made. In the first stage of the study, nucleation layer temperature optimization of undoped AlN thin films was made, and then n-AlN doping studies were carried out. The crystal structures of the grown epitaxial thin films were analyzed with the Rigaku SmartLab x-ray diffraction (XRD) device. In addition, structural and optical characterizations of thin films were investigated with atomic force microscopy (AFM) and Cary 5000 UV-VIS-NIR Spectrophotometer System. As a result of the characterization studies, it was observed that the crystal quality was affected depending on the amount of doping atom Si, the order in which it was sent to the reactor and the amount of flow.
Benzer Tezler
- RF püskürtme yöntemi ile üretilen Ti katkılı ZnO nano malzemenin karakterizasyonu
Characterization of Ti-doped ZnO nanomaterial produced by RF sputtering method
CHOUSEIN BAIRAM
Yüksek Lisans
Türkçe
2021
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. BARIŞ KINACI
- Farklı oranlarda bi katkılı ZnO ara yüzey tabakalı Al/(Bi:ZnO)/p-Si (MIS) fotodiyotların optik ve elektrik parametrelerinin incelenmesi
Optical and electrical parameters of Al/(Bi:ZnO)/p-Si (MIS) photodiodeodes with different ratios of bi doped zno interfacial layer
AHMET DEMİRCİ
Yüksek Lisans
Türkçe
2023
Bilim ve TeknolojiGazi ÜniversitesiFotonik Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ŞEMSETTİN ALTINDAL
DOÇ. DR. HAYRİYE GÖKÇEN ÇETİNKAYA
- Grafen kuantum nokta tabanlı diyotun elektriksel ve dielektrik özelliklerinin incelenmesi
Investigation of electrical and dielectric properties of diode based graphene quantum dots
ZEYNEP BERKTAŞ
Doktora
Türkçe
2024
Mühendislik BilimleriGazi Üniversitesiİleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ELİF ORHAN
- Enerji depolamada yenilikçi karbon yapılı esnek yüzeylerin üretimi ve analizi
Production and analysis of novel carbon structured flexible surfaces for energy storage applications
ESRA ŞERİFE KILIÇ
Doktora
Türkçe
2024
Tekstil ve Tekstil Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiTekstil Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ALİ DEMİR
- Kan lekesi tarama testlerinin DNA bütünlüğü üzerine etkileri
Effects of presumptive bloodstain tests on DNA integrity
İPEK ESEN MELEZ
Tıpta Uzmanlık
Türkçe
2011
Adli TıpAdalet BakanlığıAdli Tıp Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. MUSTAFA ÖZEN
DOÇ. DR. CENGİZ HALUK İNCE