Eş püskürtme tekniği ile büyütülen mgzno ince filmlerin yapısal ve optiksel karakterizasyonu
The structural and optical characterization of mgzno thin films by magnetron co-sputtering
- Tez No: 441858
- Danışmanlar: YRD. DOÇ. DR. AKİF ÖZBAY
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2016
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Gazi Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Fizik Bilim Dalı
- Sayfa Sayısı: 96
Özet
Bu çalışmada, geniş bant aralıklı MgZnO ince filmlerinin farklı alaşım oranlarında üretimi ve karakterizasyonu çalışmaları gerçekleştirildi. MgZnO ince filmler oda sıcaklığında korning cam, safir ve silikon alttaşlar üzerine Argon gazı basıncı altında konfokal hedef püskürtmesine sahip eş püskürtme tekniği ile hazırlandı. MgZnO ince filmler büyütülürken ZnO'nun RF gücü sabit tutulup, MgO farklı RF güç değerlerinde (40W, 50W, 75W, 100W) kaplamalar gerçekleştirildi. Bunların yanı sıra, aynı şartlar altında ve farklı RF güç değerlerinde Si, korning cam ve safir alttaş üzerine MgO, Si ve korning cam alttaş üzerine ZnO ince filmleri kaplandı. X-ışını kırınımı ölçümleri MgZnO ince filmlerin hegzagonal wurtzite fazda büyüdüğünü göstermektedir. Üretilen ince filmlerin optiksel analizleri UV-Vis spektrometre ile belirlendi. Filmlerin yasak enerji aralıkları (Eg) soğurma spektrumundan elde edildi. Optik soğurma spektrumu verilerinden MgZnO filmlerin alaşım oranları belirlendi. Bant aralığının RF gücüne ve alaşım oranına göre parabolik bir değişim gösterdiği belirlendi. Filmlerin yüzey morfolojisi Atomik Kuvvet Mikroskobu ile belirlendi. Analizler sonucunda elde edilen verilerle RF gücünün MgZnO ince filmler üzerindeki etkisi tartışıldı.
Özet (Çeviri)
In this study, the production and characterization studies of wide band gap MgZnO thin films were carried out for different alloy ratios. MgZnO thin films onto corning glass, sapphire and silicon substrates were prepared by co-sputtering technique, which has a confocal target sputtering, under Ar gas pressure at room temperature. The deposition of MgZnO thin films was made at a constant RF power value of ZnO target and at a different RF power values of MgO target (40W, 50W, 75W and 100W). In addition, MgO thin films onto silicon, corning glass, sapphire substrates and ZnO thin films onto Silicon, corning glass substrates were deposited at different RF powers and at the same conditions. X-Ray diffraction measurements indicate that MgZnO thin films have hegzagonal wurtzite phase. Optical analysis of the produced thin films were determined by UV-Vis spectrometer. The energy gap (Eg) of thin films were calculated by absorption spectra. Mg contents in MgZnO thin films were obtained by optical spectral data. It was determined that energy band gap exhibited a parabolic change depending on RF powers and alloy ratios. The surface morphology of all films was investigated by Atomic Force Microscopy. Depending on analysis results, the effect of RF power on MgZnO thin films was discussed.
Benzer Tezler
- ZnO tabanlı katmanlı ince filmlerin hazırlanması ve karakterizasyonu
Preparation and characterization of ZnO-based layered thin films
SEVCAN ERCAN
Yüksek Lisans
Türkçe
2023
Fizik ve Fizik MühendisliğiBurdur Mehmet Akif Ersoy ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. EBRU GÜNGÖR
- Rf-sputtering of doped zinc oxides thin films, the effect of low substrate heating deposition
Rf- püskürtmeli katkılanmış çinko oksit ince filmler, düşük alttaş ısıtmalı büyütme etkisi
AMIRA AHMED ABDELMONEAM MOHAMED AHMED
Yüksek Lisans
İngilizce
2017
Mühendislik Bilimleriİhsan Doğramacı Bilkent ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. AYKUTLU DANA
YRD. DOÇ. NECMİ BIYIKLI
- Magnetron püskürtme sistemi ile kaplanan bor karbür ince filmlerinin yapısal özelliklerinin incelenmesi
Investigation of structral properties of boron carbide thin films deposited with magnetron sputtering system
DAMLA KÜBRA YAZAN
Yüksek Lisans
Türkçe
2023
Fizik ve Fizik MühendisliğiGazi ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. SAİME ŞEBNEM AYDIN
- Metal katkılı TiO2 ince filmlerin geliştirilmesi ve sensör uygulamaları
Development of metal doped TiO2 thin films and sensor applications
BUSE CÖMERT SERTEL
Doktora
Türkçe
2020
Fizik ve Fizik MühendisliğiGazi Üniversitesiİleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı
PROF. DR. SÜLEYMAN ÖZÇELİK
- ZnO tabanlı UV dedektör geliştirilmesi ve prototip üretimi
Development and production of ZnO-based UV detector prototype
NİHAN AKIN
Doktora
Türkçe
2015
Fizik ve Fizik MühendisliğiGazi ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MEHMET ÇAKMAK