Geri Dön

Eş püskürtme tekniği ile büyütülen mgzno ince filmlerin yapısal ve optiksel karakterizasyonu

The structural and optical characterization of mgzno thin films by magnetron co-sputtering

  1. Tez No: 441858
  2. Yazar: NESLİHAN BOZKURT
  3. Danışmanlar: YRD. DOÇ. DR. AKİF ÖZBAY
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2016
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Gazi Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Fizik Bilim Dalı
  13. Sayfa Sayısı: 96

Özet

Bu çalışmada, geniş bant aralıklı MgZnO ince filmlerinin farklı alaşım oranlarında üretimi ve karakterizasyonu çalışmaları gerçekleştirildi. MgZnO ince filmler oda sıcaklığında korning cam, safir ve silikon alttaşlar üzerine Argon gazı basıncı altında konfokal hedef püskürtmesine sahip eş püskürtme tekniği ile hazırlandı. MgZnO ince filmler büyütülürken ZnO'nun RF gücü sabit tutulup, MgO farklı RF güç değerlerinde (40W, 50W, 75W, 100W) kaplamalar gerçekleştirildi. Bunların yanı sıra, aynı şartlar altında ve farklı RF güç değerlerinde Si, korning cam ve safir alttaş üzerine MgO, Si ve korning cam alttaş üzerine ZnO ince filmleri kaplandı. X-ışını kırınımı ölçümleri MgZnO ince filmlerin hegzagonal wurtzite fazda büyüdüğünü göstermektedir. Üretilen ince filmlerin optiksel analizleri UV-Vis spektrometre ile belirlendi. Filmlerin yasak enerji aralıkları (Eg) soğurma spektrumundan elde edildi. Optik soğurma spektrumu verilerinden MgZnO filmlerin alaşım oranları belirlendi. Bant aralığının RF gücüne ve alaşım oranına göre parabolik bir değişim gösterdiği belirlendi. Filmlerin yüzey morfolojisi Atomik Kuvvet Mikroskobu ile belirlendi. Analizler sonucunda elde edilen verilerle RF gücünün MgZnO ince filmler üzerindeki etkisi tartışıldı.

Özet (Çeviri)

In this study, the production and characterization studies of wide band gap MgZnO thin films were carried out for different alloy ratios. MgZnO thin films onto corning glass, sapphire and silicon substrates were prepared by co-sputtering technique, which has a confocal target sputtering, under Ar gas pressure at room temperature. The deposition of MgZnO thin films was made at a constant RF power value of ZnO target and at a different RF power values of MgO target (40W, 50W, 75W and 100W). In addition, MgO thin films onto silicon, corning glass, sapphire substrates and ZnO thin films onto Silicon, corning glass substrates were deposited at different RF powers and at the same conditions. X-Ray diffraction measurements indicate that MgZnO thin films have hegzagonal wurtzite phase. Optical analysis of the produced thin films were determined by UV-Vis spectrometer. The energy gap (Eg) of thin films were calculated by absorption spectra. Mg contents in MgZnO thin films were obtained by optical spectral data. It was determined that energy band gap exhibited a parabolic change depending on RF powers and alloy ratios. The surface morphology of all films was investigated by Atomic Force Microscopy. Depending on analysis results, the effect of RF power on MgZnO thin films was discussed.

Benzer Tezler

  1. ZnO tabanlı katmanlı ince filmlerin hazırlanması ve karakterizasyonu

    Preparation and characterization of ZnO-based layered thin films

    SEVCAN ERCAN

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2023

    Fizik ve Fizik MühendisliğiBurdur Mehmet Akif Ersoy Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. EBRU GÜNGÖR

  2. Rf-sputtering of doped zinc oxides thin films, the effect of low substrate heating deposition

    Rf- püskürtmeli katkılanmış çinko oksit ince filmler, düşük alttaş ısıtmalı büyütme etkisi

    AMIRA AHMED ABDELMONEAM MOHAMED AHMED

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2017

    Mühendislik Bilimleriİhsan Doğramacı Bilkent Üniversitesi

    Malzeme Bilimi ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. AYKUTLU DANA

    YRD. DOÇ. NECMİ BIYIKLI

  3. Magnetron püskürtme sistemi ile kaplanan bor karbür ince filmlerinin yapısal özelliklerinin incelenmesi

    Investigation of structral properties of boron carbide thin films deposited with magnetron sputtering system

    DAMLA KÜBRA YAZAN

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2023

    Fizik ve Fizik MühendisliğiGazi Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. SAİME ŞEBNEM AYDIN

  4. Metal katkılı TiO2 ince filmlerin geliştirilmesi ve sensör uygulamaları

    Development of metal doped TiO2 thin films and sensor applications

    BUSE CÖMERT SERTEL

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2020

    Fizik ve Fizik MühendisliğiGazi Üniversitesi

    İleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. SÜLEYMAN ÖZÇELİK

  5. ZnO tabanlı UV dedektör geliştirilmesi ve prototip üretimi

    Development and production of ZnO-based UV detector prototype

    NİHAN AKIN

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2015

    Fizik ve Fizik MühendisliğiGazi Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. MEHMET ÇAKMAK