Investigation of screen-printed and evaporated metal contacts on boron implanted emitter
Bor yerleştirilmiş silisyum üzerindeki serigrafik ve buharlaşmış metal kontakların incelenmesi
- Tez No: 694728
- Danışmanlar: PROF. DR. RAŞİT TURAN, DOÇ. SERDAR KOCAMAN
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2021
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Orta Doğu Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Mikro ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 83
Özet
Due to advantages in device manufacturing and the low cost of ownership, crystalline silicon (c-Si) solar cells fabricated on p-type wafers continue to dominate the photovoltaic (PV) market. Studies on n-type Czochralski (CZ) substrates have shown that they are more desirable for terrestrial applications than p-type substrates due to superior material and performance advantages such as higher minority carrier lifetime and easier surface passivation, absence of light-induced degradation (LID), and low sensitivity to metallic impurities. With these advantages, n-type CZ-based c-Si solar cells hold great potential in the future PV industry. However, various difficulties in device processing and higher wafer cost are still the major obstacles in penetrating the n-type solar cells into the commercial market. In dealing with these difficulties, new processes like ion implantation are being considered to replace the existing ones to simplify the process conditions and lower the cost. This thesis aims to optimize the activation temperature and duration of the boron implanted silicon with metal contacts fabricated by screen printing and e-beam evaporation. In order to understand the uniformity of the ion implantation, sheet resistance measurements were carried out. Al2O3/SiNx stack was used for passivation and ARC. Also, deeper boron concentration leads to lower contact resistivity is tested with e-beam evaporated and screen-printed metal contacts with contact resistivity values measured using Transmission Line Measurement (TLM). We have shown that successful metal contact to ion-implanted Si can be formed using both techniques. This thesis presents excessive process information and results for the screen-printed and e-beam evaporated samples onto the boron implanted silicon.
Özet (Çeviri)
Cihaz üretimindeki avantajlar ve düşük maliyet nedeni ile p-tipi dilimler üzerinde üretilen kristal silikon (c-Si) güneş hücreleri, fotovoltaik (PV) pazarına hakim olmaya devam ediyor. Öte yandan, n-tipi Czochralski (CZ) alttaşlar üzerinde yapılan çalışmalar, daha yüksek azınlık taşıyıcı ömrü, daha kolay yüzey pasivasyonu, ışık kaynaklı bozulmanın olmaması ve metalik safsızlıklara kara düşük hassasiyet gibi üstün malzeme ve proses avantajlarından dolayı karasal uygulamalar için p-tipi alttaşlara göre avantajlı olduklarını göstermiştir. Bu avantajlarla, n-tipi CZ tabanlı c-Si güneş hücreleri, geleceğin PV endüstrisinde büyük bir potansiyele sahiptir. Öte yandan, n-tipi hücre üretiminde bir çok zorluklar ve yükske maliyet söz konusudur. Bu zorlukları aşmak üzere alternatif prosesleri içeren çalışmalar yürütülmektedir. İyon ekme (Ion Implantation) katkılama işlemi içinkullanılan ve olldukça umut veren alternatif proseslerden bir tanesidir. Bu tezin amacı, elek baskı ve e-demeti buharlaştırma yöntemi ile oluşturulmuş metal kontaklarla boron ekilmiş silisyum katkılama aktivasyon sıcaklığını ve süresini optimize etmektir. İyon ekimin homojenliğini anlamak için tabaka direnci ölçümleri yapılmıştır. Al2O3/SiNx katmanlı yapısı sırasıyla pasivasyon ve yansıma önleyici kaplama yöntemleri için kullanılmıştır. Ayrıca, daha derin bor konsantrasyonunun daha düşük temas direncine yol açtığı gerçeği, İletim Hattı Ölçümü (TLM) kullanılarak e-demeti ve elek baskı yöntemi ile üretilmiş metal kontaklarla kontak direnci değerleri ile test edilmiştir. Bu tez, boron ekilmiş Si üzerine metal kontak oluşturma konusunda ayrıntılı deneysel çalışmaların sonuçlarını sunmaktadır.
Benzer Tezler
- Yoğuşturuculu kurutucularda kurutma performansının deneysel olarak incelenmesi
An experimental investigation of drying performance of condenser type tumble dryers
ULAŞ AYTAÇ KILIÇARPA
Yüksek Lisans
Türkçe
2016
Makine Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. SEYHAN UYGUR ONBAŞIOĞLU
- Elektrokimyasal empedans spektroskopisi kullanarak biyosensör geliştirilmesinin incelenmesi
Investigation of biosensor development by using electrochemical impedance spectroscopy
YÜCEL KOÇ
Yüksek Lisans
Türkçe
2021
Kimya MühendisliğiEskişehir Osmangazi ÜniversitesiKimya Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. HÜSEYİN AVCI
- Understanding and developing fire-through dielectric contacts on highly efficient silicon solar cells
Başlık çevirisi yok
VEYSEL ÜNSÜR
Doktora
İngilizce
2018
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiThe University of North Caroline, CharlotteDr. ABASIFREKE U. EBONG
- Cam uygulamalarında serigrafi baskı tekniğiyle metal tozlarının kullanım olanaklarının araştırılması
Investigation of the use possibilities of metal powders with screen printing technique in glass applications
GÜLHAN KARABULUT
- Otizm spektrum bozukluğu olan çocuklarda basılı ve elektronik ortam metinlerinin okuduğunu anlama becerilerine etkileri
Effects of printed and electronic texts on reading comprehension skills in children with autism
MEHMET OĞUZ GÜNŞEN
Yüksek Lisans
Türkçe
2016
Eğitim ve ÖğretimTrakya ÜniversitesiEngelli Çalışmaları Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. SELMİN ÇUHADAR