Design and development of 1-D CMUT array with diamond membrane
Elmas membranlı 1-B CMUT dizilerinin tasarımı ve geliştirilmesi
- Tez No: 715641
- Danışmanlar: PROF. DR. BARIŞ BAYRAM
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Kapasitif Mikroüretilmiş Ultrasonik Çevirgeç (CMUT) dizileri, Ultrason, Mikroüretim, Elmas, Çapraz etki, Transduser, Ultrasonik dönüştürücü, Çapraz etkinlik, Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer (CMUT) Arrays, Ultrasound, Microfabrication, Diamond, Crosstalk, Transducer, Ultrasonic transducers, Cross efficiency
- Yıl: 2022
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Orta Doğu Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Bu tez çalışmasında elmas membranlı 1-B kapasitif mikroüretilmiş ultrasonik çevirgeç (CMUT) dizisinin mikroüretimi için yeni bir mikroüretim yöntemi sunulmaktadır. Elmas membranlı CMUT dizisi için geliştirilen bu mikroüretim süreci, polisikonun XeF2 plazması içerisinde feda aşındırmasına dayandırılmıştır. XeF2, silikon ve türevlerini silikon dioksit ve elmas üzerinde çok yüksek bir seçicilikle aşındıran plazma formunda gaz halinde bir kimyasal olduğundan, ıslak aşındırma işlemlerinde kılcal kuvvet nedeniyle oluşan membranların yapışma sorunu önlenmiştir. Geliştirilen mikroüretim süreci, mikroüretim sürecinin bilgisayar ortamında gerçekleştirilmesi ve elmas membranlı 64 elemanlı 1-B CMUT dizisinin dizaynı anlatılmış ve gösterilmiştir. Bu tez çalışmasında, geliştirilen mikrofabrikasyona ek olarak, elektriksel çapraz etkinin ve parazitik kapasitenin azaltılmasına yönelik, Faraday kafeslenmiş CMUT dizisi olarak adlandırılmış bir CMUT dizi yapısı ve verici ve alıcı operasyonu önerilmiştir. 2 elemanlı 1-B olağan CMUT dizisinin ve 2-elemanlı 1-B Faraday kafeslenmiş CMUT dizisinin sonlu eleman methodu modellemesi gerçekleştirilmiştir. Modellenen CMUT dizilerinin elektriksel özellikleri ve elektriksel çapraz etki bilgisayar ortamında incelenmiş ve karşılaştırılmıştır.
Özet (Çeviri)
This thesis presents a new microfabrication method of 1-D capacitive micromachined ultrasonic transducer (CMUT) array featuring diamond membrane. This microfabrication method for diamond membrane CMUT array is based on the sacrificial etching of polysilicon in XeF2 plasma. The stiction problem of membranes due to capillary force in wet etching processes is avoided since the XeF2 is a gaseous chemical in plasma form that etches silicon and its derivatives with very high selectivity over silicon dioxide and diamond. The developed microfabrication process flow, the realization of the microfabrication process flow in the computer environment, and the design of the 64-element 1-D diamond membrane CMUT array are explained and demonstrated. In this thesis, in addition to the proposed microfabrication, a CMUT array structure named Faraday caged CMUT and a transmit and receive operation are proposed for electrical crosstalk and parasitic capacitance reduction. The finite element method (FEM) modeling of the regular 2-element 1-D CMUT array and the 2-element 1-D Faraday caged CMUT array are performed. The electrical properties and the electrical crosstalk of these CMUT arrays are examined and compared through computational analysis.
Benzer Tezler
- Soğuk hava jetinin sayısal olarak modellenmesi
Başlık çevirisi yok
UĞUR SERTAN
Yüksek Lisans
Türkçe
1998
Makine Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. SEYHAN UYGUR ONBAŞIOĞLU
- Design, synthesis and characterization of 2,1,3-benzothiadiazole comprising polymers: the effect of bridging units on the optoelectronic properties and opv device construction
2,1,3-benzotiadiazol ̇içeren polimerlerin tasarımı,sentezi ve karakterizasyonu: köprüleme ünitelerinin optoelektronik özellikleri ve opv cihaz yapısına etkisi
CANSU ZEYTUN KARAMAN
Yüksek Lisans
İngilizce
2021
KimyaOrta Doğu Teknik ÜniversitesiKimya Ana Bilim Dalı
PROF. DR. LEVENT KAMİL TOPPARE
DOÇ. DR. SALİH ÖZÇUBUKÇU
- Measurement and simulation of regression rate development of a design code for hybrid rocket motors
Hibrid roket motorları için gerileme hızı ölçülmesi ve benzetimi ve bir tasarım kodunun geliştirilmesi
NADİR SERİN
Doktora
İngilizce
2001
Havacılık ve Uzay MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiHavacılık Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. A. YALÇIN GÖĞÜŞ
- İn vitro diyagnostik sistemlerde kullanılmak üzere yeni nesil elektrotların tasarımı ve geliştirilmesi
Design and development of new generation electrodes for use in in vitro diagnostic systems
SOHEIL MALEKGHASEMI
Doktora
Türkçe
2021
BiyomühendislikHacettepe ÜniversitesiBiyomühendislik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. SERDAR ABACI
PROF. DR. NAGİHAN UĞURLU