TiO2 İnce Filmlerin Yapısal, Elektriksel ve Triboelektrik Özelliklerinin İncelenmesi
Investigation of Structural, Electrical and Triboelectric Properties of TiO2 Thin Films
- Tez No: 748438
- Danışmanlar: DOÇ. DR. ERCÜMENT YÜZÜAK
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Enerji, Mühendislik Bilimleri, Energy, Engineering Sciences
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2022
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Recep Tayyip Erdoğan Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Enerji Sistemleri Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 126
Özet
Mikro veya nanosistemlerin büyümesi ve onları otonom hale getirme ihtiyacı gün geçtikçe artmaktadır. Bu artışla oluşan enerji ihtiyacını karşılamak için birçok çalışma yapılmaktadır. Özellikle elektrostatik mekanik enerji toplayıcılar (E-MET), nesnelerin internet (IOT) ve giyilebilir cihazlar için umut verici çözüm olarak kabul edilmektedir. Elektrostatik mekanik enerji toplayıcılar (E-MET) ailesine ait triboelektrik nanojeneratör (TENJ) olarak adlandırılan triboelektrik tabanlı elektret jeneratörü, uygulama alanı olarak orijinal enerji toplama cihazının çok ötesinde olup, kendi kendine çalışan nanosistemler, kendi kendine çalışan elektrokimya, insan-makine etkileşimi gibi çeşitli alanlara yayılmıştır. TENJ'lerin temel çalışma mekanizması, mekanik enerjinin elektrik enerjisine dönüştürülmesi sırasında temaslı elektrifikasyon ve elektrostatik indüksiyonun birleştirilmesini içermektedir. TENJ'ler düşük maliyet, çeşitli yapı, istikrarlı çıktı ve yüksek enerji dönüşüm verimliliği avantajlarına ek olarak, çevre dostu, geniş uygulama aralığı özellikleriyle de karakterize edilebilmektedir. Bu tez çalışmasında manyetik alan sıçratma yöntemiyle Si-alttaş üzerine TiO2 ince filmler; sıçratma gücü (50W, 75W ve 100W), sıçratma basıncı (5mTorr, 8mTorr, 10mTorr, 12mTorr, 15mTorr), kısmi O2 basıncı (%5, %10, %15) ve kalınlık (5nm, 10nm, 25nm, 50nm, 75nm ve 100nm) parametreleri kullanılarak büyütülmüştür. En iyi triboelektrik malzeme performansını, 75W gücünde, 10mTorr basıncında, %10 O2 kısmi basıncı altında 900°C tavlanmış 100nm kalınlıktaki TiO2 ince film göstermiştir. Bu tez çalışması ile son zamanlarda TENJ'ler için aktif katmanlar ve çalışma mekanizmalarını aydınlatmak için cihaz konfigürasyonları olarak yeni materyaller geliştirmeye yoluyla TiO2 yarıiletken malzemeye odaklanılmıştır. Temas ayırma moduyla verimli bir şekilde toplanması için TENJ'ler için pozitif tip bir sürtünme katmanı olarak bir polietilen tereftalat/indiyum kalay oksit (PET/ITO) filmi kullanmıştır. Farklı üretim parametreleri ile elde edilen TiO2 tabanlı temas ayırmalı kipte çalışan TENJ' den, mükemmel mekanik stabiliteye ve en yüksek tepe güç yoğunluğuna (27μW.m–2) sahip 55 V'luk bir çıkış voltajı elde edilmiştir.
Özet (Çeviri)
The growth of micro or nanosystems and the need to make them autonomous are increasing day by day. Many studies are being carried out to solve the energy needs resulting from this increase. It is considered a promising solution, especially for electrostatic mechanical energy harvesters (E-MET), the internet of things (IoT), and wearable devices. The triboelectric based electret generator (TENJ), which belongs to the electrostatic mechanical energy harvesters (E-MET) family, is far beyond the original energy harvesting device in terms of application, and it has various fields such as self-powered nanosystems, self-operated electrochemistry, and human-machine interaction. The basic working mechanism of TENJs involves combining contact electrification and electrostatic induction while converting mechanical energy into electrical energy. In addition to the advantages of low cost, diverse construction, stable output, and high energy conversion efficiency, TENJs can also be characterized by environmental friendliness and a wide application range. This thesis is including that, TiO2 growth on Si-substrate by the magnetron sputtering method was investigated with varying sputtering power (50W, 75W, and 100W), sputtering pressure (5mTorr, 8mTorr, 10mTorr, 12mTorr, 15mTorr), partial pressure of O2 (%5, %10, %15) and thickness (5nm, 10nm, 25nm, 50nm, 75nm, and 100nm) parameters. The best triboelectric material performance was demonstrated by a 100nm thick TiO2 thin film annealed at 900°C under a partial pressure of %10 O2 at 75W power and 10mTorr pressure. This thesis has recently focused on the TiO2 semiconductor material by developing new materials for TENJs as active layers and device configurations to elucidate their working mechanisms. It used a polyethylene terephthalate/indium tin oxide (PET/ITO) film as a positive-type friction layer for the TENJs for efficient collection by the contact separation mode. The TENJ operating in the TiO2-based contact separation mode, obtained with different production parameters, has an output voltage of 55 V with excellent mechanical stability and the highest peak power density (27μW.m–2).
Benzer Tezler
- Bakır oksit/titanyum dioksit heteroeklem yapıların elektriksel ve optiksel özelliklerinin incelenmesi
The investigation of electrical and optical properties of copper oxide/titanium dioxide heterojunction devices
NURCAN YILDIRIM
Doktora
Türkçe
2009
Fizik ve Fizik MühendisliğiAnkara ÜniversitesiFizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. TÜLAY SERİN
- Metal oksit ince filmlerin saçtırma tekniği ile üretimi karakterizasyonu ve gaz sensörü uygulamalarının araştırılması
Production and characterization of metal oxide thin films by sputtering technique and investigation of gas sensor applications
FATİH ŞENASLAN
Doktora
Türkçe
2022
Makine MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. AYHAN ÇELİK
- Fe katkılı tio2 ince filmlerin eldesi
Fabrication and optical properties of fe-doped tio2 thin films
FATİH KARA
Yüksek Lisans
Türkçe
2020
Fizik ve Fizik MühendisliğiKırklareli ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DR. ÖĞR. ÜYESİ BURHAN COŞKUN
DOÇ. MUSTAFA KURBAN
- ALD yöntemi kullanılarak üretilmiş ZnO,TiO2 ve HfO2 ince film kaplamaların karakterizasyonu ve diyot özelliklerinin incelenmesi
Characterizations and diode properties of ZnO, TiO2 and HfO2 thin films produced by ALD
YAĞMUR ALTAN
Yüksek Lisans
Türkçe
2019
Metalurji MühendisliğiGazi ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HAKAN ATEŞ
- TiN ve TiO2 ince filmlerinin hazırlanması ve optik özelliklerinin incelenmesi
Preparation of tin and TiO2 thin films and investigation of their optical properties
AYŞE BEGÜM ARIĞ
Yüksek Lisans
Türkçe
2010
Fizik ve Fizik MühendisliğiHacettepe ÜniversitesiFizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HÜSEYİN ZAFER DURUSOY