Determination of optical constants of silicon based amorphous films by UV- visible transmittance and reflectance measurement
Mor ötesi görünür bölge optik geçirme/yansıma ölçümleri ile silisyum tabanlı amorf filmlerin optik sabitlerinin belirlenmesi
- Tez No: 75931
- Danışmanlar: PROF. DR. BAYRAM KATIRCIOĞLU
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Geçirme, Yansıma, Kırılma Endisi, Soğrulma Katsayısı, Kalınlık Düzensizlikleri, Kırılma Endisi Düzensizlikleri iv, Transmittance, Reflectance, Refractive Index, Absorption Coefficient, Thickness Irregularities, Refractive Index Irregularities iii
- Yıl: 1998
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Orta Doğu Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 131
Özet
oz MOR OTESI-GORUNUR BÖLGE OPTİK GEÇİRME/YANSIMA ÖLÇÜMLERİ İLE SİLİSYUM TABANLI AMORF FİLMLERİN OPTİK SABİTLERİNİN BELİRLENMESİ Akaoğlu, Barış Yüksek Lisans, Fizik Bölümü Tez Yöneticisi: Prof. Dr. Bayram Katırcıoğlu Ağustos 1997, 121 sayfa. Hem hidrojenlenmiş amorf silisyum (a-Si:H) hem de silisyum nitrür (a-SiA^rH) ince filmler kimyasal buhar biriktirme tekniği ile (PECVD) çeşitli tabanlar üzerine biriktirilmişlerdir. Bu filmlerin kırılma endisi, soğrulma katsayısı gibi optik sabit leri ile kalınlıkları, görünür bölge-mor ötesi spektrometre yardımıyla yansıma/geçirme spektrumları ölçülerek belirlenmiştir. Söz konusu filmlerin dikey ve yatay boyut ve kırılma endisi düzensizliklerini kavramak ve tartışmak için yansıma/geçirme ve soğurma katsayılarının ifadeleri Maxwell ve Shrödinger denklemlerinden yola çıkarak yeniden türetilip irdelenmişlerdir. Eldeki görünür bölge-mor ötesi çift demetli spektrometre bilgisayarlaştırılmıştır; arkasından da aygıtı işleten ve yukarıda sözü edilen kırılma endisi, soğurma katsayısı, kalınlık ve kalınlık düzensizlikleri gibi bazı parametreleri bilgisayar yardımıyla hesaplatan yazılım paketleri geliştirilmiştir.
Özet (Çeviri)
ABSTRACT DETERMINATION OF OPTICAL CONSTANTS OF SILICON BASED AMORPHOUS FILMS BY UV- VISIBLE TRANSMITTANCE AND REFLECTANCE MEASUREMENTS Akaoğlu, Barış M.S., Department of Physics p ^ Supervisor: Prof. Dr. Bayram Katırcıoğlu August 1998, 121 pages. :>. t i -. r. --"? Both hydrogenated amorphous silicon (a-Si:H) and silicon nitride (a-SüV^rl) thin jp ^ films have been deposited by using the same plasma enhanced chemical vapor deposition (PEVCD) system. The optical constants refractive index, absorption coefficient of these thin absorbing films have been determined within the UV- Visible region by measuring both reflectance (R) and transmittance (T) spectra. In order to be able to seize and discuss vertical and lateral dimensions and index irregularities of the films, the expressions of R, T and the absorption coefficient have been derived and analysed starting from the famous Maxwell and Shrödinger equations. The UV- Visible double beam spectrometer at hand has been fully computurized and the relevant softwares have been developed for both running operations and special calculations for reaching the mentioned optical constants such as spectral dependence of refractive index and absorption coefficient, film thickness and its lateral irregularities.
Benzer Tezler
- Optical properties of silicon based amorphous thin films
Silisyum tabanlı amorf ince filmlerin optik özellikleri
BARIŞ AKAOĞLU
Doktora
İngilizce
2004
Fizik ve Fizik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. BAYRAM KATIRCIOĞLU
- Balistik malzeme üretimine yönelik B4C+SiC takviyeli Al 7075 kompozitlerde optimum katkı oranının belirlenmesi
Determination of optimum additive ratio in the B4C+SiC reinforced Al 7075 composites for ballistic material production
VOLKAN BAYDAROĞLU
Yüksek Lisans
Türkçe
2018
Savunma ve Savunma TeknolojileriKırıkkale ÜniversitesiSavunma Teknolojileri Ana Bilim Dalı
DR. ÖĞR. ÜYESİ MUHARREM PUL
- Silika esaslı üstün yalıtım performansına sahip malzemelerin geliştirilmesi ve karakterizasyonu
Development and characterization of silica based super insulation materials
CEREN ÖNEY KIROĞLU
Yüksek Lisans
Türkçe
2014
Kimya Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiKimya Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. FATOŞ YÜKSEL GÜVENİLİR
- Düşük bir hızlarında konuşma kodlama ve uygulamaları
Low bit rate speech coding and applications
TARIK AŞKIN
Doktora
Türkçe
1999
Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiPROF.DR. GÜNSEL DURUSOY
- Polimerik membranlarda kimyasal ve makromoleküler yapının membranın oksijen ve iyonik geçirgenliğine etkileri
The Dependence of the anygen and ionic permeabilities of some polymeric membranes on their chemical and macromolecular structures
H. YILDIRIM ERBİL