Geri Dön

Film kaplama kalınlığının akort çatalı frekansına etkisi: Deneysel ölçüm ve dinamik hesaplamalar

Effect of film coating thickness on tuning fork frequency: Experimental measurement and dynamic calculations

  1. Tez No: 810082
  2. Yazar: MEBRURE ERDOĞAN
  3. Danışmanlar: PROF. DR. İSMAİL CENGİZ KOÇUM, PROF. DR. DİLEK ÇÖKELİLER SERDAROĞLU
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Mühendislik Bilimleri, Engineering Sciences
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2023
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Başkent Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Biyomedikal Mühendisliği Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Biyomedikal Mühendisliği Ana Bilim Dalı
  13. Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.

Özet

İnce film düzeyinde malzemelerin kuantumsal düzeydeki özellikleri ortaya çıkmakta ve ince film kalınlığına bağlı olarak malzemelerin yapısal, optik ve elektriksel özellikleri değişmektedir. Bu kapsamda ince film kaplama kalınlığı yeni ve benzersiz özelliklere sahip malzemelerin geliştirilmesinde önemli bir rol oynamaktadır. Bu tez çalışmasında kuvars akort çatalı (QTF) ile film kalınlığının ölçümünün yapılabilmesi için yeni bir yöntem önerilmiş ve bu konu ile ilgili patent başvurusu yapılmıştır (Patent başvuru no:2022/018799 ). Sebebi ise QTF' in en yaygın kullanılan film kalınlık ölçüm yöntemi olan kuvars kristal mikroterazi (QCM)' ye göre bile daha karalı bir tavır sergilemesi ve bu sayede diğer ince film kalınlık ölçüm yöntemlerinden daha hassas algılama ve ölçme işlemlerini yapabilmesidir. Bu tez çalışmasında büyük ölçekli akort çatalı (TF) ve küçük ölçekli kuvars akort çatalı (QTF) ile frekans kaymalarına matematiksel yaklaşımlar getirilmiş, kaplanan filmin elastisite modülünün frekansa katkıları detaylandırılmış, QTF ile yapılan kaplamalar sonucu film kalınlığı deneysel olarak ölçülmüş ve hesaplanmıştır. Ek olarak TF ve QTF yüzeylerinde aşındırma çalışmaları yapılarak aşındırmanın frekansa etkileri deneysel ve teorik olarak incelenmiş ve aşındırma durumunda QCM sensörlerinde meydana gelen frekans durumuyla karşılaştırılmıştır.

Özet (Çeviri)

Quantum-level properties of materials emerge at the thin-film level, and the structural, optical and electrical properties of materials change depending on the thin-film thickness. In this context, thin film coating thickness plays an important role in the development of materials with new and unique properties. In this thesis, a new method has been proposed to measure the film thickness with a quartz tuning fork (QTF) and a patent application has been made on this subject (Patent application no: 2022/018799 ). The reason is that QTF exhibits a more stable attitude even compared to quartz crystal microbalance (QCM), which is the most widely used film thickness measurement method, and thus, it can perform more sensitive detection and measurement processes than other thin film thickness measurement methods. In this thesis, mathematical approaches to frequency shifts were brought with large-scale tuning fork (TF) and small-scale quartz tuning fork (QTF), the contributions of the elasticity modulus of the coated film to the frequency were detailed, and the film thickness was experimentally measured and calculated as a result of coatings with QTF. In addition, etching studies were carried out on TF and QTF surfaces, and the effects of etching on frequency were investigated experimentally and theoretically and compared with the frequency situation occurring in QCM sensors in case of etching.

Benzer Tezler

  1. Mil kaplama kalınlığının otomotiv turboşarjının dinamik davranışlarına etkisi

    Influence of shaft coating thickness on dynamic behaviors of an automotive turbocharger

    MURAT OK

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2024

    Makine MühendisliğiDüzce Üniversitesi

    Makine Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. HAMİT SARUHAN

  2. Asfalt film kalınlığının bitümlü karışımların yaşlanmasına ve suya duyarlılığına etkisi

    The effect of asphalt film thickness aging and moisture susceptibility of hot mix asphalt

    BURAK ŞENGÖZ

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2003

    İnşaat Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    İnşaat Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. EMİNE AĞAR

  3. Ekstruzyon kaplama yöntemiyle eş-zamanlı çift taraflı film kaplama

    Simultaneous double-side coating of a film by extrusion coating method

    MUSTAFA DOĞU

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2015

    Makine Mühendisliğiİstanbul Üniversitesi

    Kimya Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. MEHMET ALİ GÜRKAYNAK

  4. Effect of cuox thin film thickness on the electiracal properties of CuOx/n-Si hetero junction structure

    CuOx ince film kalınlığının CuOx/n-Si hetero eklem yapısının elektriksel özellikleri üzerine etkisi

    AHMET DURMAZ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2023

    Fizik ve Fizik MühendisliğiBatman Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. ŞERİF RÜZGAR

  5. Polimer-polimer ve polimer-metal oksit kompozit sistemlerde film oluşum davranışlarının incelenmesi

    Investigation of film formation behaviors of polymer-polymer and polymer-metal oxide composite systems

    M. SELİN SUNAY

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2012

    Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. ÖNDER PEKCAN