Film kaplama kalınlığının akort çatalı frekansına etkisi: Deneysel ölçüm ve dinamik hesaplamalar
Effect of film coating thickness on tuning fork frequency: Experimental measurement and dynamic calculations
- Tez No: 810082
- Danışmanlar: PROF. DR. İSMAİL CENGİZ KOÇUM, PROF. DR. DİLEK ÇÖKELİLER SERDAROĞLU
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Mühendislik Bilimleri, Engineering Sciences
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2023
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Başkent Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Biyomedikal Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Biyomedikal Mühendisliği Anabilim Dalı
- Sayfa Sayısı: 119
Özet
İnce film düzeyinde malzemelerin kuantumsal düzeydeki özellikleri ortaya çıkmakta ve ince film kalınlığına bağlı olarak malzemelerin yapısal, optik ve elektriksel özellikleri değişmektedir. Bu kapsamda ince film kaplama kalınlığı yeni ve benzersiz özelliklere sahip malzemelerin geliştirilmesinde önemli bir rol oynamaktadır. Bu tez çalışmasında kuvars akort çatalı (QTF) ile film kalınlığının ölçümünün yapılabilmesi için yeni bir yöntem önerilmiş ve bu konu ile ilgili patent başvurusu yapılmıştır (Patent başvuru no:2022/018799 ). Sebebi ise QTF' in en yaygın kullanılan film kalınlık ölçüm yöntemi olan kuvars kristal mikroterazi (QCM)' ye göre bile daha karalı bir tavır sergilemesi ve bu sayede diğer ince film kalınlık ölçüm yöntemlerinden daha hassas algılama ve ölçme işlemlerini yapabilmesidir. Bu tez çalışmasında büyük ölçekli akort çatalı (TF) ve küçük ölçekli kuvars akort çatalı (QTF) ile frekans kaymalarına matematiksel yaklaşımlar getirilmiş, kaplanan filmin elastisite modülünün frekansa katkıları detaylandırılmış, QTF ile yapılan kaplamalar sonucu film kalınlığı deneysel olarak ölçülmüş ve hesaplanmıştır. Ek olarak TF ve QTF yüzeylerinde aşındırma çalışmaları yapılarak aşındırmanın frekansa etkileri deneysel ve teorik olarak incelenmiş ve aşındırma durumunda QCM sensörlerinde meydana gelen frekans durumuyla karşılaştırılmıştır.
Özet (Çeviri)
Quantum-level properties of materials emerge at the thin-film level, and the structural, optical and electrical properties of materials change depending on the thin-film thickness. In this context, thin film coating thickness plays an important role in the development of materials with new and unique properties. In this thesis, a new method has been proposed to measure the film thickness with a quartz tuning fork (QTF) and a patent application has been made on this subject (Patent application no: 2022/018799 ). The reason is that QTF exhibits a more stable attitude even compared to quartz crystal microbalance (QCM), which is the most widely used film thickness measurement method, and thus, it can perform more sensitive detection and measurement processes than other thin film thickness measurement methods. In this thesis, mathematical approaches to frequency shifts were brought with large-scale tuning fork (TF) and small-scale quartz tuning fork (QTF), the contributions of the elasticity modulus of the coated film to the frequency were detailed, and the film thickness was experimentally measured and calculated as a result of coatings with QTF. In addition, etching studies were carried out on TF and QTF surfaces, and the effects of etching on frequency were investigated experimentally and theoretically and compared with the frequency situation occurring in QCM sensors in case of etching.
Benzer Tezler
- Ekstruzyon kaplama yöntemiyle eş-zamanlı çift taraflı film kaplama
Simultaneous double-side coating of a film by extrusion coating method
MUSTAFA DOĞU
Doktora
Türkçe
2015
Kimya Mühendisliğiİstanbul ÜniversitesiKimya Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MEHMET ALİ GÜRKAYNAK
- Peo ve daldırma kaplama(dip coating) ile dubleks kaplanmış Cp-titanyumun korozyon davranışının incelenmesi
The investiagtion of corrosion behaviour of dublex coating on Cp-titanium by using combined plasma electrolytic oxidation and sol-gel dip coating methods
NESLİHAN BAŞTEPE
Yüksek Lisans
Türkçe
2022
Makine MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. YAŞAR TOTİK
- Hidroksiapatit kaplanmış ortodontik şekil hafızalı Ni-Ti alaşımlar ve biyouyumluluk
Hydroxyapatite coated orthodontic shape memory Ni-Ti alloys and biocompatibility
GÖKHAN KESİN
Yüksek Lisans
Türkçe
2022
Biyomühendislikİnönü ÜniversitesiBiyomedikal Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. OLCAY KIZILASLAN
- Application of silk fibroin in controlled-release of theophylline
İpek fibroinin teofilin kontrollü salınımında uygulanması
YARKIN ÖZGARİP
Yüksek Lisans
İngilizce
2004
Kimya Mühendisliğiİzmir Yüksek Teknoloji EnstitüsüKimya Mühendisliği Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. OĞUZ BAYRAKTAR
- Biyolojik uyumlu polimer matrix membran sistemlerden ilaç salımı
Drug release behaviour of biocompatible polymer matrix membrane systems
SEVİL UYANIK
Yüksek Lisans
Türkçe
2014
Polimer Bilim ve TeknolojisiGazi ÜniversitesiKimya Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. GÜLSEN ASMAN