Film kaplama kalınlığının akort çatalı frekansına etkisi: Deneysel ölçüm ve dinamik hesaplamalar
Effect of film coating thickness on tuning fork frequency: Experimental measurement and dynamic calculations
- Tez No: 810082
- Danışmanlar: PROF. DR. İSMAİL CENGİZ KOÇUM, PROF. DR. DİLEK ÇÖKELİLER SERDAROĞLU
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Mühendislik Bilimleri, Engineering Sciences
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2023
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Başkent Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Biyomedikal Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Biyomedikal Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
İnce film düzeyinde malzemelerin kuantumsal düzeydeki özellikleri ortaya çıkmakta ve ince film kalınlığına bağlı olarak malzemelerin yapısal, optik ve elektriksel özellikleri değişmektedir. Bu kapsamda ince film kaplama kalınlığı yeni ve benzersiz özelliklere sahip malzemelerin geliştirilmesinde önemli bir rol oynamaktadır. Bu tez çalışmasında kuvars akort çatalı (QTF) ile film kalınlığının ölçümünün yapılabilmesi için yeni bir yöntem önerilmiş ve bu konu ile ilgili patent başvurusu yapılmıştır (Patent başvuru no:2022/018799 ). Sebebi ise QTF' in en yaygın kullanılan film kalınlık ölçüm yöntemi olan kuvars kristal mikroterazi (QCM)' ye göre bile daha karalı bir tavır sergilemesi ve bu sayede diğer ince film kalınlık ölçüm yöntemlerinden daha hassas algılama ve ölçme işlemlerini yapabilmesidir. Bu tez çalışmasında büyük ölçekli akort çatalı (TF) ve küçük ölçekli kuvars akort çatalı (QTF) ile frekans kaymalarına matematiksel yaklaşımlar getirilmiş, kaplanan filmin elastisite modülünün frekansa katkıları detaylandırılmış, QTF ile yapılan kaplamalar sonucu film kalınlığı deneysel olarak ölçülmüş ve hesaplanmıştır. Ek olarak TF ve QTF yüzeylerinde aşındırma çalışmaları yapılarak aşındırmanın frekansa etkileri deneysel ve teorik olarak incelenmiş ve aşındırma durumunda QCM sensörlerinde meydana gelen frekans durumuyla karşılaştırılmıştır.
Özet (Çeviri)
Quantum-level properties of materials emerge at the thin-film level, and the structural, optical and electrical properties of materials change depending on the thin-film thickness. In this context, thin film coating thickness plays an important role in the development of materials with new and unique properties. In this thesis, a new method has been proposed to measure the film thickness with a quartz tuning fork (QTF) and a patent application has been made on this subject (Patent application no: 2022/018799 ). The reason is that QTF exhibits a more stable attitude even compared to quartz crystal microbalance (QCM), which is the most widely used film thickness measurement method, and thus, it can perform more sensitive detection and measurement processes than other thin film thickness measurement methods. In this thesis, mathematical approaches to frequency shifts were brought with large-scale tuning fork (TF) and small-scale quartz tuning fork (QTF), the contributions of the elasticity modulus of the coated film to the frequency were detailed, and the film thickness was experimentally measured and calculated as a result of coatings with QTF. In addition, etching studies were carried out on TF and QTF surfaces, and the effects of etching on frequency were investigated experimentally and theoretically and compared with the frequency situation occurring in QCM sensors in case of etching.
Benzer Tezler
- Mil kaplama kalınlığının otomotiv turboşarjının dinamik davranışlarına etkisi
Influence of shaft coating thickness on dynamic behaviors of an automotive turbocharger
MURAT OK
Doktora
Türkçe
2024
Makine MühendisliğiDüzce ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HAMİT SARUHAN
- Asfalt film kalınlığının bitümlü karışımların yaşlanmasına ve suya duyarlılığına etkisi
The effect of asphalt film thickness aging and moisture susceptibility of hot mix asphalt
BURAK ŞENGÖZ
Doktora
Türkçe
2003
İnşaat Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesiİnşaat Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. EMİNE AĞAR
- Ekstruzyon kaplama yöntemiyle eş-zamanlı çift taraflı film kaplama
Simultaneous double-side coating of a film by extrusion coating method
MUSTAFA DOĞU
Doktora
Türkçe
2015
Makine Mühendisliğiİstanbul ÜniversitesiKimya Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MEHMET ALİ GÜRKAYNAK
- Effect of cuox thin film thickness on the electiracal properties of CuOx/n-Si hetero junction structure
CuOx ince film kalınlığının CuOx/n-Si hetero eklem yapısının elektriksel özellikleri üzerine etkisi
AHMET DURMAZ
Yüksek Lisans
Türkçe
2023
Fizik ve Fizik MühendisliğiBatman ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. ŞERİF RÜZGAR
- Polimer-polimer ve polimer-metal oksit kompozit sistemlerde film oluşum davranışlarının incelenmesi
Investigation of film formation behaviors of polymer-polymer and polymer-metal oxide composite systems
M. SELİN SUNAY
Doktora
Türkçe
2012
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ÖNDER PEKCAN