RF magnetron saçtırma tekniği ile üretilen çinko oksit ve galyum katkılı çinko oksit ince filmlerin fiziksel özelliklerinin karşılaştırılması
Comparison of the physical properties of zinc oxide and gallium doped zinc oxide thin films sputtered by RF magnetron technique
- Tez No: 831490
- Danışmanlar: PROF. DR. KADİR ERTÜRK, DR. ÖĞR. ÜYESİ MAKBULE TERLEMEZOĞLU BİLMİŞ
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2023
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Tekirdağ Namık Kemal Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Genel Fizik Bilim Dalı
- Sayfa Sayısı: 48
Özet
Tez çalışmasında, radyo frekans (RF) magnetron saçtırma tekniği ile üretilen katkısız ve Ga katkılı çinko oksit (ZnO) ince filmlerin, yapısal, morfolojik, optik ve elektriksel özellikleri incelenmiştir. Yapısal incelemeler sonucunda katkısız ve Ga katkılı ZnO ince filmlerin XRD desenlerinin, hegzagonal wurtzite yapıda c-yönelime sahip olduğu gözlendi. Taramalı elektron mikroskobu (SEM) ile üretilen ince filmlerin yüzey görüntülerinin homojen, kompakt ve boşluksuz bir yapıya sahip olduğu gözlendi. Atomik kuvvet mikroskobu (AFM) ile üretilen numunelerin yüzey pürüzlülüğünün ortalama karekök değerleri (RMS) ölçülerek karşılaştırıldı. Ayrıca, optik analizler sonucunda, ince filmlerin yasak enerji aralığının Ga katkısı ile azaldığı belirlendi. Bunlara ek olarak, filmlerin elektriksel özellikleri de, dört nokta prob (four point probe) yöntemi ve sıcaklığa bağımlı iletkenlik ölçümleri karanlık ve farklı ışık yoğunlukları kullanılarak yapılmıştır.
Özet (Çeviri)
In this thesis, the structural, morphological, optical and electrical properties of undoped and Ga-doped zinc oxide (ZnO) thin films produced by radio frequency (RF) magnetron sputtering technique were investigated. As a result of structural investigations, XRD patterns of undoped and Ga-doped ZnO thin films were observed to have c-orientation in hexagonal wurtzite structure. The surface images of the thin films produced by scanning electron microscopy (SEM) were observed to have a homogeneous, compact and void-free structure. The root mean square values (RMS) of the surface roughness of the samples produced by atomic force microscopy (AFM) were measured and compared. Furthermore, optical analysis revealed that the forbidden energy range of the thin films decreases with Ga doping. In addition, the electrical properties of the films were also measured using the four point probe method and temperature dependent conductivity measurements using dark and different light intensities.
Benzer Tezler
- ZnTe/Si heteroeklem yapıların akım iletim mekanizmalarının incelenmesi
Investigation of the current transport mechanisms of ZnTe/Si heterojunction structures
MEHMET KALKAN
Yüksek Lisans
Türkçe
2019
Fizik ve Fizik MühendisliğiNiğde Ömer Halisdemir ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. FUNDA AKSOY AKGÜL
- Oksit yarıiletken tabanlı optik gaz sensörlerinin geliştirilmesi
Development of oxide semiconductor based optical gas sensors
ÖMER ÇOBAN
Doktora
Türkçe
2018
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. SEBAHATTİN TÜZEMEN
- Metal oksit ince filmlerin saçtırma tekniği ile üretimi karakterizasyonu ve gaz sensörü uygulamalarının araştırılması
Production and characterization of metal oxide thin films by sputtering technique and investigation of gas sensor applications
FATİH ŞENASLAN
Doktora
Türkçe
2022
Makine MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. AYHAN ÇELİK
- ZnO/Si heteroeklem diyotların yapısal, elektriksel ve optik özelliklerinin incelenmesi
Investigation of the structural, electrical and optical properties of ZnO/Si heterojunction diodes
SERHAT SARSICI
Yüksek Lisans
Türkçe
2018
Fizik ve Fizik MühendisliğiUludağ ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. SERTAN KEMAL AKAY
- Nikel sülfür tabanlı hibrit süperkapasitör aygıt geliştirilmesi
Development of hybrid nickel sulfide-based supercapacitor device
OZAN ÖZTÜRK
Doktora
Türkçe
2024
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiNanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. EMRE GÜR