Ellipsometric and UV-VIS transmittance analysis of amorphouse silicon carbide thin films
Amorf silisyum karbür ince filmlerin elipsometrik ve mor ötesi-görünür bölge optik geçirme analizi
- Tez No: 153680
- Danışmanlar: PROF. DR. BAYRAM KATIRCIOĞLU
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Amorf silisyum karbür, spektroskopi, Elipsometri, optik sabitler, düzensizlik, PECVD, Amorphous silicon carbide, spectroscopy, ellipsometry, optical constants, inhomogeneity. IV
- Yıl: 2004
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Orta Doğu Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 94
Özet
Öz AMORF SİLİSYUM KARBÜR İNCE FİLMLERİN ELİPSOMETRİK VE MOR ÖTESİ - GÖRÜNÜR BÖLGE OPTİK GEÇİRME ANALİZİ Gülses, Ali Alkan Yüksek Lisans, Fizik Bölümü Tez Yöneticisi: Prof. Dr. Bayram Katırcıoğlu Aralık 2004, 81 sayfa Elipsometrik ölçümlerin kuvvetli ve zayıf taraflarına dikkat çekmek için elipsometrinin temelleri gözden geçirildi. Yüzey koşullarının (temizlik derecesi, ince kir tabakası, pürüzlülük vb.) elipsometrik değişkenler üzerindeki etkileri deneysel olarak çalışıldı. Optimum prosedürler belirlendi. Hidroj enlenmiş amorf silisyum karbür (a-Siı.xCx:H) ince filmler, carbon içeriği ve RF gücü değişken alınarak, dairesel elektrodlu plazma destekli kimyasal buhar biriktirme (PECVD) tekniği ile üretilmiştir. Bu örnekler çok açılı elipsometre ve mor ötesi - görünür bölge dalgaboylu spektrometre kullanılarak incelendi. Ölçümlere göre, reaktör elektrodunun merkezinden kenara doğru, farklı güç ve karbon içerikli filmlerin, kalınlıklar, kırıcılık indisleri ve enerji aralıkları gibi optik sabitlerde düzensizlik gösterdiği saptandı.
Özet (Çeviri)
ABSTRACT ELLIPSOMETRIC AND UV-VIS TRANSMITTANCE ANALYSIS OF AMORPHOUS SILICON CARBIDE THIN FILMS Guises, Ali Alkan M.S., Department of Physics Supervisor: Prof. Dr. Bayram Katırcıoğlu December 2004, 81 pages The fundamentals of the ellipsometry are reviewed in order to point out the strengths and weaknesses of the ellipsometric measurements. The effects of the surface conditions (such as degree of cleanliness, contaminated thin layer, roughness etc..) on the ellipsometric variables are experimentally studied; the optimum procedures have been determined. Hydrogenated amorphous silicon carbide (a-Sii_xCx:H) thin films are produced by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) technique with a circular reactor, in a way that RF power and carbon contents are taken as variables. These samples are analyzed using multiple angle of incidence ellipsometer and uv-vis spectrometer. These measurements have inhomogeneities in optical constants, such as thicknesses, refractive indices and optical energy gaps along the radial direction of the reactor electrode for different power and carbon contents.
Benzer Tezler
- Bı̇nalarda enerjı̇ tasarrufu sağlayan nı̇obyum katkılı vanadyum dı̇oksı̇t esaslı termokromı̇k ı̇nce fı̇lmlerı̇n gelı̇ştı̇rı̇lmesı̇ ve karakterı̇zasyonu
Development and characterization of niobium-doped vanadium dioxide based thermochromic thin films for energy saving in buildings
EREN DOĞAN
Yüksek Lisans
Türkçe
2018
EnerjiYıldız Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. ALİ ERÇİN ERSUNDU
- Opto-elektronik uygulamalarda kullanılabilecekm katkısız ve Al katkılı ZnO filmlerinin üretilmesi
Production of undoped and Al doped ZnO films for opto-electronic applications
GÖKSU ÖFÖFOĞLU
Yüksek Lisans
Türkçe
2014
Fizik ve Fizik MühendisliğiEskişehir Osmangazi ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. SEMA KURTARAN
- Nanopartikül üretimi ve nanotıp uygulamaları
Production of nanoparticles and their application in nanomedicine
FİLİZ SAYAR
Doktora
Türkçe
2010
BiyomühendislikHacettepe ÜniversitesiBiyomühendislik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ERHAN BİŞKİN
- Design and engineering of slippery liquid-infused porous surfaces by LbL technique for icephobic surfaces and hydrodynamic cavitation
Buzfobik yüzeyler ve hidrodinamik kavitasyon için LbL tekniği ile kaygan sıvı doldurulmuş gözenekli yüzeylerin tasarımı ve mühendisliği
ARAZ SHEIBANI AGHDAM
Doktora
İngilizce
2020
Mühendislik BilimleriSabancı ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. FEVZİ ÇAKMAK CEBECİ
- Cds ince filminin doğrusal, doğrusal olmayan optik ve optik sınırlama davranışları
Linear, nonlinear optical and optical limiting features of Cds thin film
AHMET CİHAT KAHRAMAN
Yüksek Lisans
Türkçe
2024
Fizik ve Fizik MühendisliğiAnkara ÜniversitesiFizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. AYHAN ELMALI