Geri Dön

Fabication and characterization of microelectromechanical resonators

Mikrometre boyutlarda üretilmiş mekanik çınlaçların üretim ve karaterizasyonu

PDF İndir

  1. Tez No: 180664
  2. Yazar: SEVİL SÖZER
  3. Danışmanlar: DOÇ. DR. RECAİ ELLİALTIOĞLU, DR. TARIK REYHAN
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Çnlaçlar, Dirsek, Köprü, Kalite Faktörü, Lazer Kiri³ Sap-mas, Fiber optik Giri³imölçeri.iv, Resonators, Cantilever, Bridge, Quality Factor, Laser Beam Deec-tion, Fiber Optic Interferometer.iii
  7. Yıl: 2006
  8. Dil: İngilizce
  9. Üniversite: İhsan Doğramacı Bilkent Üniversitesi
  10. Enstitü: Mühendislik ve Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 64

Özet

Mikrometre boyutlarda üretilmi³ mekanik çnlaçlar günümüzde bilim ve teknolo-jideki önemli uygulamalarndan dolay oldukça ilgi görmektedir. Bu çnlaçlarkuvvetteki, yükteki ya da basnçdaki de§i³imi ölçmek için elektometrelerde vemagnetometrelerde kullanlr. Ayrca mikro-çnlaçlar radyo-frekans süzgecinin birparças olarak da ileti³im alannda kullanlmaktadr.Bu çal³ma, mikron boyutlarda yaplm³ çnlaçlarn üretim ve karakteri-zasyonu amacyla yürütülmü³tür. Yaltkan altta³ üzerine yaplandrlm³ sil-isyum ve silisyum nitrat yapsndaki çnlaçlar, yüzeyde mikron boyutlardaüretilmi³tir. Çnlaçlarn üretimi Bilkent Üniversitesi leri Ara³trma Laboratu-varnda yaplm³tr. Çnlaçlarn karakterizasyonu ise iki de§i³ik yöntem kul-lanlarak yaplm³tr. Karakterizasyonda bulunan sonuçlar daha sonra kiri³ ku-ram (beam theory) ile bulunan sonuçlarla kar³la³trlm³tr.

Özet (Çeviri)

Micromachined mechanical resonators are of considerable interest because oftheir many important scientic and technological applications. They can be usedas a components of radio-frequency lters in communication systems, mechanicalelectrometer or magnetometer for sensitive detection of force, charge, pressure.This work is directed towards the fabrication and characterization of micro-electromechanical resonators, cantilevers and bridges. The SOI cantilever and thesilicon nitride cantilevers and bridges are fabricated by using surface microma-chining techniques. They are fabricated in the Advanced Research Laboratory ofBilkent University. The center frequencies are ranging from 20 kHz to 270 kHz.The characterization of cantilevers and bridges are done by using the beam deec-tion method and the ber optic interferometer method. The dynamic responseof the rst devices, such as the resonance frequencies and the quality factors willbe reported. In addition, simple beam theory and some fundamental loss mecha-nisms will be discussed. The experimental results will also be compared with thetheoretical ones.

Benzer Tezler

  1. Tez No

    409248

    Bioapplications of integrated MEMS catheter tracking system for MRI and split ring resonator based glucose sensor

    MRG için MEMS tümleşik kateter takip sistemi ve yarık halka çınlayıcı temelli glukoz sensörü biyouygulamaları

    EMRE KUŞAKCI

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2015

    Bilim ve TeknolojiBoğaziçi Üniversitesi

    Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. ARDA DENİZ YALÇINKAYA

  2. Tez No

    349740

    Theoretical and experimental investigation of silicon nanowire waveguide displacement sensors

    Eşzamanlı silikon nanokablo dalgakılavuzu yer-değişim algılayıcılarının kuramsal ve deneysel olarak incelenmesi

    MUHAMMET MUSTAFA KAYKISIZ

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2013

    Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Mekatronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. ERDAL BULĞAN

  3. Tez No

    313556

    Design and electromechanical modeling of vertically stacked silicon nanowire arrays as coupled resonators

    Üst üste yerleştirilmiş silisyum nanotel dizilerinin bağlaşımlı çınlaçlar olarak tasarımı ve elektromekanik modellemesi

    İSMAİL YORULMAZ

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2012

    Elektrik ve Elektronik MühendisliğiKoç Üniversitesi

    Malzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. B. ERDEM ALACA

  4. Tez No

    573120

    Graphene transfer approaches with different support materials on the substrates with cavities

    Oyuklu alt taşlar üzerinde farklı destek malzemeleri ile grafen aktarma yaklaşımları

    SİNEM DUMAN

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2019

    Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİzmir Yüksek Teknoloji Enstitüsü

    Elektronik ve Haberleşme Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. MÜJDAT BALANTEKİN

    DOÇ. DR. CEM ÇELEBİ

  5. Tez No

    313503

    Design, fabrication and characterization of liquid-solid microelectromechanical DC-contact switches

    Sıvı-katı mikroelektromekanik DC-kontak anahtarların tasarımı, üretimi ve ölçümü

    ENGİN ÇAĞATAY

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2012

    Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİhsan Doğramacı Bilkent Üniversitesi

    Malzeme Bilimi ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. NECMİ BIYIKLI

Geri Dön