Darbeli-DC manyetik alanda sıçratma yöntemi ile kaplanan TiB2 ve Me-DLC filmlerin mekanik, yapısal ve tribolojik özelliklerinin araştırılması
The investigation of mechanical, structural and tribological properties of TiB2 and Me-DLC films deposited by pulsed-dc magnetron sputtering
- Tez No: 181431
- Danışmanlar: PROF. DR. İHSAN EFEOĞLU
- Tez Türü: Doktora
- Konular: Makine Mühendisliği, Mechanical Engineering
- Anahtar Kelimeler: TiB2, DLC, fiziksel buhar kaplama, darbeli-dc, triboloji, TiB2, DLC, PVD, pulsed-dc, tribology
- Yıl: 2006
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Atatürk Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Makine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 160
Özet
Tarihsel süreç içerisinde triboloji üzerine yapılan çalışmaların sağladığı birikimin geldiğinoktada, hem en iyi yağlama özellikleri gösterebilen, hem de uygun bir yüzey işlemi ileuygun bir malzeme yapısı ve bileşimi sunabilen bir tribolojik malzeme-işlem (proses) ikilisioluşturma fikri yatmaktadır. Ağır şartlarda çalışan makine elemanlarının sürtünme veaşınmaya dirençlerini daha da artırma gereksinimi, günümüz şartlarıyla tetiklendiği için, TiB2ve DLC (elmas benzeri karbon) gibi yeni tür seramik kaplamaların gelişmesi ve sanayideuygulamaya girmesi söz konusu olmuştur. Bu kaplamalar, genellikle PVD (fiziksel buharkaplama)-manyetik alanda sıçratma yöntemleri ile büyütülmelerine rağmen, halen bukaplamaların en iyi düzeyde mekanik, yapısal, tribolojik ve oksidasyon özelliklerigösterebilmesi için kaplama işlemi, kaplama parametreleri ve kimyasal bileşimleri üzerinebirçok araştırma çalışmaları devam etmektedir. Bu noktadan hareketle, kararlı ve kaplamaişlemi kontrolü sunabilen darbeli-dc ön gerilimi ile manyetik alanda sıçratma sisteminin,kaplama özellikleri açısından arzu edilen performansa ulaşmada önemli katkılarsağlayabileceği düşünülmüştür.Bu çalışmada, darbeli-dc ön gerilimi kullanılarak CFUBMS (kapalı alan manyetik alandasıçratma) kaplama yöntemi ile AISI D2, M2 ve 52100 çelik taban malzemeler üzerine TiB2filmler ve AISI M2 taban malzeme üzerine de Me-DLC filmler (Ti, Zr, Nb ve V ilaveli)büyütülmüş ve bu filmler mekanik, yapısal ve tribolojik özellikler açısındandeğerlendirilmiştir. Ayrıca bu özellikler ile TiB2 filmler için kaplama parametrelerinin ve Me-DLC filmler için ilave metal ve ara tabakaların ilişkisi irdelenmiştir. Büyütülen TiB2 ve Me-DLC filmlerde mekanik, tribolojik ve adezyon özellikleri açısından elde edilen olumlusonuçlar, darbeli-dc sistemi kullanımı ve uygulanan kaplama parametrelerinin etkisi olarakortaya çıkmıştır.2006, 143 sayfa
Özet (Çeviri)
The building up consideration of a tribological material-process couple to be able to showboth the best lubricating properties and offer a convenient material structure and compositiontogether by a favorable surface treatment inhabits in a point in which the accumulationobtained thanks to the investigations historically on tribology has been collected. Thedeveloping and coming on industrially market of new ceramic coatings such as TiB2 and DLC(diamond like carbon) have appeared because the necessity to more increase the friction andwear resistance of machine elements operating in severe conditions is provoked with presentconditions. Although these coatings are generally deposited by PVD (physical vapordeposition)-magnetron sputtering techniques, many research studies still continue ondeposition process, deposition parameters and chemical composition to exhibit mechanical,structural, tribological and oxidation properties of them in an optimum level. From this point,it was considered that magnetron sputtering system applied pulsed-dc biasing which can offera stable process and deposition process control is to be to provide important advantages toattain desired performance in terms of coating properties.In this study, TiB2 films on AISI D2, M2 and 52100 steel substrates and also Me-DLC films(with Ti, Zr, Nb and V addition) on AISI M2 were deposited by CFUBMS (closed fieldunbalanced magnetron sputtering) method using pulsed-dc biasing, and they were evaluatedin terms of mechanical, structural and tribological properties. Besides, the relations of thedeposition parameters for TiB2 films and metal and interlayers added for Me-DLC films withthese properties were scrutinized. Positive improvements obtained in terms of mechanical,tribological and adhesion properties of TiB2 and Me-DLC films grown were referred to theusing of pulsed-dc system and the conveniently selected deposition parameters.2006, 143 pages
Benzer Tezler
- Yüzeyi ince film kaplanmış 100Cr6 çeliğinin çeşitli ortamlarda sürtünme ve aşınma davranışlarının incelenmesi
The investigation of friction and wear behavior of thin film coated 100Cr6 in different environments
LEVENT KARA
Yüksek Lisans
Türkçe
2009
Makine MühendisliğiKaradeniz Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. TEVFİK KÜÇÜKÖMEROĞLU
- CrYN: Nb kaplamanın AISI 4140 alaşımlı çelik üzerine sentezlenmesi: Mekanik ve tribolojik özelliklerinin araştırılması
Synthesis of CrYN: Nb coating on AISI 4140 alloy steel: Investigation of its mechanical and tribological roperties
FURKAN YÜKSEL
Yüksek Lisans
Türkçe
2023
Makine MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. İHSAN EFEOĞLU
- Katodik ark fbb yöntemi kullanılarak çelik yüzeylerin alüminyumlanması
Aluminising of steel surfaces by using cathodic arc pvdmethod
TUĞBA ÇELİKEL
Doktora
Türkçe
2020
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MUSTAFA KAMİL ÜRGEN
- Katodik ark elektron metal iyon işlemi ile Ni–Ti sisteminde difüzyona bağlı faz oluşumlarının incelenmesi
Investigation of diffusion phase formations in Ni–Ti system via cathodic arc electron metal ion treatment
NAGİHAN SEZGİN
Doktora
Türkçe
2018
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. MUHAMMET KÜRŞAT KAZMANLI
- Nb ve Ta eklenmiş CrYN esaslı fonksiyonel ince film kaplamaların geliştirilmesi: Yapısal-mekanik ve elektrokimyasal özelliklerin araştırılması
Development of Nb and Ta added CrYN based functional thin film coatings: İnvestigation of structural-mechanical and electrochemical properties
BANU YAYLALI
Doktora
Türkçe
2024
Makine MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. İHSAN EFEOĞLU