Geri Dön

Atmalı katodik vakum ark depolama sistemiyle üretilen ZnO'nun elektriksel iletkenliği ve ısıl işlemle değişimi

Electrical conductivity and changing with thermal operation of ZnO which growth by pulsed cathodic vacuum arc deposition

  1. Tez No: 183727
  2. Yazar: MEDİHA SOYLU
  3. Danışmanlar: YRD. DOÇ. DR. ŞADİ YILMAZ
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: ZnO, Atmalı Filtreli Katodik Vakum Ark Depolama(PFCVAD) yöntemi, elektriksel iletkenlik, ısıl değişim, ZnO, Pulsed Filtered Cathodic Vacuum Arc Deposition(PFCVAD) process, electrical conductivity, thermal change
  7. Yıl: 2006
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Çukurova Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 128

Özet

ÖZYÜKSEK L SANS TEZATMALI KATOD K VAKUM ARK DEPOLAMA S STEM YLEÜRET LEN ZnO'NUN ELEKTR KSEL LETKENL Ğ VE ISILŞLEMLE DEĞ Ş MMediha SOYLUÇUKUROVA ÜN VERS TESFEN B L MLER ENST TÜSÜF Z K ANAB L M DALIDanışman : Yrd. Doç. Dr. Şadi YILMAZYıl : 2006, Sayfa:115Jüri : Yrd. Doç. Dr. Şadi YILMAZProf. Dr. Ramazan ESENDoç.Dr. Bilgehan GÜZELYarıiletken ZnO ince filmler elektriksel iletkenliği ve optik geçirgenliğiyüksek malzeme olmalarından dolayı teknolojik açıdan pek çok yerde kullanılırlar.Bu sebepten malzemenin üretimi ve teknik açıdan kullanılırlığının ölçümü önemkazanmaktadır.Bu tez çalışmasında yarıiletken ZnO ince filmlerin elektriksel iletimi ve ısılişlemle değişimi incelenmiştir. PFCVAD depolama yöntemiyle cam ve silikonalttaban üzerine farklı O2 basıncı kullanarak farklı basınçlarda depolanan incefilmlerle, farklı kalınlıklarda depolanan filmlerin sıcaklıkla elektriksel iletkenliği,soğurma katsayısı, yasak enerji aralığı gibi yarıiletken parametrelerinin kıyaslanmasıve ölçümü yapılmıştır.

Özet (Çeviri)

ABSTRACTMSc THESISELECTRICAL CONDUCTIVITY AND CHANGING WITH THERMALOPERATION OF ZnO WHICH GROWTH BY PULSED CATHODICVACUUM ARC DEPOSITIONMediha SOYLUDEPARTMENT OF PHYSICSINSTITUTE OF NATUREL AND APPLIED SCIENCESUNIVERSITY OF ÇUKUROVASupervizor : Assoc. Prof. Şadi YILMAZYear : 2006, Pages: 115Jury : Assoc. Prof. Şadi YILMAZProf. Dr. Ramazan ESENAssis. Prof. Bilgehan GÜZELAs semiconductor ZnO thin films have high electrical conductivity andoptical permeability materials used in most position point of view technological.Because of this considers producting of the material and measuring of using point ofview technological.In this thesis studing has been investigated semiconductor ZnO thin films thatelectrical conductivity and changing with thermal operation. Thin films deposited onglass and Si substrates by PFCVAD deposition process using different O2 pressuresand at different thickness then compared and measured semiconductor parameterssuch as thermal electrical conductivity, absorption coefficient, energy band gap.

Benzer Tezler

  1. ZnO ince filmlerinin eldesi ve aygıt üretimi için parametrelerinin optimizasyonu

    Deposition of thin ZnO films and parameter optimization for device production

    EBRU ŞENADIM TÜZEMEN

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2007

    Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. RAMAZAN ESEN

  2. PFCVAD (atmalı filtreli katodik vakum ark depolama) sistemiyle ZnO:Al bileşiklerinin üretilmesi ve karekterizasyonu

    Deposition and characterization of ZnO:Al compounds by pulsed filtered cathodic vacuum arc deposition technique

    DENİZ KADİR TAKCI

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2011

    Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. ŞADİ YILMAZ

  3. PFCVAD (atmalı filtreli katodik vakum ark depolama) sistemiyle ZnO:Al (azo) bileşiklerinin üretilmesi ve fotovoltaik özelliklerinin incelenmesi

    Deposi̇ti̇on and photovoltai̇c characteri̇zati̇on of ZnO:Al compounds by pulsed fi̇ltered cathodi̇c vacuum arc deposi̇ti̇on techni̇que

    DENİZ KADİR TAKCI

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2014

    Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. ŞADİ YILMAZ

  4. P-tipi çinko oksit (ZnO) yarıiletken ince filminin atmalı katodik vakum ark depolama yöntemi ile elde edilmesi ve karakterizasyonu

    Deposition and characterization of p-type ZnO films by pulsed cathodic vacuum arc deposition technique

    NECDET HAKAN ERDOĞAN

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2010

    Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. RAMAZAN ESEN

  5. Atmalı filtreli katodik vakum ark depolama yöntemiyle p-tipi çinko oksit (ZnO) üretimi ve elektriksel özellikleri

    Production and electrical properties of p-type zinc oxide (ZnO) by pulsed filtered cathodic vacuum arc deposition method

    HAVVA YANIŞ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2008

    Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova Üniversitesi

    Fizik Bölümü

    PROF. DR. HAMİDE KAVAK