Atmalı katodik vakum ark depolama sistemiyle üretilen ZnO'nun elektriksel iletkenliği ve ısıl işlemle değişimi
Electrical conductivity and changing with thermal operation of ZnO which growth by pulsed cathodic vacuum arc deposition
- Tez No: 183727
- Danışmanlar: YRD. DOÇ. DR. ŞADİ YILMAZ
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: ZnO, Atmalı Filtreli Katodik Vakum Ark Depolama(PFCVAD) yöntemi, elektriksel iletkenlik, ısıl değişim, ZnO, Pulsed Filtered Cathodic Vacuum Arc Deposition(PFCVAD) process, electrical conductivity, thermal change
- Yıl: 2006
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Çukurova Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 128
Özet
ÖZYÜKSEK L SANS TEZATMALI KATOD K VAKUM ARK DEPOLAMA S STEM YLEÜRET LEN ZnO'NUN ELEKTR KSEL LETKENL Ğ VE ISILŞLEMLE DEĞ Ş MMediha SOYLUÇUKUROVA ÜN VERS TESFEN B L MLER ENST TÜSÜF Z K ANAB L M DALIDanışman : Yrd. Doç. Dr. Şadi YILMAZYıl : 2006, Sayfa:115Jüri : Yrd. Doç. Dr. Şadi YILMAZProf. Dr. Ramazan ESENDoç.Dr. Bilgehan GÜZELYarıiletken ZnO ince filmler elektriksel iletkenliği ve optik geçirgenliğiyüksek malzeme olmalarından dolayı teknolojik açıdan pek çok yerde kullanılırlar.Bu sebepten malzemenin üretimi ve teknik açıdan kullanılırlığının ölçümü önemkazanmaktadır.Bu tez çalışmasında yarıiletken ZnO ince filmlerin elektriksel iletimi ve ısılişlemle değişimi incelenmiştir. PFCVAD depolama yöntemiyle cam ve silikonalttaban üzerine farklı O2 basıncı kullanarak farklı basınçlarda depolanan incefilmlerle, farklı kalınlıklarda depolanan filmlerin sıcaklıkla elektriksel iletkenliği,soğurma katsayısı, yasak enerji aralığı gibi yarıiletken parametrelerinin kıyaslanmasıve ölçümü yapılmıştır.
Özet (Çeviri)
ABSTRACTMSc THESISELECTRICAL CONDUCTIVITY AND CHANGING WITH THERMALOPERATION OF ZnO WHICH GROWTH BY PULSED CATHODICVACUUM ARC DEPOSITIONMediha SOYLUDEPARTMENT OF PHYSICSINSTITUTE OF NATUREL AND APPLIED SCIENCESUNIVERSITY OF ÇUKUROVASupervizor : Assoc. Prof. Şadi YILMAZYear : 2006, Pages: 115Jury : Assoc. Prof. Şadi YILMAZProf. Dr. Ramazan ESENAssis. Prof. Bilgehan GÜZELAs semiconductor ZnO thin films have high electrical conductivity andoptical permeability materials used in most position point of view technological.Because of this considers producting of the material and measuring of using point ofview technological.In this thesis studing has been investigated semiconductor ZnO thin films thatelectrical conductivity and changing with thermal operation. Thin films deposited onglass and Si substrates by PFCVAD deposition process using different O2 pressuresand at different thickness then compared and measured semiconductor parameterssuch as thermal electrical conductivity, absorption coefficient, energy band gap.
Benzer Tezler
- ZnO ince filmlerinin eldesi ve aygıt üretimi için parametrelerinin optimizasyonu
Deposition of thin ZnO films and parameter optimization for device production
EBRU ŞENADIM TÜZEMEN
Doktora
Türkçe
2007
Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. RAMAZAN ESEN
- PFCVAD (atmalı filtreli katodik vakum ark depolama) sistemiyle ZnO:Al bileşiklerinin üretilmesi ve karekterizasyonu
Deposition and characterization of ZnO:Al compounds by pulsed filtered cathodic vacuum arc deposition technique
DENİZ KADİR TAKCI
Yüksek Lisans
Türkçe
2011
Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. ŞADİ YILMAZ
- PFCVAD (atmalı filtreli katodik vakum ark depolama) sistemiyle ZnO:Al (azo) bileşiklerinin üretilmesi ve fotovoltaik özelliklerinin incelenmesi
Deposi̇ti̇on and photovoltai̇c characteri̇zati̇on of ZnO:Al compounds by pulsed fi̇ltered cathodi̇c vacuum arc deposi̇ti̇on techni̇que
DENİZ KADİR TAKCI
Doktora
Türkçe
2014
Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. ŞADİ YILMAZ
- P-tipi çinko oksit (ZnO) yarıiletken ince filminin atmalı katodik vakum ark depolama yöntemi ile elde edilmesi ve karakterizasyonu
Deposition and characterization of p-type ZnO films by pulsed cathodic vacuum arc deposition technique
NECDET HAKAN ERDOĞAN
Doktora
Türkçe
2010
Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. RAMAZAN ESEN
- Atmalı filtreli katodik vakum ark depolama yöntemiyle p-tipi çinko oksit (ZnO) üretimi ve elektriksel özellikleri
Production and electrical properties of p-type zinc oxide (ZnO) by pulsed filtered cathodic vacuum arc deposition method
HAVVA YANIŞ
Yüksek Lisans
Türkçe
2008
Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova ÜniversitesiFizik Bölümü
PROF. DR. HAMİDE KAVAK