Atmalı plazma katodik ark yöntemi ile elde edilen ZnO ince filmlerin optik ve yapısal özellikleri
Optical and structural properties of ZnO thin films which are grown by cathodic arc deposition
- Tez No: 183738
- Danışmanlar: PROF.DR. HAMİDE KAVAK
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: PFCVAD Yöntemi, İnce Film, ZnOIV, PFCVAD Method, Thin Film, ZnOV
- Yıl: 2006
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Çukurova Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 119
Özet
ÖZYÜKSEK LİSANSATMALI PLAZMA KATODİK ARK YÖNTEMİ İLE ELDE EDİLEN ZnOİNCE FİLMLERİN OPTİK VE YAPISAL ÖZELLİKLERİMERYEM DERYA ÖZDEMİRÇUKUROVA ÜNİVERSİTESİFEN BİLİMLERİ ENSTİTÜSÜFİZİK ANABİLİM DALIDanışman: Prof. Dr. Hamide KAVAKYıl: 2006, Sayfa: 106Jüri: Prof. Dr. Hamide KAVAKProf. Dr. Ramazan ESENProf. Dr. Birgül YAZICIBu çalışmada Palslı Filtreli Katodik Vakum Ark Depolama yöntemi ile ZnOince filmler oda sıcaklığında cam ve silisyum olmak üzere iki ayrı alttaban üzerineaynı kalınlık farklı basınçlarda ve aynı basınç farklı kalınlıklarda üretildi. Elde edilenfilmlerin optik ve yapısal özelliklerinin kalınlık ve basınç değişiminden nasıletkilendiği araştırıldı.
Özet (Çeviri)
ABSTRACTMScOPTICAL AND STRUCTURAL PROPERTIES OF ZnO THIN FILMSWHICH ARE GROWN BY CATHODIC ARC DEPOSITIONMERYEM DERYA ÖZDEMİRDEPARTMENT OF PHYSICSINSTITUTE OF NATURAL AND APPLIED SCIENCESUNIVERSITY OF ÇUKUROVASupervisor: Prof. Dr. Hamide KAVAKYear: 2006, Pages: 106Jury: Prof. Dr. Hamide KAVAKProf. Dr. Ramazan ESENProf. Dr. Birgül YAZICIIn this work, ZnO thin films were produced on glass and silicon substrates byPulsed Filtered Cathodic Vacuum Arc Deposition Method at room temperature forthe same thickness at different pressure and for different thickness at the samepressure. Furthermore, the influence of thickness and pressure on the optical andstructural properties were investigated for the produced ZnO thin films.
Benzer Tezler
- Atmalı plazma katodik ark yöntemiyle elde edilmiş ZnO (çinko oksit) ince filmlerde fotoiletkenlik
Photoconductivity of ZnO thin films which are grown by cathodic arc deposition
LATİFE NÜKHET ÖZBAYRAKTAR
Yüksek Lisans
Türkçe
2006
Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HAMİDE KAVAK
- Atmalı filtreli katodik vakum ark depolama ve elektron siklotron rezonanas mikrodalga plazma teknikleri ile karbon nanoduvar ince filmlerin üretimi ve karakterizasyonu
Production and characterization of carbon nanowall thin films by pulsed filtered catodic vacuum arc deposition and electron cyclotron resonance microwave plasma tecniques
BİRSEN KESİK ZEYREK
Doktora
Türkçe
2020
Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HAMİDE KAVAK
- Atmalı filtreli katodik vakum ark ile üretilen karbon filmlerin yapısı ve özellikleri
Structure and properties of carbon films produced by filtered cathodic vacuum arc
MERHAN KILIÇ
Yüksek Lisans
Türkçe
2017
Fizik ve Fizik MühendisliğiÇukurova ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. RAMAZAN ESEN
- Atmosferik basınçta plazma yöntemiyle karbon depolama
Carbon deposition by using a plasma method at atmospheric pressure
MERYEM POLAT
Yüksek Lisans
Türkçe
2008
Fizik ve Fizik MühendisliğiEskişehir Osmangazi ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. NACİ EKEM
- Çoklu gaz karışımı plazmalarının optik emisyon spektroskopisi
Optical emission spectroscopy of multiple gas mixing plasmas
SUAT PAT
Doktora
Türkçe
2007
Fizik ve Fizik MühendisliğiEskişehir Osmangazi ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. NACİ EKEM