Elektron demeti buharlaştırma yöntemi ile üretilmiş niti ince-şekilli filmlerin faz yapılarının ve optik özelliklerinin belirlenmesi
Determination of phase structures and optical properties of niti thin-sculptured thin films produced by e-beam evaporation
- Tez No: 251520
- Danışmanlar: DOÇ. DR. KÜRŞAT KAZMANLI
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Metalurji Mühendisliği, Metallurgical Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2009
- Dil: Türkçe
- Üniversite: İstanbul Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Malzeme Bilimi ve Mühendisliği Bilim Dalı
- Sayfa Sayısı: 116
Özet
Bu çalışmada elektron demeti buharlaştırma sisteminde, eş atomluya yakın bileşimlerde NiTi hafızalı alaşımların ince ve şekilli ince filmler olarak üretilmesi; bu filmlerin faz yapılarının ve optik özelliklerinin saptanması amaçlanmıştır. Bütün kaplamalar Si tek kristal plakalar üzerine gerçekleştirilmiştir. Öncelikle istenilen bileşimde filmler elde etmek ve film bileşimi ile kaplama hızı arasındaki bağıntının saptanması için farklı kaplama hızlarında NiTi ince film kaplamalar üretilmiştir. Kaplama hızı düştükçe filmdeki Ti miktarının arttığı gözlemlenmiştir. Daha sonra eğik açılı biriktirme yöntemi ile istenilen bileşime uygun kaplama hızlarında ve sabit buhar geliş açılarında, spiral, zikzak, eğik ve bunların hibridi morfolojilerde şekilli ince filmler biriktirilmiştir. Düz filmler ısıl işlemle kristalize edilerek martenzik NiTi fazı ve ikincil fazlar gözlemlenmiştir. Şekilli filmlerde ise ısıl işlem sırasında altlık ile film arasında difüzyon gerçekleştiği ve Ni3Si fazı oluştuğu saptanmıştır. Bu sonuçlar doğrultusunda NiTi şekilli filmler uygun sıcaklıkta tavlanarak kristalize edilebilmeleri için altlık üzerine kaplanan NiTi düz ince katmanlar üzerine biriktirilmiştir. NiTi düz katmanlara iyon bombardımanı uygulanması ile yüzey pürüzlülüğü artırılarak 20 nm çaplarında kolonlar üretilmiştir. NiTi düz katman üzerine kaplanan şekilli filmlerde, kristalizasyonun sıcaklıkla arttığı ve Si ile difüzyonun engellendiği görülmüştür. Kristalin numunelerde NiTi, Ni2Ti, Ni4Ti3, Ti2Ni fazları gözlemlenmiştir. Optik reflektansın tavlama ile bir miktar değiştiği, şekilli filmlerin ise düz filmlere göre çok düşük optik reflektans değerleri sergiledikleri saptanmıştır.
Özet (Çeviri)
In this dissertation the aim is determination of phase structures and optical properties of NiTi thin and sculptured thin films at near equiatomic composition produced by E-beam evaporation system. All films are deposited on single crystal Si wafers. First, to obtain equiatomic composition and determine the relation between the deposition rate and film composition NiTi thin films are deposited at various deposition rates. It was determined that amount of Ti in thin films increases with decreasing deposition rates. Then STFs deposited by GLAD at constant vapour flux and deposition rates. Thin films crystallized by proper annealing have a phase distribution of martensitic NiTi and secondary phases. Ni3Si phase were observed due to diffusion between the substrate and the film at annealed STFs. To overcome this problem, Si substrates were first coated with NiTi thin films, then STFs with varying column structures were deposited on this layer. Surfaces of the NiTi thin film layers were subjected to ion bombardment prior to STF deposition, increasing it?s roughness enabling STF columns of 20 nm diameter to be deposited. Multi layered STFs crystallized by proper annealing. Crystallization ratio increased with increasing annealing temperatures. NiTi, Ni2Ti, Ni4Ti3, Ti2Ni phases was observed at crystallized samples. Optical reflectance changed by annealing and STFs displayed much lower reflectance than thin films.
Benzer Tezler
- NiTi hafızalı alaşım şekilli film kaplamaların üretilmesi ve karakterizasyonu
Production and characterizaton of NiTi memory alloy sculptured thin films
GÜLİZ GÜRLÜK
- Elektron demeti buharlaştırma yöntemi ile hazırlanmış tungsten oksit ince filmler üzerine detaylı bir çalışma: Elektrokromik cihaz üretimi ve karakterizasyonları
A detailed study on tungsten oxide thin films prepared by electron beam evaporation method: Electrochromic device preperation and characterizations
DİLEK EVECAN
Doktora
Türkçe
2022
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiFizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ESRA ZAYİM
- Çevre dostu CuSbSe2 ince film güneş hücreleri: Sürdürülebilir enerji için zehirli olmayan pencere katmanlarının kullanımı
Enviromentally friendly CuSbSe2 thin film solar cells: Utilizing non-toxic window layers for sustainable energy
ERSİN BAL
Yüksek Lisans
Türkçe
2024
EnerjiGazi ÜniversitesiEnerji Sistemleri Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. GÖKHAN SÜRÜCÜ
- Comparison of alloyed and non-alloyed ohmic contacts in GaN/algan HEMT for Ka band radar applications
Ka bant radar uygulamaları için GaN / algan HEMT yapılarında alaşımlı ve alaşımsız ohmik kontakların karşılaştırılması
HÜSEYİN ÇAKMAK
Doktora
İngilizce
2020
Fizik ve Fizik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiMikro ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı
DR. ÖĞR. ÜYESİ MUHSİNE BİLGE İMER
DOÇ. DR. ALPAN BEK
- Fabrication and characterization of doped metal-oxide thin film gas sensors
Katkılı metal oksit yarı iletken ince film gaz sensörlerinin üretimi ve karakterizasyonu
SİNAN ÖZTEL
Yüksek Lisans
İngilizce
2019
Fizik ve Fizik MühendisliğiBolu Abant İzzet Baysal ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ERCAN YILMAZ