Fabrication and characterization of doped metal-oxide thin film gas sensors
Katkılı metal oksit yarı iletken ince film gaz sensörlerinin üretimi ve karakterizasyonu
- Tez No: 571381
- Danışmanlar: PROF. DR. ERCAN YILMAZ
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2019
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Bolu Abant İzzet Baysal Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 62
Özet
Kalay oksit bazlı ince film gaz sensörleri Elektron Demeti Buharlaştırma (e-beam) yöntemi ile üretildi ve 600oC de tavlandı. SnO2/SiO2 ince filmlerin yapısal, morfolojik, kimyasal ve elektriksel özellikleri detaylı bir şekilde çalışıldı. Yapısal analizler X-Işını Kırınımı (XRD) ile elde edildi ve ince filmlerin morfolojik özellikleri Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM) ile analiz edildi. Ayrıca SnO2/SiO2 ince filmlerin kimyasal bağ yapıları Fourier Dönüşüm Kızıl Ötesi Spektroskopi (FTIR) üzerinden analiz edildi ve elektriksel özellikleri akım-voltaj (I-V) karakteristiği kullanılarak araştırıldı. Daha sonrasında üretilen ince filmlere sırasıyla 1 saniye, 3 saniye ve 5 saniye Platin (Pt) kopartma (sputtering) yöntemi ile katkılandı. Pt katkılanmış ince filmlerin aynı şekilde yapısal, morfolojik, kimyasal ve elektriksel özellikleri araştırıldı ve tartışıldı. Son olarak, bu çalışmada üretilen tüm SnO2/SiO2 ince filmlerin oksijen algılama özelliği ve Pt katkılanmasının gaz duyarlılığına etkisi araştırıldı ve tartışıldı.
Özet (Çeviri)
Tin-oxide based thin film gas sensors were produced by Electron Beam Evaporation (e-beam) method and annealed at 600oC. The structural, morphological, chemical and the electrical properties of SnO2/SiO2 thin films were studied in detail. The structural analysis were obtained by X-Ray Diffraction (XRD) and Scanning Electron Microscopy (SEM) was used for analyzing the morphological properties of the thin film. Also chemical bonding structures were analyzed via Fourier Transform Infrared Spectroscopy (FTIR) and electrical properties of the SnO2/SiO2 thin films were investigated by using current-voltage (I-V) characteristics measurement. Then, by using sputtering technique the Platinum (Pt) was doped onto the produced thin film in 1 second, 3seconds, and 5 seconds respectively. The same structural, morphological, chemical, and the electrical properties of the Pt doped thin films were investigated and discussed. Finally, the Oxygen sensing property of the each fabricated SnO2/SiO2 thin films and the effect of Pt doping on gas sensitivity were investigated and discussed in this study.
Benzer Tezler
- MEMS ile entegre mikro ısıtıcı ve IDE mikro sistemlerin fabrikasyonu ve nano kompozit yarı iletken gaz sensör uygulaması
Fabrication of integrated micro heater and ide micro systems with MEMS and application of nano composite semiconductor GAS sensor
HALİME İLBEYİİLİNGİ
Yüksek Lisans
Türkçe
2024
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiFizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DR. ÖĞR. ÜYESİ BERNA MOROVA
DOÇ. DR. CİHAT TAŞALTIN
- Saf ve rutenyum (Ru) katkılı transparan iletken oksit yapılı ince filmlerin üretimi, elektriksel, optiksel, yapısal karakterizasyonu ve nem sensörü uygulamaları
Fabrication and characterization of the electrical, optical and structural properties of the pure and ruthenium doped transparent conducting oxides thin films and humidity sensors applications
HANDE SÖZBİLEN
Yüksek Lisans
Türkçe
2012
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiEge ÜniversitesiElektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. ÖMER MERMER
- Organik lif tabanlı metal oksit kaplanmış biyo-sensör geliştirilmesi
Development of organic fiber based metal oxide coated bio-sensor
GÖZDE KONUK EGE
Doktora
Türkçe
2022
Mekatronik MühendisliğiMarmara ÜniversitesiMekatronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. GARİP GENÇ
DR. ÖĞR. ÜYESİ HÜSEYİN YÜCE
- Capacitance-voltage and current-voltage characteristic properties of ZnO:Al/p-Si heterojunction
ZnO:Al/p-Si heterokavşakların kapasitans-voltaj ve akım-voltaj karakteristik özellikleri
YELİZ KÖSE
Yüksek Lisans
İngilizce
2015
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. MURAT BAYDOĞAN
- Metal katkılı ZnO nanoyapılarının üretilmesi ve karakterize edilmesi
Fabrication and characterization of metal doped ZnO nanostructures
HALİL İBRAHİM MERCAN