Geri Dön

Electrically analysis of MEMS resonator fault

MEMS resonator hatalarının elektriksel analizi

  1. Tez No: 252105
  2. Yazar: MUHAMMED AKYOL
  3. Danışmanlar: YRD. DOÇ. DR. SERHAT İKİZOĞLU
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2008
  8. Dil: İngilizce
  9. Üniversite: İstanbul Teknik Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Elektrik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 63

Özet

Bu tez, silikon tabanlı mikro elektro mekanik cihazlarının temelinde kullanılan MEMS resonator MEMS resonatorun bir üretimini anlatmaktadır. Bunun yanında MEMS Resonatorun DC polarizasyon voltaji ile birlikte elektriksel eşdeğerini içermektedir. Burada anlatılan resonatorler, micro-flap ve bridge yapısal özelliklere sahip MEMS resonatorlerdir. Bu tezde, Silisyum yüzeyde meydana gelen parazitik etkinin ana resonator modelden ayrı olarak iyi bir şekilde belli parametreler ile modellenmesi anlatılmıştır. Simülasyon frekansı, deney sonuçularındaki frekans ile aynıdır. Bu sonuçlar analiz edilince, parazitik kapasitansın devrenin frekans cevabını etkilediği belirlenmiştir. Parazitik etkiler resonator frekansını azalttığı anlaşılmaktadır. Resonatorlerin modellenmesi, osilator devreli filtreler için çok önemlidir. Bundan sonra elde edilen formüllerle ideal resonator devresinin değerleri ortaya çıkarılmıştır. Son adım olarakta model de tanımlanan değerlerinin belli aralıklarla değiştirilmesi ile ideal resonator devresinin meydana gelen degişimler gözlemlendi. Daha sonra bu değerleri, Öklid, Canberra ve Karesel uzaklık fonksiyonları ile analizi yapılarak bu değerler tablo olarak sunulmuştur. Burada yapılan analiz yöntemi, herhangi bir MEMS Resonator arızasının tesbiti konusunda yeni bir bakış sunmaktadır.

Özet (Çeviri)

In this thesis, we work for resonators in silicon-based Micro Electro-Mechanical Systems(MEMS) which is fabricated by Tanaka et al[12]. Electrical equivalent circuit modeling of the resonators with DC polarization voltage is demonstrated. The fabricated resonators have micro-flap type and bridge type structures. Embedded parasitic components in Si-substrate are well modeled separately from intrinsic resonator model parameters. A simulation of frequency response using extracted model parameters is agreed with experimental result. It is shown that parallel parasitic capacitance deeply affects to frequency response, and reducing such effect would improve resonator performance. Accurate electrical equivalent circuit modeling of total system is very important for circuit design application such as oscillator circuits.. This analysis include many parameters and each of MEMS Bridge resonator electrical equivalent parameters effect frequency amplitude graphs. Using Distance Methods as Euclidian Distance Method, Canberra Distance Method, Square Distance Method, we can define that problem at the MEMS resonator. If MEMS resonator has fault we also define which parameters have problems using equivalent circuit modelling. This analysis presents new view of defining MEMS Resonator faults.

Benzer Tezler

  1. MEMS teknolojisi tabanlı kapasitif rezonatör tasarımı ve üretimi

    Design and fabrication of MEMS technology based capacitive resonator

    ERGUN AYTAŞKIN

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2020

    Elektrik ve Elektronik MühendisliğiPamukkale Üniversitesi

    Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DR. ÖĞR. ÜYESİ SERDAR TEZ

  2. Hedef analitlerin tespiti için kullanılabilecek MEMS kapasitif rezonatör geliştirilmesi

    Development of a MEMS capacitive resonator usable for detection of the target analyte

    MEHMET KAYA

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2021

    Elektrik ve Elektronik MühendisliğiPamukkale Üniversitesi

    Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DR. ÖĞR. ÜYESİ SERDAR TEZ

  3. Design and implementation of a MEMS based gravimetric detector for cytometry applications

    Sitometri uygulamaları için MEMS tabanlı gravimetrik duyarga tasarımı ve uygulanması

    EKREM BAYRAKTAR

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2010

    Elektrik ve Elektronik MühendisliğiOrta Doğu Teknik Üniversitesi

    Elektrik ve Elektronik Mühendisliği Bölümü

    DOÇ. DR. HALUK KÜLAH

  4. Gürültüyü azaltan ve piezoelektrik etki ile enerji hasat eden Helmholtz rezonatörü tasarımı ve analizi

    Design and analysis of Helmholtz resonator that reduces noise and harvests energy with piezoelectric effect

    ALİ ÖZERMİŞ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2024

    Makine MühendisliğiManisa Celal Bayar Üniversitesi

    Makine Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. GÖZDE SARI

  5. Analytical and experimental study of imperfections, stress, and temperature effects in circular MEMS gyroscopes

    Yapısal kusurlar, stres ve sıcaklığın dairesel MEMS dönü-ölçerlere etkilerinin analitik ve deneysel olarak çalışılması

    MEHRAN HOSSEINI PISHROBAT

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2024

    Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİhsan Doğramacı Bilkent Üniversitesi

    Elektrik ve Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    Assist. Prof. Dr. ERDİNÇ TATAR