Geri Dön

Thickness determination of thin films by energy dispersive x-ray spectroscopy

Enerji dağılımı x-ışını spektroskopisi yöntemiyle ince film kalınlık analizi

  1. Tez No: 285642
  2. Yazar: SEDAT CANLI
  3. Danışmanlar: PROF. RAŞİT TURAN, YRD. DOÇ. DR. BURCU AKATA KURÇ
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2010
  8. Dil: İngilizce
  9. Üniversite: Orta Doğu Teknik Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Mikro ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 93

Özet

EDS, malzemelerin nitelik ve nicelik analizini yapan bir araçtır. Elektronmikroskopisinde, elektronların enerjisi, örnekten gelen X ışınlarının geldiği bölgeninderinliğini belirler. Elektronların enerjileri değiştirilerek, X ışınlarının geldiğiderinlik de değiştirilebilir. Herhangi bir ince film yapısı incelendiğinde, farklıelektron enerjilerinde farklı element yüzdeleri ile karşılaşılır. Belirli bir filmin, belirlibir kalınlığı, kendine özgü bir enerji-oran diagrami verecektir ki, biz bu diagramı ofilmin o kalınlığı için parmakizi olarak nitelendirebiliriz ve buradan filminkalınlığına ulaşılabilir.

Özet (Çeviri)

EDS is a tool for quantitative and qualitative analysis of the materials. In electronmicroscopy, the energy of the electrons determines the depth of the region where theX-rays come from. By varying the energy of the electrons, the depth of the regionwhere the X-rays come from can be changed. If a thin film is used as a specimen,different quantitative ratios of the elements for different electron energies can beobtained. Unique thickness of a specific film on a specific substrate gives uniqueenergy-ratio diagram so the thickness of a thin film can be calculated by analyzingthe fingerprints of the energy-ratio diagram of the EDS data obtained from the film.

Benzer Tezler

  1. Termiyonik vakum ark (TVA) tekniği ile II-VI grubu bazı yarıiletken bileşiklerin ince filmlerinin üretilmesi ve bazı fiziksel özelliklerinin incelenmesi

    Produce of thin films of II-VI group some semiconductor compounds with thermionic vacuum arc (TVA) technique and investigation of some physical properties

    MEHMET ÖZKAN

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2010

    Fizik ve Fizik MühendisliğiEskişehir Osmangazi Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. NACİ EKEM

  2. Pb(Zr 0.52 Ti 0.48)O3 films on stainless steel by chemical solution deposition

    Kimyasal çözeltiden biriktirme yöntemiyle paslanmaz çelik üzerinde hazırlanan Pb(Zr 0.52 Ti 0.48)O3 filmler

    FARUK ALTAN YILDIRIM

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2002

    Metalurji MühendisliğiOrta Doğu Teknik Üniversitesi

    Metalurji Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. MACİT ÖZENBAŞ

  3. Magnetron sıçratma yöntemiyle farklı zirkonyum katkılama oranlarıyla hazırlanan tungsten oksit ince filmlerinin karakterizasyonu ve elektrokromik özelliklerinin incelenmesi

    Characterization and investigation of electrochromic properties of zirconium doped tungsten oxide thin films coated by magnetron sputtering method

    CEREN GİRAY

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2023

    KimyaMarmara Üniversitesi

    Kimya Ana Bilim Dalı

    DR. ÖĞR. ÜYESİ EFE BATURHAN ORMAN

    PROF. DR. ALİ RIZA ÖZKAYA

  4. Katodik ark plazma işlemi ile Al-Cu-Fe üçlü bileşiklerinin elde edilmesi

    Production of ternary Al-Cu-Fe compounds with cathodic arc plasma treatment

    SEDA ARPACI

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2014

    Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. MUSTAFA KAMİL ÜRGEN

  5. NiMn,NiMnP+ ve CrFe alaşım ince filmlerinde elektron spin rezonans (ESR) ve direnç ölçümleri

    Başlık çevirisi yok

    MUSTAFA ÖZDEMİR

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    1998

    Fizik ve Fizik Mühendisliğiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Fizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. YILDIRHAN ÖNER