Termiyonik vakum ark (TVA) tekniği ile II-VI grubu bazı yarıiletken bileşiklerin ince filmlerinin üretilmesi ve bazı fiziksel özelliklerinin incelenmesi
Produce of thin films of II-VI group some semiconductor compounds with thermionic vacuum arc (TVA) technique and investigation of some physical properties
- Tez No: 266386
- Danışmanlar: PROF. DR. NACİ EKEM
- Tez Türü: Doktora
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2010
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Eskişehir Osmangazi Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Genel Fizik Bilim Dalı
- Sayfa Sayısı: 137
Özet
Bu çalışma kapsamında, saf materyal plazması üreten bir teknik olan Termiyonik Vakum Ark (TVA) tekniği ile ilk defa II-VI grubu ikili yarıiletken bileşiklerin plazmaları üretilmiştir. Ayrıca bu ikili yarıiletken bileşiklerin TVA tekniği ile üç farklı kalınlıkta ince filmleri cam ve silisyum alttaşlar üzerinde üretilerek bazı fiziksel özellikleri incelenmiştir.Bu çalışma esnasında plazmalar ve ince filmler üretilirken literatürde yer almayan yeni bir fiziksel olay olan termal (ısıl) iletkenliğin de plazma ve ince film üretimi üzerine etkilerinin olabileceği gözlenmiştir. Üretilen plazmaların optik emisyon spektrometresi kullanılarak yapılan analizleri sonucunda, plazma içerisindeki parçacıklar belirlenmiş ve plazmaların saf materyal plazmaları olduğu doğrulanmıştır.İnce filmlerin yüzey özellikleri taramalı elektron mikroskobu (SEM), enerji dağınım (dispersive) spektrometresi (EDS) ve atomik kuvvet mikroskobu (AFM) cihazları ile incelenmiştir. Yarıiletken filmlerin kristal yapılarını incelerken X-Işını kırınım cihazı (XRD) kullanılmıştır. Üretilen ince filmlerin optik özelliklerini ise spektroskopik elipsometre ve Uv-Vis spektrofotometre cihazı kullanılarak incelenmiştir. Bu analizler sayesinde yarıiletken ince filmlerin kalınlık, kırılma indisi, sönüm katsayısı ve yasak enerji aralıkları gibi optiksel parametreleri belirlenmiştir.
Özet (Çeviri)
Thermionic Vacuum Arc (TVA) is a pure material plasma production technique which knows in literatures. In this study, the plasma of the binary semi conductor compounds (II-VI group of periodic table) were generated by TVA, firstly. Also, these films were deposited on glass and Si substrates in different three thickness and investigated some physical properties of its.During the experimental researches and deposited on thin films, a new parameter would affect the properties of thin films, whose name is thermal conductivity of materials. Determination of particle in plasma were realized by optical emission spectroscopy (OES) and plasma it confirmed the pure materials plasmas with OES.Surface properties of produced thin films were investigated with scanning electron microscopy (SEM), energy dispersive spectroscopy (EDS), atomic force microscopy (AFM). Crystallographic data were collected by x-ray difractometer (XRD). To characterized of optical properties of thin films were used spectroscopic ellipsometer (SE) and Uv-Vis spectrophotometer. Thanks to optical research, thickness, refractive index, excretion coefficient and band gap energies of produced thin films were determined.
Benzer Tezler
- Termiyonik vakum ark (TVA) tekniği ile optik filtre tasarımı
Optical filter design by thermionic vacuum arc (TVA) technique
TUNA AYDOĞMUŞ
Yüksek Lisans
Türkçe
2013
Fizik ve Fizik MühendisliğiEskişehir Osmangazi ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. NACİ EKEM
- Termiyonik vakum ark (TVA) tekniği ile üretilen In, Si, Ge, B ve Cr katkılı ZnO ince filmlerin bazı özellikleri
Investigation of some properties of the prepared In, Si, Ge, B and Cr Doped ZnO thin films using thermionic vacuum arc technique (TVA)
REZA MOHAMMADIGHAREHBAGH
Yüksek Lisans
Türkçe
2018
Fizik ve Fizik MühendisliğiEskişehir Osmangazi ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. SUAT PAT
- Termiyonik vakum ark (TVA) tekniği ile magnezyum, bor ve magnezyum borür ince filmlerinin üretilmesi ve bazı fiziksel özelliklerinin incelenmesi
Production of magnesium, boron and magnesium diboride thin films using thermionic vacuum arc (TVA) technique and investigation of some physical properties
MUSTAFA ZAFER BALBAĞ
Doktora
Türkçe
2009
Fizik ve Fizik MühendisliğiEskişehir Osmangazi ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. NACİ EKEM
- Termiyonik vakum ark yöntemi ile katkılı çinko oksit ince film üretimi
Production of doped ZnO thin films using thermionic vacuum arc method
SERCAN SADIK ERDEM
Yüksek Lisans
Türkçe
2020
Fizik ve Fizik MühendisliğiAfyon Kocatepe ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DR. ÖĞR. ÜYESİ MEHMET ÖZKAN
- Bor Nitrür (BN) ince film ara katmanlar üzerine üretilen yüksek performanslı elektronik uygulamaların geliştirilmesi ve özelliklerinin incelenmesi
Investigation and development of BN interlayer thin film for application in high-performance electronics
REZA MOHAMMADIGHAREHBAGH
Doktora
Türkçe
2023
Fizik ve Fizik MühendisliğiEskişehir Osmangazi ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. SUAT PAT