Investigation of electromigration and stress induced surface dynamics on the interconnect by computer simulation
Arabağlantı elemanlarının elektrogöç ve stress nedenli yüzey dinamiğinin bilgisayar simülasyonu aracılığı ile araştırılması
- Tez No: 286115
- Danışmanlar: PROF. DR. MEHMET KADRİ AYDINOL, PROF. DR. TARIK ÖMER OĞURTANI
- Tez Türü: Doktora
- Konular: Metalurji Mühendisliği, Metallurgical Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2011
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Orta Doğu Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Bölümü
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 212
Özet
Bu çalışmanın amacı, ince filmlerin ve ince katı damlacıkların elektron rüzgarı, uyumsuzlukgerilimi, eşyönsüz yüzey kayma difüzyonu, yüzey kararlılığı eşyönsüzlüğü altında yüzeyevriminin kapsamlı bir tablosunun ortaya koymaktır, böylece kişi yüzey kararlılığının bağlıolduğu ana nedenleri ve koşulları tahmin edilmesini sağlıyacaktır.Katı altlık üstündeki ince filmlerin ve ince katı damlacıkların yüzeylerinin elektron rüzgarı,uyumsuzluk gerilimi, eşyönsüz yüzey kayma difüzyonu, yüzey kararlılığı eşyönsüzlüğü altındaevrimi dinamik modelleme ile araştırılmıştır. Stranski-Krastanow adacıklarının oluşumundaeşyönsüz serbest yu¨zey enerjisinin etkisi gözlemlenmiştir. ö rgu¨ yapı ile altlık arasındakibirçok açı ve farklı eşyönsüzlük şiddeti göz önünde bulundurulmuşdur.Yüzey pürüzlüğünün elektrostatik ve elastostatik alanlar altındaki dinamikleri göstermiştirki; ince filmin maruz kaldığı uyumsuzluk stress miktarı oldukça önemlidir ve bu geriliminbasınç yada çekme kuvveti olması düzgün dalga şeklinde yada çatlak benzeri formda olansonuç morfolojini derinden etkilemektedir. Damlacık deneylerinde, damlacık kenarlarındanmadde transferi ile damlacık ortasında çan şekilli Stranski-Krastanow adacıklarının oluşumusırasında oldukça ince ıslanma katmanı oluşumu gözlemlenmiştir. Buhar yağunlaşması devredışı bırakıldığında, adacık yüksekliği, ıslanma açısı ve ıslanma katmanı uzunluğu bellideğerlerde sabitlendiği gözlemlenmiştir. Adacık şekillenmelerindeki fark düş ük eşyönsüzlüksabiti değerleri ile yüksek eşyönsüzlük sabiti değerlerinden nasıl etkilendiği tartışılmış.
Özet (Çeviri)
Purpose of this work is to provide a comprehensive picture of thin film (interconnect) and soliddroplet surface evolution under the several external applied forces with anisotropic physicalproperties so that one can eventually be able to predict main reasons and conditions underwhich stability of surface is defined.A systematic study based on the self-consistent dynamical simulations is presented for thespontaneous surface evolution of an thin film and isolated thin solid droplet on a rigid substrate,which is driven by the surface drift diffusion induced by the anisotropic diffusivity, theanisotropic capillary forces (surface stiffness) and mismatch stresses under electron winding.The effect of surface free energy anisotropies (weak and strong (anomalous)) on the developmentkinetics of the Stranski-Krastanow island type morphology are studied. Although,various tilt angles and anisotropy constants were considered during simulations, the main emphasiswas given on the effect of rotational symmetries associated with the surface Helmholtzfree energy topography in 2D space.The investigations of dynamics of surface roughness on concurrent actions of the appliedelasto- and electro- static fields clearly indicate that applied misfit stress level is highly importanteffect on resultant surface form which may be smooth wave like or crack like. Thedroplet simulations revealed the formation of an extremely thin wetting layer during the developmentof the bell-shaped Stranski-Krastanow island through the mass accumulation atthe central region of the droplet via surface drift-diffusion. The developments in the peakheight, in the extension of in the wetting layer beyond the domain boundaries, and the changein triple junction contact angle, one clearly observes that these quantities are reaching certainsaturation limits or plateaus, when the growth mode turned-off. Islanding differences forweak anisotropy constant levels and the strong (anomalous) anisotropy constant domains arediscussed.
Benzer Tezler
- Investigation of electromigration induced hıllock and edge void dynamics on the interconnect surface by computer simulation
Yüzey tepecik ve boşluklarının elektrogöç nedenli dinamiğinin bilgisayar simülasyonu aracılığı ile araştırılması
AYTAÇ ÇELİK
Yüksek Lisans
İngilizce
2004
Metalurji MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. TARIK OĞURTANI
- Ondansetron hidroklorür'ün transdermal iyontoforetik geçişinin incelenmesi
Investigation of transdermal iontophoretic delivery of ondansetron hydrochloride
DENİZ ÖZDİN
Yüksek Lisans
Türkçe
2011
Eczacılık ve Farmakolojiİstanbul ÜniversitesiFarmasötik Teknoloji Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. SEVGİ GÜNGÖR
- Controlled lateral and perpendicular motion of atoms on metal surfaces
Atomların metal yüzeylerinde yatay ve düşey yönde kontrollü hareketleri
ALPER BULDUM
Yüksek Lisans
İngilizce
1994
Fizik ve Fizik Mühendisliğiİhsan Doğramacı Bilkent ÜniversitesiPROF. SALİM ÇINARCI
- Arıtma çamurlarının elektro-susuzlaştırma prosesi ile incelenmesi
Investigation of electro-dewateri̇ng of treatment sludges
AYŞEGÜL COŞKUN
Yüksek Lisans
Türkçe
2017
Çevre MühendisliğiGebze Teknik ÜniversitesiÇevre Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. NİHAL BEKTAŞ
- Bumetanid'in voltametrik yöntemle elektroanalitik davranışının incelenmesi
Investigation of electroanalytical behaviour of Bumetanide by voltammetry
ZERRİN ACAR
Yüksek Lisans
Türkçe
1998
Eczacılık ve FarmakolojiAnkara ÜniversitesiAnalitik Kimya Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ZÜHRE ŞENTÜRK