Geri Dön

Radyo Frekansı (RF) Saçtırma Tekniği Kullanılarak Üretilen ZnO İnce Filmlerin Bazı Özelliklerinin İncelenmesi

Investigation of Some Physical Properties of ZnO Thin Films Produced by Using Radio Frequency (RF) Sputtering Technique

  1. Tez No: 290931
  2. Yazar: NİYAZİ EMRE ÇETİN
  3. Danışmanlar: PROF. DR. NACİ EKEM
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: ZnO, RF Saçtırma, ZnO ince filmler, optik ve yapısal özellikler, ZnO, RF sputtering, ZnO thin films, optic and structural properties
  7. Yıl: 2011
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Eskişehir Osmangazi Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Fizik Bölümü
  12. Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
  13. Sayfa Sayısı: 131

Özet

Bu çalışmada, RF saçtırma sistemi kullanılarak çeşitli oksijen konsantrasyonlarda ZnO ince filmler cam alt taş üzerine depolanmıştır. Hedef olarak Zn kullanılmıştır. Reaktif gaz olarak ise yüksek saflıkta O2 gazı kullanılmıştır. Oluşturulan bu ZnO ince filmlerin bazı optik ve yüzey özellikleri incelenerek, farklı %xAr+%(100-x)O2 gazı bileşimlerinde özellikleri ve farklılıkları belirlenmeye çalışılmıştır.Farklı oksijen konsantrasyonlarda üretilen ZnO ince filmlerin, yapısal özellikleri, kalınlığı, geçirgenliği, kırılma indisi, yasak enerji aralığı, yüzey pürüzlülüğü ve yüzey görüntüleri elde edilmesi için x-ışın difraksiyonu (XRD), Uv-vis spektrofotometre, interferometrik ölçüm sistemi, atomik kuvvet mikroskobu kullanılarak incelenmiştir.Elde edilen sonuçlar incelendiğinde, farklı konsantrasyonlarda depolanan ZnO ince filmlerinin bazı fiziksel özelliklerinin oksijen gaz konsantrasyonuna bağlı olduğunu göstermiştir.

Özet (Çeviri)

In this study, ZnO thin films were deposited on glass substrates using RF sputtering system at variously oxygen concentrations. Zn metal plate was used as target material. Also, oxygen was used as reactive gas in high purity. Some optical and surface properties of deposited ZnO thin films were investigated and these properties and differences of the properties of deposited ZnO thin films were tried to determine in %xAr+%(100-x)O2 gas compositions.Microstructure properties, thickness, transmittance, refractive index, band gap, roughness and surface image of the ZnO thin films in various oxygen concentrations were investigated by x-ray diffraction (XRD), Uv-vis spectrophotometer, interferometric measurement system, atomic force microscopy (AFM).Survey the obtained data shown that some physical properties of the ZnO thin films in various concentrations depend on oxygen concentrations.

Benzer Tezler

  1. RF magnetron saçtırma tekniği ile üretilen çinko oksit ve galyum katkılı çinko oksit ince filmlerin fiziksel özelliklerinin karşılaştırılması

    Comparison of the physical properties of zinc oxide and gallium doped zinc oxide thin films sputtered by RF magnetron technique

    MURAT DELİORMANLI

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2023

    Fizik ve Fizik MühendisliğiTekirdağ Namık Kemal Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. KADİR ERTÜRK

    DR. ÖĞR. ÜYESİ MAKBULE TERLEMEZOĞLU BİLMİŞ

  2. ZnO/Si heteroeklem diyotların yapısal, elektriksel ve optik özelliklerinin incelenmesi

    Investigation of the structural, electrical and optical properties of ZnO/Si heterojunction diodes

    SERHAT SARSICI

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2018

    Fizik ve Fizik MühendisliğiUludağ Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. SERTAN KEMAL AKAY

  3. Magnetron saçtırma tekniği ile büyütülen MoS2 ince filmlerin optik karakterizasyonu

    Optical characterisation od MoS2 thin films grown by magnetron sputter

    HÜRGÜL CENGİZ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2024

    Fizik ve Fizik MühendisliğiGebze Teknik Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. EDA GOLDENBERG

  4. RF magnetron saçtırma tekniği ile AISI440C çeliğe yapılan ara tabakasız ve ara tabakalı MoS2 ince film kaplamaların tribolojik özelliklerinin incelenmesi

    Determination of the tribological properties of the coatings of non-interlayered and interlayered MoS2 thin film coatings on AISI440C steel substrate by RF magnetron sputtering technique

    MEHMET POYRAZ

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2019

    Makine MühendisliğiSüleyman Demirel Üniversitesi

    Makine Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. RECAİ FATİH TUNAY

  5. RF saçtırma yöntemi ile InXGa1-XN üçlü bileşiğinin ince film olarak büyütülmesi ve karakterisitik özelliklerinin deneysel olarak incelenmesi

    Growth of InXGa1-XN ternary compound as thin film by RF magnetron sputtering technique and investigation of characteristic properties with experimental analysis

    ERMAN ERDOĞAN

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2017

    Fizik ve Fizik MühendisliğiAtatürk Üniversitesi

    Nanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. MUTLU KUNDAKÇİ