Radyo Frekansı (RF) Saçtırma Tekniği Kullanılarak Üretilen ZnO İnce Filmlerin Bazı Özelliklerinin İncelenmesi
Investigation of Some Physical Properties of ZnO Thin Films Produced by Using Radio Frequency (RF) Sputtering Technique
- Tez No: 290931
- Danışmanlar: PROF. DR. NACİ EKEM
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: ZnO, RF Saçtırma, ZnO ince filmler, optik ve yapısal özellikler, ZnO, RF sputtering, ZnO thin films, optic and structural properties
- Yıl: 2011
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Eskişehir Osmangazi Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Bölümü
- Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Sayfa Sayısı: 131
Özet
Bu çalışmada, RF saçtırma sistemi kullanılarak çeşitli oksijen konsantrasyonlarda ZnO ince filmler cam alt taş üzerine depolanmıştır. Hedef olarak Zn kullanılmıştır. Reaktif gaz olarak ise yüksek saflıkta O2 gazı kullanılmıştır. Oluşturulan bu ZnO ince filmlerin bazı optik ve yüzey özellikleri incelenerek, farklı %xAr+%(100-x)O2 gazı bileşimlerinde özellikleri ve farklılıkları belirlenmeye çalışılmıştır.Farklı oksijen konsantrasyonlarda üretilen ZnO ince filmlerin, yapısal özellikleri, kalınlığı, geçirgenliği, kırılma indisi, yasak enerji aralığı, yüzey pürüzlülüğü ve yüzey görüntüleri elde edilmesi için x-ışın difraksiyonu (XRD), Uv-vis spektrofotometre, interferometrik ölçüm sistemi, atomik kuvvet mikroskobu kullanılarak incelenmiştir.Elde edilen sonuçlar incelendiğinde, farklı konsantrasyonlarda depolanan ZnO ince filmlerinin bazı fiziksel özelliklerinin oksijen gaz konsantrasyonuna bağlı olduğunu göstermiştir.
Özet (Çeviri)
In this study, ZnO thin films were deposited on glass substrates using RF sputtering system at variously oxygen concentrations. Zn metal plate was used as target material. Also, oxygen was used as reactive gas in high purity. Some optical and surface properties of deposited ZnO thin films were investigated and these properties and differences of the properties of deposited ZnO thin films were tried to determine in %xAr+%(100-x)O2 gas compositions.Microstructure properties, thickness, transmittance, refractive index, band gap, roughness and surface image of the ZnO thin films in various oxygen concentrations were investigated by x-ray diffraction (XRD), Uv-vis spectrophotometer, interferometric measurement system, atomic force microscopy (AFM).Survey the obtained data shown that some physical properties of the ZnO thin films in various concentrations depend on oxygen concentrations.
Benzer Tezler
- RF magnetron saçtırma tekniği ile üretilen çinko oksit ve galyum katkılı çinko oksit ince filmlerin fiziksel özelliklerinin karşılaştırılması
Comparison of the physical properties of zinc oxide and gallium doped zinc oxide thin films sputtered by RF magnetron technique
MURAT DELİORMANLI
Yüksek Lisans
Türkçe
2023
Fizik ve Fizik MühendisliğiTekirdağ Namık Kemal ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. KADİR ERTÜRK
DR. ÖĞR. ÜYESİ MAKBULE TERLEMEZOĞLU BİLMİŞ
- ZnO/Si heteroeklem diyotların yapısal, elektriksel ve optik özelliklerinin incelenmesi
Investigation of the structural, electrical and optical properties of ZnO/Si heterojunction diodes
SERHAT SARSICI
Yüksek Lisans
Türkçe
2018
Fizik ve Fizik MühendisliğiUludağ ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. SERTAN KEMAL AKAY
- Magnetron saçtırma tekniği ile büyütülen MoS2 ince filmlerin optik karakterizasyonu
Optical characterisation od MoS2 thin films grown by magnetron sputter
HÜRGÜL CENGİZ
Yüksek Lisans
Türkçe
2024
Fizik ve Fizik MühendisliğiGebze Teknik ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. EDA GOLDENBERG
- RF magnetron saçtırma tekniği ile AISI440C çeliğe yapılan ara tabakasız ve ara tabakalı MoS2 ince film kaplamaların tribolojik özelliklerinin incelenmesi
Determination of the tribological properties of the coatings of non-interlayered and interlayered MoS2 thin film coatings on AISI440C steel substrate by RF magnetron sputtering technique
MEHMET POYRAZ
Doktora
Türkçe
2019
Makine MühendisliğiSüleyman Demirel ÜniversitesiMakine Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. RECAİ FATİH TUNAY
- RF saçtırma yöntemi ile InXGa1-XN üçlü bileşiğinin ince film olarak büyütülmesi ve karakterisitik özelliklerinin deneysel olarak incelenmesi
Growth of InXGa1-XN ternary compound as thin film by RF magnetron sputtering technique and investigation of characteristic properties with experimental analysis
ERMAN ERDOĞAN
Doktora
Türkçe
2017
Fizik ve Fizik MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiNanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. MUTLU KUNDAKÇİ