Galyum oksit ince filmlerin elektron demeti buharlaştırma yöntemiyle üretimi ve karakterizasyonu
Characterization of gallium oxide thin films produced by e-beam evaporation
- Tez No: 292207
- Danışmanlar: DOÇ. DR. KÜRŞAT KAZMANLI
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Metalurji Mühendisliği, Metallurgical Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2010
- Dil: Türkçe
- Üniversite: İstanbul Teknik Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: İleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Malzeme Bilimi ve Mühendisliği Bilim Dalı
- Sayfa Sayısı: 91
Özet
Bu çalışmada, galyum oksit (Ga2O3) düz ve eğik açılı ince filmler elektron demeti buharlaştırma yöntemiyle üretilmiş ve özellikleri belirlenmiştir. Algılama katmanı olarak Ga2O3 düz ve eğik açılı ince filmlerin kaplandığı sensör yapıları oluşturulmuştur. İnce filmlerin analizinde XRD ve SEM yöntemleri kullanılmıştır. Üretilen Ga2O3 düz ve eğik açılı ince filmlerin ısıl işlemler ile yapıları optimize edilmiştir. Eğik açılı Ga2O3 ince filmlerin ısıl işlemler ile yapılarındaki porozitenin ve kolonsal yapıların değişimi incelenmiştir. Isıl işlemler ile kolonsal yapıların bir araya geldiği ve daha geniş boşlukların oluştuğu belirlenmiştir. Oluşturulan sensör yapılarının ise mavi ve beyaz floresan ışık altında fotoiletkenlik ölçümleri yapılmıştır. Eğik açılı Ga2O3 ince filmlerin, düz ince filmlerden daha yüksek hassasiyet gösterdiği belirlenmiştir. Aynı zamanda UV dalgaboyuna sahip mavi floresan ışık uygulandığında; eğik açılı ince filmin direnç değişiminin, düz ince filmin direnç değişimine oranının; beyaz floresan ışık altındakine göre daha fazla olduğu belirlenmiştir.
Özet (Çeviri)
In this study, gallium oxide (Ga2O3) thin and oblique angled thin films are produced by e-beam evaporation and their properties are determined. Sensor structures that have Ga2O3 thin film sensing layers are formed. XRD and SEM methods are used to analyze thin films. Produced thin and oblique angled thin films are optimized by heat treatments. Changes in porosity and columnar structures of oblique angled Ga2O3 thin films are researched after heat treatments. As a result of heat treatments, at oblique angled Ga2O3 thin films, the formation of larger columnar structures and holes are determined. Photoconductivity measurements of produced sensor structures are made under blue and white fluorescent light. Oblique angled thin films are determined that they are more sensitive to radiation. Also, when blue fluorescent is applied, the ratio of conductivity change of oblique angled thin films to conductivity change of thin films is higher than the ratio at white fluorescent light.
Benzer Tezler
- Comparison of alloyed and non-alloyed ohmic contacts in GaN/algan HEMT for Ka band radar applications
Ka bant radar uygulamaları için GaN / algan HEMT yapılarında alaşımlı ve alaşımsız ohmik kontakların karşılaştırılması
HÜSEYİN ÇAKMAK
Doktora
İngilizce
2020
Fizik ve Fizik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiMikro ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı
DR. ÖĞR. ÜYESİ MUHSİNE BİLGE İMER
DOÇ. DR. ALPAN BEK
- RF saçtırma yöntemi ile galyum oksit (Ga2O3) ince filmlerinin büyütülmesi yapısal, morfolojik ve optik özelliklerinin incelenmesi
Growth of gallium oxide (Ga2O3) thin films by RF sputter, investigation of structural, morphological and optical properties
HÜLYA AKÇAY
Yüksek Lisans
Türkçe
2020
Fizik ve Fizik MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiKatıhal Fiziği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MUTLU KUNDAKÇİ
- Transparan ince film transistörlerde kullanılan kanal yarıiletkeninin özelliklerinin incelenmesi
Investigation of the properties of channel semiconductor used in the transparent thin film transistors
ÖZKUR KURAN
Doktora
Türkçe
2022
Fizik ve Fizik MühendisliğiEge ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. İLBEYİ AVCI
- İndiyum oksit ve galyum katkılı indiyum oksit ince filmlerin optik ve mikroyapısal özelliklerinin incelenmesi
Investigating optical and microstructure properties of undoped and gallium-doped indium oxide thin films
KAMİLE BURCU ÇELİK
Yüksek Lisans
Türkçe
2013
Fizik ve Fizik MühendisliğiGebze Yüksek Teknoloji EnstitüsüFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. MUHAMMED HASAN ASLAN
- Galyum katkılı çinko-oksit ince filmlerin özelliklerine sıçratma gücünün ve kaplama sonrası uygulanan ısıl işlemin etkileri
Effect of sputtering power and post annealing process on properties of gallium-doped zinc oxide thin films
BİRSEN HANDEM ERGÜNHAN
Yüksek Lisans
Türkçe
2017
Fizik ve Fizik MühendisliğiYıldız Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. AHMET KARAASLAN