Tavlama sıcaklığının nano ölçekli vanadyum oksit ince filmlerin optik ve elektriksel özelliklerine etkisinin incelenemesi
Study of annealing temperature effects on optical and electrical properties of nano sized vanadium oxide thin films
- Tez No: 304591
- Danışmanlar: DOÇ. DR. RAMİS MUSTAFA ÖKSÜZOĞLU
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Vurmalı DC, Vanadyum Oksit, Optik Özellikler, Elektriksel Özellikler, Tavlama, Pulsed DC, Vanadium Oxide, Optical Properties, Electrical Properties, Annealing
- Yıl: 2012
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Anadolu Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: İleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 113
Özet
Bu tezde vurmalı DC magnetron sıçratma metodu ile farklı altlıklar üzerine üretilmiş nano boyutta vanadyum oksit ince filmlerinin tavlama sıcaklığına bağlı değişimi incelenmiştir. İnce filmlerin karakterizasyonları FT-IR (fourier dönüşümlü kızıl ötesi), UV-Vis-NIR (ultra viyole-görünür bölge-yakın kızıl ötesi), Raman spektroskopileri, AFM (atomik kuvvet mikroskobu), FPP (dört nokta prob tekniği), XRD (X-ışını kırınımı) ve XPS (X-ışını foto elektron spektroskopisi) metotları ile gerçekleştirilmi?ştir. Tavlama sıcaklığının ve altlığın etkisinin incelenmesi için SiO2 ve Si/SiO2 altlıklar üzerine üretilen filmler, 75-230ºC aralığında belirli sıcaklıklara tavlanmış, karakterizasyonları yapılmış? ve tavlanmamış film özellikleri ile karşılaştırılmıştır. Filmlerin V6O13+V2O5+VO2 türlerinin birleşiminden oluştuğu tespit edilmiştir. Topografik özelliklerin, bu filmler için optik ve elektriksel özelliklerden ve tavlama sıcaklığından bağımsız olduğu ancak altlığın pürüzlülüğü ile tamamen ilişkili olduğu belirlenmiştir. Optik özelliklerin tavlama sıcaklığına bağlı olarak belirgin biçimde değişmediği, ancak elektriksel özelliklerin iyileştirilebileceği gösterilmiştir. Çalışmanın sonucunda oda sıcaklığı civarında geçiş özelliği gösteren, UV ışığı tamamen absorbe eden, TCR değerleri yüksek, nano boyutlu, karışık fazlı vanadyum oksit ince filmler üretilmiştir.
Özet (Çeviri)
In this thesis, optical, electrical and structural characterization before and after annealing of pulsed DC magnetron sputter deposited, nano sized vanadium oxide thin films on different substrates were investigated. Thin film characterizations carried out with FT-IR (fourier transform infarred), UV-Vis-NIR (ultraviolet-visible-near infrared) and Raman spectroscopies, AFM (atomic force microscopy), FPP (four point probe), XRD (X-ray diffraction) and XPS (X-ray photoelectron spectroscopy) methods. For the purpose of analysing the effects of substrates and annealing temperature, thin films has been deposited on to two different substrates, amorphous SiO2 and Si/SiO2, annealed at specific temperatures between 75-230ºC, characterized and compared with unannealed films. It?s determined that all films are composed of V6O13, V2O5 and VO2 species. Topographic features for these films, optical, electrical properties and annealing temperature were found to be independent, but are completely dependent on the roughness of the substrate. Depending on the annealing temperature, optical properties of vanadium oxide thin films don?t change significantly, but it?s shown that electrical properties can be improved. As a result of the study, nano-sized, mixed-phase vanadium oxide thin films, which absorb UV light completely, showing a transition near room temperature, with a high TCR (temperature coefficient of resistance) value were produced.
Benzer Tezler
- Synthesis and characterization of hafnium boride-based ceramic powders
Hafniyum borür-esaslı seramik tozlarının sentezlenmesi ve karakterizasyonu
NAZLI AKÇAMLI
Doktora
İngilizce
2016
Metalurji Mühendisliğiİstanbul Teknik ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. İSMAİL DUMAN
- Processing, characterization and development of rare earth doped lead magnesium niobate ferroelectric ceramic capacitors by sol-gel technique
Sol-jel tekniği kullanılarak nadir toprak katkılı kurşun magnezyum niyobat ferroelektrik seramik kapasitörlerin üretimi, karakterizasyonu ve geliştirilmesi
MEHMET FARUK EBEOĞLUGİL
Doktora
İngilizce
2011
Metalurji MühendisliğiDokuz Eylül ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ERDAL ÇELİK
- Crystal structure prediction and ammonia dynamics in calcium ammine
Kalsiyum aminin kristal yapı tahmini ve amonyak dinamiğinin incelenmesi
SENCER BÜYÜKYEĞEN
Yüksek Lisans
İngilizce
2017
Enerjiİstanbul Teknik ÜniversitesiEnerji Bilim ve Teknoloji Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ADEM TEKİN
- SILAR yöntemiyle üretilmiş CdO filmlerin hidrojen gazı (H2) algılama özelliklerine tavlama sıcaklığının etkisi
Effects of annealing on the (H2) sensing properties of cdo films grown by the SILAR metod
EYYÜP DÖNMEZ
Yüksek Lisans
Türkçe
2017
Fizik ve Fizik MühendisliğiMustafa Kemal ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. BÜNYAMİN ŞAHİN
- Polimer/grafen/ZnO nano-hibrit yapılarının sentezlenmesi, karakterizasyonu ve fotokatalitik etkinliğinin incelenmesi
Synthesis, characterization and investigation of photocatalytic activity of polymer/graphene/ZnO nano-hybrid structures
MEMNUNE KARDEŞ
Doktora
Türkçe
2022
Metalurji MühendisliğiGebze Teknik ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. KORAY ÖZTÜRK