Tavlama sıcaklığının nano ölçekli vanadyum oksit ince filmlerin optik ve elektriksel özelliklerine etkisinin incelenemesi
Study of annealing temperature effects on optical and electrical properties of nano sized vanadium oxide thin films
- Tez No: 304591
- Danışmanlar: DOÇ. DR. RAMİS MUSTAFA ÖKSÜZOĞLU
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Vurmalı DC, Vanadyum Oksit, Optik Özellikler, Elektriksel Özellikler, Tavlama, Pulsed DC, Vanadium Oxide, Optical Properties, Electrical Properties, Annealing
- Yıl: 2012
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Anadolu Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: İleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.
Özet
Bu tezde vurmalı DC magnetron sıçratma metodu ile farklı altlıklar üzerine üretilmiş nano boyutta vanadyum oksit ince filmlerinin tavlama sıcaklığına bağlı değişimi incelenmiştir. İnce filmlerin karakterizasyonları FT-IR (fourier dönüşümlü kızıl ötesi), UV-Vis-NIR (ultra viyole-görünür bölge-yakın kızıl ötesi), Raman spektroskopileri, AFM (atomik kuvvet mikroskobu), FPP (dört nokta prob tekniği), XRD (X-ışını kırınımı) ve XPS (X-ışını foto elektron spektroskopisi) metotları ile gerçekleştirilmi?ştir. Tavlama sıcaklığının ve altlığın etkisinin incelenmesi için SiO2 ve Si/SiO2 altlıklar üzerine üretilen filmler, 75-230ºC aralığında belirli sıcaklıklara tavlanmış, karakterizasyonları yapılmış? ve tavlanmamış film özellikleri ile karşılaştırılmıştır. Filmlerin V6O13+V2O5+VO2 türlerinin birleşiminden oluştuğu tespit edilmiştir. Topografik özelliklerin, bu filmler için optik ve elektriksel özelliklerden ve tavlama sıcaklığından bağımsız olduğu ancak altlığın pürüzlülüğü ile tamamen ilişkili olduğu belirlenmiştir. Optik özelliklerin tavlama sıcaklığına bağlı olarak belirgin biçimde değişmediği, ancak elektriksel özelliklerin iyileştirilebileceği gösterilmiştir. Çalışmanın sonucunda oda sıcaklığı civarında geçiş özelliği gösteren, UV ışığı tamamen absorbe eden, TCR değerleri yüksek, nano boyutlu, karışık fazlı vanadyum oksit ince filmler üretilmiştir.
Özet (Çeviri)
In this thesis, optical, electrical and structural characterization before and after annealing of pulsed DC magnetron sputter deposited, nano sized vanadium oxide thin films on different substrates were investigated. Thin film characterizations carried out with FT-IR (fourier transform infarred), UV-Vis-NIR (ultraviolet-visible-near infrared) and Raman spectroscopies, AFM (atomic force microscopy), FPP (four point probe), XRD (X-ray diffraction) and XPS (X-ray photoelectron spectroscopy) methods. For the purpose of analysing the effects of substrates and annealing temperature, thin films has been deposited on to two different substrates, amorphous SiO2 and Si/SiO2, annealed at specific temperatures between 75-230ºC, characterized and compared with unannealed films. It?s determined that all films are composed of V6O13, V2O5 and VO2 species. Topographic features for these films, optical, electrical properties and annealing temperature were found to be independent, but are completely dependent on the roughness of the substrate. Depending on the annealing temperature, optical properties of vanadium oxide thin films don?t change significantly, but it?s shown that electrical properties can be improved. As a result of the study, nano-sized, mixed-phase vanadium oxide thin films, which absorb UV light completely, showing a transition near room temperature, with a high TCR (temperature coefficient of resistance) value were produced.
Benzer Tezler
- Türkiye'de serebral hareket bozukluklarının etiyolojisi epidemiyolojisi ve bazı klinik özellikleri
Başlık çevirisi yok
AŞER BENSUSAN
Tıpta Uzmanlık
Türkçe
1986
Çocuk Sağlığı ve Hastalıklarıİstanbul ÜniversitesiÇocuk Sağlığı ve Hastalıkları Ana Bilim Dalı
- Çocuklarda akut stres hiperglisemisinde hormonal değişikliklerin ve kısa süreli prognozun incelenmesi
Başlık çevirisi yok
AYGÜN DİNDAR
Tıpta Uzmanlık
Türkçe
1987
Çocuk Sağlığı ve Hastalıklarıİstanbul ÜniversitesiÇocuk Sağlığı ve Hastalıkları Hemşireliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. HÜLYA GÜNÖZ
- İzmir pazarlarında satılan taze köy peynirlerinin bazı nitelikleri ve özellikle zehirlenmeye neden olan bakteri içerikleri üzerinde araştırmalar
Başlık çevirisi yok
NURSEL VAPURCU
Yüksek Lisans
Türkçe
1985
Gıda MühendisliğiEge ÜniversitesiSüt Teknolojisi Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. HASAN YAYGIN
- Laboratuvarda üretilen lasioderma serricorne (F) (Col.Anobii dae)'nin biyolojisi üzerinde bir araştırma
A Research on the biology of lasioderma serricorne (F.)
MÜJGAN GÖKTAY
- Kemalpaşa etlik piliç işletmelerinin teknik ve ekonomik yönden incelenmesi
Başlık çevirisi yok
HAYRİ TUNA YÜKSELEN
- Kemalpaşa ilçesi Yukarıkızılca köyünde seçilmiş bir grup bağcılık işletmesinin ekonomik analizi
Başlık çevirisi yok
M. METİN ARTUKOĞLU