Geri Dön

Investigation of Si1-x Gex alloy formation by using STM

Si1-x Gex Alaşımının büyümesinin TTM ile incelenmesi

  1. Tez No: 33489
  2. Yazar: AHMET ORAL
  3. Danışmanlar: DOÇ. DR. RECAİ ELLİALTIOĞLU
  4. Tez Türü: Doktora
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: TaramalıTünelleme Mikroskobu, Ultra Yüksek Vakum, SiGe, Eşörgüsel Büyüme. ıı, Alaşımlar, Büyüme, Taramalı tünelleme mikroskobu, Scanning Tunneling Microscope, Ultra High Vacuum, SiGe, Epitaxial growth, Alloys, Growth, Scanning tunnelling microscope
  7. Yıl: 1994
  8. Dil: İngilizce
  9. Üniversite: İhsan Doğramacı Bilkent Üniversitesi
  10. Enstitü: Mühendislik ve Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.

Özet

Sii^Ge* ALAŞIMININ BÜYÜMESİNİN TTM İLE İNCELENMESİ Ahmet Oral Fizik Doktora Tez Yöneticisi: Doç. Dr. Recai Ellialtıoğlıı Şubat 1994 Bu tezde, SiGe alaşımının Si(100)(2xl) yüzeyinde büyümesinin ilk safhaları Taramalı Tünelleme Mikroskobu (TTM) kullanılarak incelenmiştir. Ayrıca, Ultra Yüksek Vakum (UYV) altında çalışan bir yüzey inceleme/hazırlama sisteminin ve bir UYV-Taramalı Tünelleme Mikroskobunun tasarımı ve imalatı açıklanmaktadır. Sio.36Ge0.64 alaşımı silikon yüzeyinde eşörgüsel olarak değişik miktarlarda, 0.1-3.6 tektabaka (TT), ve çeşitli sıcaklıklarda (~300~500°C) büyütülmüştür. Düşük dozlarda alaşım büyümesi hemen hemen tek boyutlu olup silikon çiftil sıralarına dik olarak yönelmektedir. Karşı-Faz sınırlarının çok- katlı büyümeye neden olduğu gözlenmiştir. Büyütülen alaşım tabakası ile silikon yüzeyi arasındaki kuvvetli etkileşimin silikon çiftlilerini büktüğü bulunmuştur. Alçak ve yüksek büyüme sıcaklıklarında değişik büyüme mekanizmalarının etkili olduğu, sırasıyla ada oluşumu ve basamak akışı, tespit edilmiştir. (2xn) sıralanmasının yalnız orta bir sıcaklık değerinde oluştuğu gözlenmiştir (~400°C).

Özet (Çeviri)

Abstract INVESTIGATION OF Si^Ge* ALLOY FORMATION by USING STM Ahmet Oral Ph. D. in Physics Supervisor: Assoc. Prof. Recai Ellialtıoğlu February 1994 In this thesis, initial stages of SiGe alloy growth on the Si(001)(2xl) surface is analysed by Scanning Tunneling Microscopy (STM). Design and construction of an Ultra High Vacuum (UHV) surface analysis/preparation chamber and an UHV-Scanning Tunneling Microscope are also described. The Sio.36Ge0.64 alloy was epitaxially grown on the silicon substrate at various coverages (0.1- 3.6 ML) and at different temperatures (~300-500°C). The growth was almost one dimensional preferring the direction perpendicular to the underlying silicon dimer rows at the low coverages. Anti-phase boundaries were observed to lead multi-layer growth. Strong interaction between the overlayer and the substrate was found to buckle the substrate dimers. Different growth mechanisms, island formation and step flow, were identified at low and high temperatures. (2xn) ordering of the strained overlayer was only observed at an intermediate temperature (~400°C).

Benzer Tezler

  1. Thermoelectric properties of Si-based two dimensional structures

    Başlık çevirisi yok

    SEDAT AĞAN

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2000

    Fizik ve Fizik MühendisliğiUnıversıty Of Warwıck

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. T. E. WHALL

    PROF. E. H. C. PARKER

  2. Tb5Si2-xGe2-xT2x (T=Fe, Mn) alaşımlarının yapısal ve manyetik özelliklerinin incelenmesi

    The investigation of structural and magnetic properties of Tb5Si2-xGe2-xT2x (T=Fe, Mn) alloys

    ERCÜMENT YÜZÜAK

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2008

    Fizik ve Fizik MühendisliğiAnkara Üniversitesi

    Fizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. YALÇIN ELERMAN

  3. RMn2-xTxX2 (R: Hafif nadir yer elementi, T: Fe, Co, X: Si, Ge) alaşımlarının kristal ve manyetik yapılarının X-ışını ve nötron toz kırınımı ile incelenmesi

    The investigations of crystal and magnetic structures of RMn2-xTxX2 (R: Light pare-earth element, T: Fe, Co, X: Si OR Ge) alloys by x-ray and neutron powder diffractions

    İLKER DİNÇER

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2005

    Fizik ve Fizik MühendisliğiAnkara Üniversitesi

    Fizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF.DR. AYHAN ELMALI

  4. Metal/Si ve metal/Si1-xGex/Si Schottky bariyer diyotlarının elektrik özelliklerinin incelenmesi

    Investigation of electrical properties of metal/Si and metal/Si1-xGex/Si Schottky barrier diodes

    KADİR ERTÜRK

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2007

    Fizik ve Fizik MühendisliğiUludağ Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. NAİM DEREBAŞI

  5. Ge nanokristallerin SiNx ve SiOx matris içerisindeki optik ve yapısal özelliklerinin incelenmesi

    The investigation of optical and structural properties of ge nanocrystal in SiNx and SiOx matrix

    MEHMET SERKAN TOKAY

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2006

    Fizik ve Fizik MühendisliğiKırıkkale Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    DOÇ.DR. SEDAT AĞAN