Termiyonik vakum ark (TVA) tekniği ile optik filtre tasarımı
Optical filter design by thermionic vacuum arc (TVA) technique
- Tez No: 337206
- Danışmanlar: PROF. DR. NACİ EKEM
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Plazma, TVA, Optik Filtre, ZnS, MgF2
- Yıl: 2013
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Eskişehir Osmangazi Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Yüksek Enerji ve Plazma Fiziği Bilim Dalı
- Sayfa Sayısı: 90
Özet
Optik ince filmler, ince film kaplama çalışmalarının yapıldığı önemli uygulama alanlarından birisidir. Optik ince filmler hemen hemen bütün optik sistemler içinde ışıkla etkileşen tüm yüzeylerde kullanılmaktadır. Bu tez çalışmasında ilk kez Termiyonik Vakum Ark (TVA) Tekniği ile optik filtre tasarımı yapılmıştır. Bu tasarımda II-IV grubu yarıiletken bileşiklerinden olan Çinko sülfür (ZnS) ve toprak alkali metal florürlerinden olan Magnezyum florür (MgF2) bileşikleri çalışılmıştır. Bu bileşiklerin seçilmesinin sebebi ZnS bileşiğinin yüksek kırılma indisine, MgF2 bileşiğinin ise düşük kırılma indisine sahip olmasıdır. Filtre tasarımında yüksek kırılma indisli ve düşük kırılma indisli malzemeler birbirini tekrar etmek suretiyle çoklu katman olarak kaplanmaktadır. Bu çalışmada ilk kez bu malzemeleri kullanarak 8 katmanlı tek taraflı ve 4'er katmanlı çift taraflı olmak üzere ince filmler büyütülerek optik filtre tasarımı denenmiştir. Büyütülen ince filmlerin bazı fiziksel özellikleri, X-ışını kırınımı (XRD), taramalı elektron mikroskobu (SEM), enerji dağılımı spektrometresi (EDS), atomik kuvvet mikroskobu (AFM), interferometri, UV-vis spektrofotometresi ve elipsometre cihazları kullanılarak incelenmiştir. Elde edilen ince filmlerde yapılan analizler doğrultusunda her iki çalışmanın da kısmi bir optik filtre olarak kullanılabileceği görülmekle beraber, çift taraflı çok katmanlı (4-4 katman) numunenin, tek taraflı çok katmanlı (8 katman) numuneye göre daha iyi bir optik filtre özelliği gösterdiği saptanmıştır.
Özet (Çeviri)
Optical thin films are one of the important application areas in which thin film deposition studies are conducted. Optical coatings are used on all the surfaces that interact with light in almost every optical systems. In this study, the optical filter has been designed with Thermionic Vacuum Arc (TVA) technique for the first time. In this design, zinc sulfide (ZnS) which is one of the group II-IV semiconductor compounds and magnesium fluoride (MgF2) which belonging the earth alkaline metal fluorides family have been studied. The reason for choosing these compounds is the high and low refractive indexes of ZnS and MgF2, respectively. In filter design high refractive index and low refractive index materials are coated in multiple layers by repeating each other. We have designed optical filters by growing 8 layered single sided, and 4 layered double sided thin films using these materials for the first time in this study. Physical properties of thin films manufactured have been characterized by using X-Ray Diffraction (XRD), Scanning Electron Microscopy (SEM), Energy Dispersive Spectroscopy (EDS), Atomic Force Microscopy, (AFM), interferometry, UV-vis spectrophotometry and ellipsometer devices. As a result of analyses on the thin films processed, it has been found that, although both thin films are suitable for partial optical filter applications, double sided multi layered (4-4 layers) sample exhibits a better optical filter property compared to single sided multi layered (8 layers) sample. KeyWords: Plasma, TVA, Optical Filter, ZnS, MgF2
Benzer Tezler
- Termiyonik vakum ark (TVA) tekniği ile II-VI grubu bazı yarıiletken bileşiklerin ince filmlerinin üretilmesi ve bazı fiziksel özelliklerinin incelenmesi
Produce of thin films of II-VI group some semiconductor compounds with thermionic vacuum arc (TVA) technique and investigation of some physical properties
MEHMET ÖZKAN
Doktora
Türkçe
2010
Fizik ve Fizik MühendisliğiEskişehir Osmangazi ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. NACİ EKEM
- Termiyonik vakum Ark(TVA) tekniği kullanarak bor karbür(B4C) ince filmlerin oluşturulması ve bazı fiziksel özelliklerinin incelenmesi
Boron carbide(B4C) thin films produced and investigation of some physical properties by using thermionic vacuum Arc(TVA) technique
ÖZGÜN AĞAR
Yüksek Lisans
Türkçe
2017
Fizik ve Fizik MühendisliğiAfyon Kocatepe ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. MEHMET ÖZKAN
- Özel bir termiyonik vakum ark (TVA) tekniği kullanılarak organik gözlük camlarının çeşitli kaplamalarının yapılması ve bazı fiziksel özelliklerinin incelenmesi
Deposition of organic lenses with a special thermionic vacuum arc (TVA) technique and investigation of physical properties
MURAT ÖZMUMCU
Yüksek Lisans
Türkçe
2011
Fizik ve Fizik MühendisliğiEskişehir Osmangazi ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. NACİ EKEM
- ITO, IZO ve AZO ince filmlerinin bazı fiziksel özelliklerinin incelenmesi
Investigation of some physical properties of ITO, IZO and AZO thin films
SALİHA ELMAS
Doktora
Türkçe
2013
Fizik ve Fizik MühendisliğiEskişehir Osmangazi ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. ŞADAN KORKMAZ
- Termiyonik vakum ark (TVA) tekniği ile üretilen In, Si, Ge, B ve Cr katkılı ZnO ince filmlerin bazı özellikleri
Investigation of some properties of the prepared In, Si, Ge, B and Cr Doped ZnO thin films using thermionic vacuum arc technique (TVA)
REZA MOHAMMADIGHAREHBAGH
Yüksek Lisans
Türkçe
2018
Fizik ve Fizik MühendisliğiEskişehir Osmangazi ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. SUAT PAT