Spray pyrolysis yöntemi ile elde edilen farklı antimon katkılı SnO2 ve SnO2:Sb(ATO) ince filmlerinin bazı fiziksel özelliklerinin araştırılması
Invesigation of some properties of different antimony doped SnO2 and SnO2:Sb(ATO) thin films deposited by spray pyrolysis technique
- Tez No: 361206
- Danışmanlar: PROF. DR. BAHATTİN DÜZGÜN, PROF. DR. MEHMET ERTUĞRUL
- Tez Türü: Doktora
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2014
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Atatürk Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Katıhal Fiziği Bilim Dalı
- Sayfa Sayısı: 177
Özet
Bu çalışmada, Sb katkılı SnO2 ince filmleri 520°C altlık sıcaklığındaki cam altlıklar üzerine spray pyrolysis yöntemi ile büyütülmüştür. Spray pyrolysis ile büyütülen SnO2:Sb ince filmlerin yapısal, morfolojik, elektriksel ve optik özelliklerine, Sb katkı konsantrasyonunun etkisi araştırılmıştır. Bu amaçla, elde edilen filmlerin X-ışını kırınım (XRD) analizleri ile kristal yapıları, tane büyüklükleri araştırılmış, XRD analizlerinden tüm filmlerin polikristal ve tetragonal yapıda oldukları belirlenmiştir. Taramalı elektron mikroskobu (SEM) ve Atomik kuvvet mikroskobu (AFM) ile film yüzeyleri üzerinde oluşan tanelerin şekilleri, büyüklükleri ve yüzeye dağılımları incelenmiştir. Hall ölçümleri ile filmlerin özdirenç, iletkenlik, yüzey direnci, taşıyıcı konsantrasyonu ve mobilite değerleri bulunmuştur. UV-VIS spektrofotometresi ile alınan optik geçirgenlik analizlerinden filmlerin görünür ve mor ötesi bölgede geçirgenlikleri, optik bant aralıkları gibi optik özellikleri araştırılmıştır. Bu analizler sonucunda Sb katkılamanın filmlerin yapısal, morfolojik, elektriksel ve optiksel özelliklerine büyük oranda etki ettiği sonucuna ulaşılmıştır. Son olarak elde edilen deneysel bulgular, literatürde yapılan diğer deneysel ve teorik veriler ile karşılaştırılarak benzerlik ve farklılıklar tartışılmıştır.
Özet (Çeviri)
In this study, Sb doped SnO2 thin films were deposited on glass substrates at 520°C by spray pyrolysis. The influence of Sb doping concentration on structural, morphological, electrical and optical properties of SnO2:Sb thin films deposited by spray pyrolysis was investigated. For this purpose, crystal sutructure, grain sizes of the films were investigated by X-ray diffraction (XRD) analysis and according to XRD analysis, all the films had polycrystalline and the tetragonal structure. The shapes, sizes and distributions of the grains formed on the surfaces of the films were investigated by Scanning electron microscopy (SEM) and atomic force microscope (AFM). Resistivity, conductivity, sheet resistivity, carrier concentration and mobility values of the films were examined by Hall measurements. Optical properties of the films such as transmittance at visible and ultraviolet region, optical band gap were examined by UV-VIS spectrophotometer. As a result of these analysis, Sb doping has major effect on the structural, morphological, electrical and optical properties of the films. Finally, the experimental findings obtained by comparing the similarities and differences with other experimental and theoretical data in the literature were discussed.
Benzer Tezler
- Spray pyrolysis yöntemi ile elde edilen CdZnS yarı iletken bileşiğinin bazı fiziksel özellikleri
Some of the physical properties of CdZnS semiconductor compounds produced by the spray pyrolysis method
YASEMİN SEZGİN
Yüksek Lisans
Türkçe
2002
Fizik ve Fizik MühendisliğiAnadolu ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. A. ŞENOL AYBEK
- Spray pyrolysis yöntemi ile elde edilen In katkılı CdZnS filmlerinin özellikleri
The Proporties of In doped CdZnS films produced by the spray pyrolysis method
SALİHA ILICAN
Doktora
Türkçe
2001
Fizik ve Fizik MühendisliğiAnadolu ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF.DR. MUHSİN ZOR
- Ultrasonik spray-pyrolysis yöntemi ile elde edilen Cd1-xSnxS filmlerinin bazı fiziksel özelliklerinin incelenmesi
Investigation of some physical properties of Cd1-xSnxS films produced by ultrasonic spray-pyrolysis method
MEHMET PEKER
Doktora
Türkçe
2000
Fizik ve Fizik MühendisliğiEskişehir Osmangazi ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. M. SELAMİ KILIÇKAYA
- Metal ve yarıiletken numunelerin AEX; XPS ve SEM ile incelenmesi
AEX, XPS and SEM studies of metal and semiconductor samples
FATİH SAĞDIÇ
Yüksek Lisans
Türkçe
1997
Fizik ve Fizik MühendisliğiEskişehir Osmangazi ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
YRD. DOÇ. DR. M. CELALETTİN BAYKUL
- Spray pyrolysıs yöntemi ile farklı altlık sıcaklığında elde edilen SnO2 ve SnO2:F ince filmlerin bazı fiziksel özelliklerine, altlık sıcaklığının etkisinin araştırılması
The investigation of substrate temperature' s effect on some physical properties of SnO2 and SnO2:F thin films deposited at the different substrate temperature by spray pyrolysis technique
DEMET TATAR
Doktora
Türkçe
2015
Fizik ve Fizik MühendisliğiAtatürk ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. BAHATTİN DÜZGÜN
PROF. DR. MEHMET ERTUĞRUL