Design and realization of ald grown AL2O3 waveguides for applications in silicon based photonics
Silikon tabanlı fotonik uygulamalarında ald ile büyütülmüş AL2O3 dalga kılavuzlarının tasarım ve gerçeklemesi
- Tez No: 371933
- Danışmanlar: DOÇ. DR. FERİDUN AY
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2014
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Anadolu Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 118
Özet
Bu tezde silisyum tabanlı fotonik uygulamalarında Atomik Katman Kaplama (AKK-ALD) ile büyütülmüş Al2O3 dalga kılavuzlarının tasarım ve gerçeklemesi ele alınmıştır. Al2O3 büyütme işlemi ALD kullanılarak yapılmıştır. Farklı büyütme koşulları incelenerek aktif ve pasif dalga kılavuzlarının silikon temelli fotonik uygulamalarındaki en uygun büyütme koşulları belirlenmiştir. Büyütülen örneklerin ellipsometre ile kalınlıkları ve kırılma indisleri ölçülmüştür. X-ışını Kırınımı (XRD) yöntemi kullanılarak amorf yapıya sahip olduğu ortaya konulmuştur. Buna ek olarak, Mikro-Raman Spektroskopisi ve Fourier Dönüşüm Kızılötesi Spektroskopisi (FTIR) kullanılarak katmanlar içerisindeki maddelerin ve bağ yapıları belirlenmiştir. X-ışını Fotoelektron Spektroskopisi (XPS) kullanılarak yapı içerisinde yer alan elementlerin yüzde oranlarını belirlenmiştir. Karakterizasyon işlemlerinden sonra, polarizasyondan bağımsız tek modu destekleyen Al2O3 temelli çatı tip optik dalga kılavuzunun tasarım işlemi yapılmıştır. Son olarak, Al2O3 temelli düzlemsel dalga kılavuzu kullanarak optik kayıplar hakkında bir fikir edinilmiştir.
Özet (Çeviri)
In this thesis, design and realization of Atomic Layer Deposition (ALD) grown Al2O3 waveguides application in silicon based photonics has been considered. Al2O3 was grown using ALD technique. Different samples were grown using different growth recipes and optimal growth parameters were determined for active and passive optical waveguides. Ellipsometer was used to determine of sample thicknesses and refractive index. X-ray Diffraction (XRD) was used in order to confirm the amorphous structure of the grown samples. Moreover, complementary approach to determine the bond structures in the layers was implemented using both Micro-Raman and Fourier Transform Infrared Spectroscopy (FTIR). X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS) was used to determine the percentages of constituting elements in the Al2O3 layers. After the characterization process, ridge type single mode polarization independent optical waveguides were designed using beam propagation method. Finally, Al2O3-based planar waveguide was realized and optical propagation had been demonstrated.
Benzer Tezler
- Design and realization of a 0.5-5 GHz cascaded feedback amplifier
0.5-5 GHz ardışık bağlı geribeslemeli yükselteç tasarımı ve gerçeklenmesi
İBRAHİM CEM KORKMAZ
Yüksek Lisans
İngilizce
2015
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiElektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. SEYİT SENCER KOÇ
- Faz dizili uygulamaları için 2-18 GHz vektör modülatör tasarımı ve gerçeklenmesi
Design and realization of a 2-18 GHz vector modulator for phased array applications
AHMET HASTÜRK
Doktora
Türkçe
2024
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiGazi ÜniversitesiElektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. NURSEL AKÇAM
- Mikrodenetleyici tabanli e-test strip uygulamasi cihazi tasarimi ve gerçekleştirilmesi
Design and realization of a microcontroller based e-test strip application device
BAHAR ÇELİK
Yüksek Lisans
Türkçe
2009
Bilgisayar Mühendisliği Bilimleri-Bilgisayar ve KontrolGazi ÜniversitesiElektronik-Bilgisayar Eğitimi Ana Bilim Dalı
PROF. DR. NİHAL FATMA GÜLER
PROF. DR. İNAN GÜLER
- Design and realization of modulation transfer function measurement system with an off-axis parabolic mirror collimator and slanted edge method
Eksen dışı parabolik aynalı kolimatör ve eğik kenar yöntemiyle modülasyon aktarım fonksiyonu ölçüm sisteminin tasarımı ve gerçekleştirilmesi
YİĞİT CAN ACAR
Yüksek Lisans
Türkçe
2025
Fizik ve Fizik MühendisliğiAnkara ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ŞENGÜL KURU
DR. ÖĞR. ÜYESİ ÖZGÜR SELİMOĞLU
- Elektrikli araçlarda kullanılan tekerlek içi fırçasız doğru akım motoru için sürücü tasarımı ve gerçekleştirilmesi
Design and realization of a driver for in-wheel brushless direct current motor used in electric vehicles
KADİR EKER
Yüksek Lisans
Türkçe
2025
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiKastamonu ÜniversitesiElektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DR. ÖĞR. ÜYESİ YÜCEL ÇETİNCEVİZ