Design and realization of ald grown AL2O3 waveguides for applications in silicon based photonics
Silikon tabanlı fotonik uygulamalarında ald ile büyütülmüş AL2O3 dalga kılavuzlarının tasarım ve gerçeklemesi
- Tez No: 371933
- Danışmanlar: DOÇ. DR. FERİDUN AY
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2014
- Dil: İngilizce
- Üniversite: Anadolu Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 118
Özet
Bu tezde silisyum tabanlı fotonik uygulamalarında Atomik Katman Kaplama (AKK-ALD) ile büyütülmüş Al2O3 dalga kılavuzlarının tasarım ve gerçeklemesi ele alınmıştır. Al2O3 büyütme işlemi ALD kullanılarak yapılmıştır. Farklı büyütme koşulları incelenerek aktif ve pasif dalga kılavuzlarının silikon temelli fotonik uygulamalarındaki en uygun büyütme koşulları belirlenmiştir. Büyütülen örneklerin ellipsometre ile kalınlıkları ve kırılma indisleri ölçülmüştür. X-ışını Kırınımı (XRD) yöntemi kullanılarak amorf yapıya sahip olduğu ortaya konulmuştur. Buna ek olarak, Mikro-Raman Spektroskopisi ve Fourier Dönüşüm Kızılötesi Spektroskopisi (FTIR) kullanılarak katmanlar içerisindeki maddelerin ve bağ yapıları belirlenmiştir. X-ışını Fotoelektron Spektroskopisi (XPS) kullanılarak yapı içerisinde yer alan elementlerin yüzde oranlarını belirlenmiştir. Karakterizasyon işlemlerinden sonra, polarizasyondan bağımsız tek modu destekleyen Al2O3 temelli çatı tip optik dalga kılavuzunun tasarım işlemi yapılmıştır. Son olarak, Al2O3 temelli düzlemsel dalga kılavuzu kullanarak optik kayıplar hakkında bir fikir edinilmiştir.
Özet (Çeviri)
In this thesis, design and realization of Atomic Layer Deposition (ALD) grown Al2O3 waveguides application in silicon based photonics has been considered. Al2O3 was grown using ALD technique. Different samples were grown using different growth recipes and optimal growth parameters were determined for active and passive optical waveguides. Ellipsometer was used to determine of sample thicknesses and refractive index. X-ray Diffraction (XRD) was used in order to confirm the amorphous structure of the grown samples. Moreover, complementary approach to determine the bond structures in the layers was implemented using both Micro-Raman and Fourier Transform Infrared Spectroscopy (FTIR). X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS) was used to determine the percentages of constituting elements in the Al2O3 layers. After the characterization process, ridge type single mode polarization independent optical waveguides were designed using beam propagation method. Finally, Al2O3-based planar waveguide was realized and optical propagation had been demonstrated.
Benzer Tezler
- Design and realization of a microcontroller-controlled line over current protection relay
Mikrodenetleyici kullanarak hat aşırı akım rölesi tasarımı ve gerçekleştirilmesi
ENGİN ÖZTÜRK
Yüksek Lisans
İngilizce
1998
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiElektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. NEVZAT ÖZAY
- Uzaktan erişimli web tabanlı mikrodenetleyici deney seti tasarımı ve gerçekleştirilmesi
Design and realization of a remote access web based microcontroller experiment kit
RECEP GÜNAYDIN
Yüksek Lisans
Türkçe
2014
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiKarabük ÜniversitesiElektronik-Bilgisayar Eğitimi Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. RAİF BAYIR
- Diyabetik ayak takibinde termografi yöntemine dayalı bir sistem tasarımı ve gerçekleştirilmesi
Design and realization of a system based on infrared thermography method to monitor a diabetic foot
HAKAN BOZKURT
Yüksek Lisans
Türkçe
2014
Mekatronik MühendisliğiMarmara ÜniversitesiMekatronik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. BURHANETTİN KORAY TUNÇALP
DOÇ. DR. ALİ ÜMİT KESKİN
- Dron için RF karıştırıcı tasarımı ve gerçekleştirilmesi
Design and realization of jammer for drone
MÜMİN YAŞAR AYAZ
Yüksek Lisans
Türkçe
2021
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiKonya Teknik ÜniversitesiElektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ERCAN YALDIZ
- Mikrodenetleyici tabanlı hasta karyolası kontrol sistemi tasarımı ve gerçekleştirilmesi
Design and realization of microcontroller based control system for patient beds
DOĞAN BABACAN
Yüksek Lisans
Türkçe
2010
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiErciyes ÜniversitesiElektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. KENAN DANIŞMAN