Geri Dön

Electrical and photoelectrical characterization of Au/ZrO2/N-Si MIS contact

Au/ZrO2/N-Si MIS kontağın elektriksel ve fotoelektriksel karakterızasyonu

PDF İndir

  1. Tez No: 413312
  2. Yazar: MASOUD GIYATHADDIN OBAID
  3. Danışmanlar: DOÇ. DR. YUSUF SELİM OCAK
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Yoğun madde fiziği, Condensed matter physics
  7. Yıl: 2015
  8. Dil: İngilizce
  9. Üniversite: Dicle Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: Belirtilmemiş.

Özet

Metal yalıtkan yarıiletken (MIS) kontaklar birçok yarıiletken aygıtların en önemli bileşenlerinden biridir. Günümüzde klasik SiO2 kapı oksiti yerine yüksek dielektrik sabite sahip yalıtkan tabakaların kullanılması çokça çalışılmaktadır. Zirkonya geniş band aralığı (5-8 eV) ve yüksek dielektrik sabiti (ε ≈ 25) ile bu amaç için en önemli adaylardan biridir. Bu çalışmada, Au/ZrO2/n-Si MIS yapısı ZrO2 ince filminin n-Si alttaş üzerinde büyütülmesi ve ince film üzerine Au buharlaştırılması ile oluşturulmuştur. Au/ZrO2/n-Si MIS yapısının elektrik ve fotoelektrik karakterizasyonu oda sıcaklığında karanlıkta ve farklı ışık şiddetinde alınan akım-gerilim (I-V) ölçümleri ile belirlenmiştir. Ayrıca, Au/ZrO2/n-Si MIS yapısının kapasite-gerilim (C-V) karakteristiği incelenmiş ve her iki yöntem ile elde edilen engel yüksekliği değerleri karşılaştırılmıştır.

Özet (Çeviri)

Metal insulator semiconductor (MIS) contacts are key components for many semiconductor devices. The usage of high dielectric constant (high-) insulator layers instead of conventional SiO2 gate oxide is currently widely studied. Zirconia with very large band gap (5-8 eV) and high dielectric constant (ε ≈ 25) is one of the most important candidates for this purpose. In this study, Au/ZrO2/n-Si MIS structure was fabricated by deposition of ZrO2 thin film onto n-Si substrate and evaporating the Au metal onto thin film. Electrical and photoelectrical characteristics of Au/ZrO2/n-Si MIS structure were analyzed using its current-voltage (I-V) measurements at room temperature in dark and under a solar simulator for various illumination intensities. In addition, capacitance-voltage (C-V) characteristics of Au/ZrO2/n-Si MIS structure were studied and the barrier heights obtained from both measurements were compared.

Benzer Tezler

  1. Tez No

    275404

    Organik-inorganik hibrit yapıların elektriksel ve fotoelektriksel karakterizasyonu

    Electrical and photoelectrical characterization of organic-inorganic hybrid devices

    YUSUF SELİM OCAK

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2010

    Fizik ve Fizik MühendisliğiDicle Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. TAHSİN KILIÇOĞLU

  2. Tez No

    335488

    Makrosiklik ligandların geçiş metal kompleksleri ile oluşturulan heteroeklemlerin elektriksel ve optiksel özelliklerinin incelenmesi

    Electrical and optical properties of heterojunction formed by metal complexes of macrocyclic ligands

    CİHAT ÖZAYDIN

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2012

    Fizik ve Fizik MühendisliğiDicle Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. KEMAL AKKILIÇ

  3. Tez No

    639022

    Characterization of Au, Au/GO and Au/rGO surfaces for carotid endothelial cell proliferation by electrical impedance spectroscopy method

    İnsan karotid arter damarı endotel hücrelerinin Au, Au/GO ve Au/rGO yüzeylerinde çoğalmasının elektriksel empedans spektroskopisi ile karakterizasyonu

    FATMA GÜLDEN ŞİMŞEK

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2020

    BiyoteknolojiBoğaziçi Üniversitesi

    Biyomedikal Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. BORA GARİPCAN

    PROF. DR. ALİ YEKTA ÜLGEN

  4. Tez No

    703306

    Vanadyum oksit ince filmlerin optik sensörlerin algılama özelliklerine etkisi

    The effect of vanadium oxide thin films on the detection properties of optical sensors

    ADEM SARAÇ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2021

    Fizik ve Fizik MühendisliğiGazi Üniversitesi

    İleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. SELİM ACAR

  5. Tez No

    549378

    Integration of sol-gel derived doped zinc oxide films and solution-processed metal nanoparticles for thin film photodiode and solar cell applications

    İnce film fotodiyot ve güneş hücresi uygulamaları için sol-jel yöntemiyle elde edilen katkılı çinkoksit filmleri ve çözelti-işlemli metal NP'ların entegrasyonu

    MOHAMED NOURI SBETA

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2019

    Elektrik ve Elektronik MühendisliğiAnkara Yıldırım Beyazıt Üniversitesi

    Elektrik ve Bilgisayar Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. ABDULLAH YILDIZ

Geri Dön