Geri Dön

ZnO tabanlı transparan ince film transistör tasarımı ve üretimi

Design and fabrication of ZnO based transparent thin film transistor

  1. Tez No: 420502
  2. Yazar: ÖZKUR KURAN
  3. Danışmanlar: YRD. DOÇ. DR. İLBEYİ AVCI
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Fizik ve Fizik Mühendisliği, Electrical and Electronics Engineering, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2016
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Ege Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 91

Özet

Bu tez çalışmasında oda sıcaklığında ZnO tabanlı transparan ince film transistörlerin (TTFT) tasarımı ve üretimi gerçekleştirilerek, bu transistörlere ait optik ve elektriksel özellikler incelenmiştir. Üretilen TTFT yapısında kanal yarıiletkeni olarak ZnO, drain-source elektrodu olarak ITO, gate elektrodu olarak AZO ve gate dielektriği olarak ise SiO2 materyalleri kullanılmıştır. Tüm yapıya ait görünür bölgedeki ortalama optik geçirgenlik değeri % 84' tür. Eşik voltajı değeri VT 1.3 V ve alan etkili mobilite (µFE) değeri 8 cm2/V.s, on/off oranı 7x103 olarak hesaplanmış ve elde edilen maksimum ID akımı ise ~125 uA olarak ölçülmüştür. Bu tez çalışmasından elde edilen teorik ve deneysel bilgiler, ileride transparan ve esnek ekranlar için üretilmesi planlanan TFT' lerin altyapısını oluşturmuştur.

Özet (Çeviri)

In this thesis, design and fabrication of room temperature ZnO based transparent thin film transistors (TTFT's) were carried out by investigating optical and electrical properties.In TTFT structure, for channel semiconductor, ZnO; for drain-source electrodes, ITO; for gate electrode AZO and for gate dielectric SiO2 materials were used. The avarage optical transparancy value for the whole structure in the visible region in %84. Threshold voltage and the field effect mobility were calculated as VT 1.3 V, 8 cm2/V.s, respectively. The on/off ratio was calculated as 7x10^3 and the maximum obtained drain current was measured as ~125uA. With the spite of the experimental and theoritical results of this thesis, we have created a significant background in order to fabricate new generation TTFT's for transparent and flexible display applications.

Benzer Tezler

  1. Electrical properties and device applications of atomic layer deposited ZnO and GaN thin films

    Atomik katman kaplama metoduyla büyütülen ZnO ve GaN ince filmlerin elektriksel özellikleri ve aygıt uygulamaları

    SAMİ BOLAT

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2014

    Elektrik ve Elektronik Mühendisliğiİhsan Doğramacı Bilkent Üniversitesi

    Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. ALİ KEMAL OKYAY

  2. ZnO tabanlı katmanlı ince filmlerin hazırlanması ve karakterizasyonu

    Preparation and characterization of ZnO-based layered thin films

    SEVCAN ERCAN

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2023

    Fizik ve Fizik MühendisliğiBurdur Mehmet Akif Ersoy Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. EBRU GÜNGÖR

  3. ZnO tabanlı UV dedektör geliştirilmesi ve prototip üretimi

    Development and production of ZnO-based UV detector prototype

    NİHAN AKIN

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2015

    Fizik ve Fizik MühendisliğiGazi Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. MEHMET ÇAKMAK

  4. CdTe/CdS güneş hücresinin yapısal, optik ve elektriksel özelliklerinin incelenmesi

    Investigation of structural optical and electrical properties of CdTe/CdS solar cell

    HAKKI KAPLAN

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2020

    Fizik ve Fizik MühendisliğiGazi Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. SAİME ŞEBNEM AYDIN

  5. (MgO)x(ZnO)1-x ince filmlerinin üretimi ve karakterizasyonu

    Deposition and characterization of (MgO)x(ZnO)1-x thin films

    SİNAN TEMEL

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2015

    Fizik ve Fizik MühendisliğiEskişehir Osmangazi Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    YRD. DOÇ. DR. DERYA PEKER