Nano ölçekli vanadyum oksit ince filmlere uygulanan ısıl işlemin film yapısına etkisinin karakterizasyonu
Structural characterization of nano-sized vanadium oxide thin films after annealing
- Tez No: 425709
- Danışmanlar: PROF. DR. RAMİS MUSTAFA ÖKSÜZOĞLU
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Metalurji Mühendisliği, Savunma ve Savunma Teknolojileri, Metallurgical Engineering, Defense and Defense Technologies
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2015
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Anadolu Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Malzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 137
Özet
Bu tezde soğutmasız kızıl-ötesi termal dedektör malzemesi olarak kullanılan malzemelerden biri olan vanadyum oksit ince filmlerin yapısal karakterizasyonu incelenmiştir. Vanadyum oksit (VOx), 680 C sıcaklıkta yarı-iletken fazdan iletken faza geçiş(MIT) göstermektedir. Mikro elektronik cihazlarda, sensörlerde, mikroelektromekanik (MEMS) ve optoelektronik aygıtlarda kullanılmaktadır. Vanadyum oksit numuneler 20,100 ve 150 nm kalınlıklarında üretilmiş olup farklı O2/Ar oranlarında , Si ve SiN altlıklar üzerine büyütülmüştür. Büyütme işlemi için vurmalı DC magnetron reaktif sıçratma tekniği kullanılmıştır. Gerekli ısıl işlemler yapılarak malzemenin uygulama için istenilen şartlara göre elektiriksel ve yapısal optimizasyonu sağlanmaya çalışılmıştır. Numunelerin uygulamaya uygun olması için 105-106 Ω direnç aralığında ve 2 %/°C den büyük TCR değerine sahip olmalıdır. Bu tez kapsamında 1 x 106 Ω dirence ve -3,5 %/°C TCR değerine sahip numune üretilebilmiştir ve ısıl işlem yaparak direnci azaltılıp TCR değeri sabit tutulmaya çalışılmıştır. Elektiriksel karakterizasyonu için dört nokta iğne tekniği, yapısal karakterizasyonu için X-Ray difraksiyonu, X-Ray reflektometresi ve Raman spektroskopisi tekniği kullanılmıştır.
Özet (Çeviri)
In this thesis, investigated structural characterisation with infrared uncooled termal detector material vanadium oxide thin films. Vanadium oxide shows semiconductor to metal transition with 680 C. It is used in microelectronic devices, sensors, microelectromechanical systems (MEMS) and optoelectronic systems. Vanadium oxide thin film produced with different thickness 20,100 and 150 nm O2/Ar rates and substrates SiO2 and SiN. Pulse DC magnetron sputtering technique used with sputtering process. Secondary heat treatment proceess used with electrical chracteristic regulation of thin films. Required electrical properties of termal sensors are 105-106 Ω resistance and more than 2 %/°C TCR rate. In this thesis produced one sample have 1 x 106 Ω resistance and -3,5 %/°C TCR rate and try to decrease resistance of thin film used with secondary heat tratment process. Four point probe(FPP) technique used with electrical characterisation,X-ray difraction,X-ray reflectometry and micro Raman spectroscopy techniques used with structural characterisation of thin films.
Benzer Tezler
- Nano ölçekli vanadyum oksit ince filmlerin tavlama süreçlerinin geliştirilmesi ve karakterizasyonu
Development and characterization of annealing processes of nanoscale vanadium oxide thin films
ERCAN ŞENER
Yüksek Lisans
Türkçe
2018
Metalurji MühendisliğiAnadolu ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. RAMİS MUSTAFA ÖKSÜZOĞLU
- Nano ölçekli vanadyum oksit ince film akıllı malzemelerin farklı kalınlıklarda büyütülmesi
Magnification of nanoscale vanadium oxide thin film smart materials at different thicknesses
ULVIYYA GOZALI
Yüksek Lisans
Türkçe
2018
Bilim ve TeknolojiAnadolu Üniversitesiİleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı
PROF. DR. RAMİS MUSTAFA ÖKSÜZOĞLU
- İnvestigation of correlation between 1/f electronic noise and structural properties in nano sized vanadium oxide films
Nano ölçekli vanadyum oksit filmlerde 1/f elektronik gürültü ile yapısal özellikler arasındaki ilişkinin incelenmesi
EMRAH DİRİCAN
Yüksek Lisans
İngilizce
2017
Mühendislik BilimleriAnadolu ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. RAMİS MUSTAFA ÖKSÜZOĞLU
- Nano ölçekli Vanadyum Oksit ince filmlerde elektriksel özelliklerinin ve 1/f gürültüsünün karakterizasyonu
Electrical and 1/f noise caharacterization of nano scale Vanadium Oxide thin films
AHMET MURAT YAĞCI
Yüksek Lisans
Türkçe
2016
Bilim ve TeknolojiAnadolu Üniversitesiİleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı
PROF. DR. RAMİS MUSTAFA ÖKSÜZOĞLU
- Nano ölçekli vanadyum oksit ince filmlerin yapısal ve elektriksel karakterizasyonu
Stractural and electrical characterization of nano scale vanadium oxide thin films
OGEDAY ÇAPAR
Yüksek Lisans
Türkçe
2010
Mühendislik BilimleriAnadolu Üniversitesiİleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. R. MUSTAFA ÖKSÜZOĞLU