Geri Dön

Nano ölçekli vanadyum oksit ince film akıllı malzemelerin farklı kalınlıklarda büyütülmesi

Magnification of nanoscale vanadium oxide thin film smart materials at different thicknesses

  1. Tez No: 536811
  2. Yazar: ULVIYYA GOZALI
  3. Danışmanlar: PROF. DR. RAMİS MUSTAFA ÖKSÜZOĞLU
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Bilim ve Teknoloji, Mühendislik Bilimleri, Science and Technology, Engineering Sciences
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2018
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Anadolu Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: İleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Nanoteknoloji Bilim Dalı
  13. Sayfa Sayısı: 50

Özet

Sıcaklık farkıyla yarı iletken fazdan iletken faza geçişe sahip olması ve bilinen birçok dikkat çekici özellikleri nedeniyle Vanadyum Oksit (VOx), farklı uygulamalar için kullanılmaktadır. Ayrıca, yüksek TCR (direncin sıcaklık sabiti) değeri, düşük elektriksel gürültü ve düşük elektriksel direnç (R) gibi değerlere sahip olması nedeniyle Vanadyum Oksit ön plana çıkmaktadır. Bu yüksek lisans tezi kapsamında, vurmalı DC reaktif magnetron sıçratma (P-DC RMS) yöntemi ile Si/SiO2 ve Si/SiO2/Si3N4 alttaşları üzerinde farklı kalınlıklarda büyütülen VOx¬ ince filmlere gaz oranının, alttaş etkisinin ve kalınlığının etkisi incelenmiş, elektriksel ve yapısal özellikleri arasındaki bağlantıya bakılmıştır.

Özet (Çeviri)

Vanadium Oxide (VOx) is used for different applications because of the difference in temperature due to the fact that it has a conductive phase transition from the semiconductor phase and because of its many remarkable properties. In addition, Vanadium Oxide stands out because it has values such as high TCR (resistance temperature constant), low electrical noise and low electrical resistance (R). Within the scope of this master thesis, the effect of subsoil effect and thickness on the SiO2/Si and Si3N4/SiO2/Si substratum grown at different thicknesses on VOx thin films was investigated by percussive DC reactive magnetron sputtering (P-DC RMS) method and its electrical and structural properties were examined.

Benzer Tezler

  1. Nano ölçekli vanadyum oksit ince filmlere uygulanan ısıl işlemin film yapısına etkisinin karakterizasyonu

    Structural characterization of nano-sized vanadium oxide thin films after annealing

    CAN YAVRU

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2015

    Metalurji MühendisliğiAnadolu Üniversitesi

    Malzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. RAMİS MUSTAFA ÖKSÜZOĞLU

  2. İnvestigation of correlation between 1/f electronic noise and structural properties in nano sized vanadium oxide films

    Nano ölçekli vanadyum oksit filmlerde 1/f elektronik gürültü ile yapısal özellikler arasındaki ilişkinin incelenmesi

    EMRAH DİRİCAN

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2017

    Mühendislik BilimleriAnadolu Üniversitesi

    Malzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. RAMİS MUSTAFA ÖKSÜZOĞLU

  3. Tavlama sıcaklığının nano ölçekli vanadyum oksit ince filmlerin optik ve elektriksel özelliklerine etkisinin incelenemesi

    Study of annealing temperature effects on optical and electrical properties of nano sized vanadium oxide thin films

    PINAR BİLGİÇ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2012

    Fizik ve Fizik MühendisliğiAnadolu Üniversitesi

    İleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. RAMİS MUSTAFA ÖKSÜZOĞLU

  4. Nano ölçekli vanadyum oksit ince filmlerin tavlama süreçlerinin geliştirilmesi ve karakterizasyonu

    Development and characterization of annealing processes of nanoscale vanadium oxide thin films

    ERCAN ŞENER

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2018

    Metalurji MühendisliğiAnadolu Üniversitesi

    Malzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. RAMİS MUSTAFA ÖKSÜZOĞLU

  5. Nano ölçekli Vanadyum Oksit ince filmlerde elektriksel özelliklerinin ve 1/f gürültüsünün karakterizasyonu

    Electrical and 1/f noise caharacterization of nano scale Vanadium Oxide thin films

    AHMET MURAT YAĞCI

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2016

    Bilim ve TeknolojiAnadolu Üniversitesi

    İleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. RAMİS MUSTAFA ÖKSÜZOĞLU