Nano ölçekli vanadyum oksit ince film akıllı malzemelerin farklı kalınlıklarda büyütülmesi
Magnification of nanoscale vanadium oxide thin film smart materials at different thicknesses
- Tez No: 536811
- Danışmanlar: PROF. DR. RAMİS MUSTAFA ÖKSÜZOĞLU
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Bilim ve Teknoloji, Mühendislik Bilimleri, Science and Technology, Engineering Sciences
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2018
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Anadolu Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: İleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Nanoteknoloji Bilim Dalı
- Sayfa Sayısı: 50
Özet
Sıcaklık farkıyla yarı iletken fazdan iletken faza geçişe sahip olması ve bilinen birçok dikkat çekici özellikleri nedeniyle Vanadyum Oksit (VOx), farklı uygulamalar için kullanılmaktadır. Ayrıca, yüksek TCR (direncin sıcaklık sabiti) değeri, düşük elektriksel gürültü ve düşük elektriksel direnç (R) gibi değerlere sahip olması nedeniyle Vanadyum Oksit ön plana çıkmaktadır. Bu yüksek lisans tezi kapsamında, vurmalı DC reaktif magnetron sıçratma (P-DC RMS) yöntemi ile Si/SiO2 ve Si/SiO2/Si3N4 alttaşları üzerinde farklı kalınlıklarda büyütülen VOx¬ ince filmlere gaz oranının, alttaş etkisinin ve kalınlığının etkisi incelenmiş, elektriksel ve yapısal özellikleri arasındaki bağlantıya bakılmıştır.
Özet (Çeviri)
Vanadium Oxide (VOx) is used for different applications because of the difference in temperature due to the fact that it has a conductive phase transition from the semiconductor phase and because of its many remarkable properties. In addition, Vanadium Oxide stands out because it has values such as high TCR (resistance temperature constant), low electrical noise and low electrical resistance (R). Within the scope of this master thesis, the effect of subsoil effect and thickness on the SiO2/Si and Si3N4/SiO2/Si substratum grown at different thicknesses on VOx thin films was investigated by percussive DC reactive magnetron sputtering (P-DC RMS) method and its electrical and structural properties were examined.
Benzer Tezler
- Nano ölçekli vanadyum oksit ince filmlere uygulanan ısıl işlemin film yapısına etkisinin karakterizasyonu
Structural characterization of nano-sized vanadium oxide thin films after annealing
CAN YAVRU
Yüksek Lisans
Türkçe
2015
Metalurji MühendisliğiAnadolu ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. RAMİS MUSTAFA ÖKSÜZOĞLU
- İnvestigation of correlation between 1/f electronic noise and structural properties in nano sized vanadium oxide films
Nano ölçekli vanadyum oksit filmlerde 1/f elektronik gürültü ile yapısal özellikler arasındaki ilişkinin incelenmesi
EMRAH DİRİCAN
Yüksek Lisans
İngilizce
2017
Mühendislik BilimleriAnadolu ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. RAMİS MUSTAFA ÖKSÜZOĞLU
- Tavlama sıcaklığının nano ölçekli vanadyum oksit ince filmlerin optik ve elektriksel özelliklerine etkisinin incelenemesi
Study of annealing temperature effects on optical and electrical properties of nano sized vanadium oxide thin films
PINAR BİLGİÇ
Yüksek Lisans
Türkçe
2012
Fizik ve Fizik MühendisliğiAnadolu Üniversitesiİleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. RAMİS MUSTAFA ÖKSÜZOĞLU
- Nano ölçekli vanadyum oksit ince filmlerin tavlama süreçlerinin geliştirilmesi ve karakterizasyonu
Development and characterization of annealing processes of nanoscale vanadium oxide thin films
ERCAN ŞENER
Yüksek Lisans
Türkçe
2018
Metalurji MühendisliğiAnadolu ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. RAMİS MUSTAFA ÖKSÜZOĞLU
- Nano ölçekli Vanadyum Oksit ince filmlerde elektriksel özelliklerinin ve 1/f gürültüsünün karakterizasyonu
Electrical and 1/f noise caharacterization of nano scale Vanadium Oxide thin films
AHMET MURAT YAĞCI
Yüksek Lisans
Türkçe
2016
Bilim ve TeknolojiAnadolu Üniversitesiİleri Teknolojiler Ana Bilim Dalı
PROF. DR. RAMİS MUSTAFA ÖKSÜZOĞLU