Yansıtıcı ve yansıma önleyici optik ince film malzemelerin üretimi analiz ve test süreçleri
The production, analysis and testing processes of reflective & antireflective optical thin film materials
- Tez No: 441812
- Danışmanlar: DOÇ. DR. SEMRAN SAĞLAM
- Tez Türü: Doktora
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2016
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Gazi Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 99
Özet
Bu tez çalışması kapsamında ince film optik kaplamalar üzerine araştırma ve geliştirme faaliyetleri gerçekleştirildi. Yansıtıcı ve yansıtıcı olmayan optik ince filmler fiziksel buhar biriktirme yöntemlerinden püskürtme ve eş odaklı püskürtme sistemleri kullanılarak üretildi. Yansıma önleyici kaplamalar için ince film malzeme olarak silikon nitrat (Si3N4), yansıtıcı kaplamalar için ise altın/krom (Au/Cr) kullanıldı. Farklı altlıklar üzerinde oluşturulan bu ince filmlerin doğasına ve işlevselliğine ışık tutabilmek için, X-ışını kırınım yöntemi ile yapısal analizler; foto lüminesans, kızılötesi ve mor ötesi-görünür bölge spektroskopileri ile optik analizler; atomik kuvvet mikroskobu ile morfolojik analizler yapıldı. Üretilen Au/Cr ince filmleri, alternatif kullanıma uygunluğunun değerlendirilebilmesi için termal dayanım testine tabii tutuldu. Farklı üretim süreçleri, üretim sonrası ısıl işlemler ve bu süreçlerin malzeme üzerindeki etkileri, analiz ve test sonuçları üzerinden detaylı olarak tartışıldı. Geliştirilen Si3N4 filminin fotovoltaik hücreler için yansıma önleyici katman olarak kullanılabileceği; Au/Cr filmlerinin ise uzay araçlarındaki sensörleri uzay çevresel şartlarından koruyucu optik kaplama ve ısıl kalkan olarak kullanımının uygun olduğu değerlendirildi.
Özet (Çeviri)
This thesis deals with a development study into thin film optical coatings. Reflective and antireflective optical thin films were produced using sputtering and co-sputtering, which are two methods of physical vapor deposition. Silicon nitride (Si3N4) was used as thin film material for the antireflective coating; gold (Au) was used as thin film material for the reflective coating. To shed light on the nature and functionality of thin films coated onto a different substrate, the structure analysis of the films was performed by X-ray diffraction method, the optical analysis of the films was performed by photoluminescence, infrared and ultraviolet-visible range spectroscopy, the morphological analysis of the films was performed by atomic force microscope. Au/Cr thin films were tested for thermal resistance to find out the conformity of alternative applications. The analyses, test results, different production processes, thermal treatment before the production, and the effect of this process on materials were extensively discussed. It is evaluated that the developed Si3N4 film can be used as anti-reflection layer for photovoltaic cells and Au / Cr films are suitable for use as a protective optical coating in the spacecraft sensors for space environmental conditions. In addition, their use as thermal shield is evaluated.
Benzer Tezler
- Polisilisyum tabaka üzerine fotolitografi yöntemi 0,3 mikron şekillendirme prosesinin optimizasyonu
Optimization of 0,3 µm photolithography process parameters over polysilicon layer
ZELİHA ÖZDOĞAN
Yüksek Lisans
Türkçe
2014
Mühendislik Bilimleriİstanbul Teknik ÜniversitesiMalzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HÜSNÜ ATAKÜL
- Integration of silica aerogel film as rear reflector to silicon solar cells and anti-reflective coating to solar panels
Silika aerojel filmin arka yansıtıcı olarak silisyum güneş hücrelerine ve yansıma önleyici kaplama olarak güneş panellerine entegrasyonu
DAMLA KOÇAK
Doktora
İngilizce
2023
Fizik ve Fizik MühendisliğiOrta Doğu Teknik ÜniversitesiMikro ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. SELÇUK YERCİ
PROF. DR. HÜSNÜ EMRAH ÜNALAN
- Anti-reflective and optical transparent coatings for thin filmsolar cells and glasses
İnce film güneş hücreleri ve camlar için yansıtmasız ve optik geçirgen kaplamalar
SHUKRULLO KAMOLOV
Yüksek Lisans
İngilizce
2020
Enerjiİzmir Yüksek Teknoloji EnstitüsüEnerji Sistemleri Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. LÜTFİ ÖZYÜZER
- Silisyum nanotellerin ALD yöntemi kullanılarak AZO kaplanması ve karakterizesi
AZO coating and characterization of silicon nanowires using ALD method
İSMAİL KUPA
Yüksek Lisans
Türkçe
2020
Metalurji MühendisliğiGazi ÜniversitesiMetalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HAKAN ATEŞ
- Yer gözlem uydularında yansıtıcı ve yansıma engelleyici optik kaplamalar
Reflective and anti-reflective optical coatings for earth observation satellites
NURCAN YANARCAN DOĞAN
Yüksek Lisans
Türkçe
2010
Fizik ve Fizik MühendisliğiAnkara ÜniversitesiFizik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
DOÇ. DR. AKİF ESENDEMİR
PROF. DR. AYHAN ELMALI