Geri Dön

Medikal uygulamalar için reaktif püskürtme yöntemi ile titanyum nitrür (TiN) ve titanyum oksinitrür (TiNxOy) ince filmlerin üretilmesi ve karakterizasyonu

Production and characterization of titanium nitride (TiN) and titanium oxynitride (TiNxOy) thin films by reactive sputtering method for medical applications

PDF İndir

  1. Tez No: 493664
  2. Yazar: YELİZ ÖZKÖK
  3. Danışmanlar: PROF. DR. MEHMET ÇAKMAK
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2017
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Gazi Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 73

Özet

Günümüzde TiN ve diğer bileşimlerinden oluşan ince filmler, farklı yüzeylere tutunma ve mekanik dayanımları sayesinde, havacılık ve uzay sanayisinde, biyouyumlulukları ile sağlık alanında yaygın olarak kullanılmaktadır. Özellikle ortopedik protez, diş implantları, kalp kapakçığı gibi medikal uygulamalarda TiN malzemeler dikkat çekmektedir. Bu tezde, p-tipi Si alttaş üzerine farklı argon/azot (Ar/N2) plazma gazı oranlarında (90/10, 80/20, 70/30) reaktif püskürtme yöntemi ile TiN ve TiNxOy ince filmler oluşturuldu. Her bir numune kaplama sonrasında 450 ve 550 oC'de ısıl işleme tabi tutuldu. Elde edilen filmlerin yapısal, elektriksel ve morfolojik analizleri sırasıyla, X-ışınları difraksiyonu (XRD), Hall etkisi ve atomik kuvvet mikroskobu (AFM) ölçüm sistemleri ile incelendi. Ayrıca, incelenen numunelerdeki Titanyum (Ti), Azot (N), Oksijen (O), Silisyum (Si) atomik türlerinin dağılımı ikincil iyon kütle spektrometresi (SIMS) derinlik profili ile gözlendi.

Özet (Çeviri)

Nowadays, thin films made of TiN and other compounds are widely used both in aviation and space industry and in health field due to their adhesion to different surfaces, their mechanical strength and biocompatibility. Especially, TiN materials get attention in medical applications such as orthopedic prosthesis, dental implants, and heart valve. In this study, TiN and TiNxOy thin films were realized on p-type Si substrate at different argon/nitrogen (Ar/N2) plasma gas ratios (90/10, 80/20, 70/30) by reactive sputtering method. Each of all sample was annealed at the temperature of 450 and 550 °C after coating process. Structural, electrical and morphological analyzes of the obtained films were examined by X-ray diffraction (XRD), Hall effect and atomic force microscopy (AFM) measurement systems, respectively. In addition, the distribution of Titanium (Ti), Nitrogen (N), Oxygen (O), Silicon (Si) atomic species in the considered samples was observed with a secondary ion mass spectrometry (SIMS) depth profile.

Benzer Tezler

  1. Tez No

    361014

    Evaluation of light and concentration dose on cell viability at photodynamic therapy in vitro

    Hücre canlılığı üzerinde ışık ve konsantrasyon dozunun fotodinamik terapide in vitro olarak değerlendirilmesi

    NURAY AYSAN

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2014

    BiyomühendislikBoğaziçi Üniversitesi

    Biyomedikal Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. MURAT GÜLSOY

  2. Tez No

    350673

    Coating of polyurethane ureteral stents with poly(Vinyl Pyrrolidone) by plasma and chemical methods

    Poliüretan ureter stentlerin yüzeyinin plazma ve kimyasal yöntemler kullanılarak poli(Vinil Pirrolidon) ile kaplanması

    ŞEYDA DİDEM YILDIRIM

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2013

    Polimer Bilim ve Teknolojisiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Polimer Bilim ve Teknolojisi Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. FATMA SENİHA GÜNER

  3. Tez No

    886487

    Facile modification of propiolated castor oil via thiol-yne click reaction

    Propiyolatlanmış hint yağının tiyol-in klik reaksiyonu ile kolay modifikasyonu

    DAMLA KALAYCI

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2024

    Kimyaİstanbul Teknik Üniversitesi

    Kimya Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. HAKAN DURMAZ

  4. Tez No

    485266

    Synthesis and characterization of one-side polypyrrole coated conductive and flexible polyurethane films

    Tek yüzeyi polipirol kaplı iletken ve esnek poliüretan filmlerin sentez ve karakterizasyonu

    MELİS KARAKUŞ

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2017

    Polimer Bilim ve Teknolojisiİstanbul Teknik Üniversitesi

    Polimer Bilim ve Teknolojisi Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. BELKIZ USTAMEHMETOĞLU

  5. Tez No

    157001

    Farklı basınç değerlerinde uygulanan hiperbarik oksijen tedavisinin plazma ve eritrosit düzeyinde oksidatif stres ve antioksidan status üzerine etkileri

    Başlık çevirisi yok

    ŞEFİKA KÖRPINAR

    Tıpta Uzmanlık

    Türkçe

    Türkçe

    2004

    Deniz ve Sualtı Hekimliğiİstanbul Üniversitesi

    Sualtı Hekimliği ve Hiperbarik Tıp Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. MAİDE ÇİMŞİT

Geri Dön