Medikal uygulamalar için reaktif püskürtme yöntemi ile titanyum nitrür (TiN) ve titanyum oksinitrür (TiNxOy) ince filmlerin üretilmesi ve karakterizasyonu
Production and characterization of titanium nitride (TiN) and titanium oxynitride (TiNxOy) thin films by reactive sputtering method for medical applications
- Tez No: 493664
- Danışmanlar: PROF. DR. MEHMET ÇAKMAK
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2017
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Gazi Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 73
Özet
Günümüzde TiN ve diğer bileşimlerinden oluşan ince filmler, farklı yüzeylere tutunma ve mekanik dayanımları sayesinde, havacılık ve uzay sanayisinde, biyouyumlulukları ile sağlık alanında yaygın olarak kullanılmaktadır. Özellikle ortopedik protez, diş implantları, kalp kapakçığı gibi medikal uygulamalarda TiN malzemeler dikkat çekmektedir. Bu tezde, p-tipi Si alttaş üzerine farklı argon/azot (Ar/N2) plazma gazı oranlarında (90/10, 80/20, 70/30) reaktif püskürtme yöntemi ile TiN ve TiNxOy ince filmler oluşturuldu. Her bir numune kaplama sonrasında 450 ve 550 oC'de ısıl işleme tabi tutuldu. Elde edilen filmlerin yapısal, elektriksel ve morfolojik analizleri sırasıyla, X-ışınları difraksiyonu (XRD), Hall etkisi ve atomik kuvvet mikroskobu (AFM) ölçüm sistemleri ile incelendi. Ayrıca, incelenen numunelerdeki Titanyum (Ti), Azot (N), Oksijen (O), Silisyum (Si) atomik türlerinin dağılımı ikincil iyon kütle spektrometresi (SIMS) derinlik profili ile gözlendi.
Özet (Çeviri)
Nowadays, thin films made of TiN and other compounds are widely used both in aviation and space industry and in health field due to their adhesion to different surfaces, their mechanical strength and biocompatibility. Especially, TiN materials get attention in medical applications such as orthopedic prosthesis, dental implants, and heart valve. In this study, TiN and TiNxOy thin films were realized on p-type Si substrate at different argon/nitrogen (Ar/N2) plasma gas ratios (90/10, 80/20, 70/30) by reactive sputtering method. Each of all sample was annealed at the temperature of 450 and 550 °C after coating process. Structural, electrical and morphological analyzes of the obtained films were examined by X-ray diffraction (XRD), Hall effect and atomic force microscopy (AFM) measurement systems, respectively. In addition, the distribution of Titanium (Ti), Nitrogen (N), Oxygen (O), Silicon (Si) atomic species in the considered samples was observed with a secondary ion mass spectrometry (SIMS) depth profile.
Benzer Tezler
- Evaluation of light and concentration dose on cell viability at photodynamic therapy in vitro
Hücre canlılığı üzerinde ışık ve konsantrasyon dozunun fotodinamik terapide in vitro olarak değerlendirilmesi
NURAY AYSAN
Yüksek Lisans
İngilizce
2014
BiyomühendislikBoğaziçi ÜniversitesiBiyomedikal Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. MURAT GÜLSOY
- Coating of polyurethane ureteral stents with poly(Vinyl Pyrrolidone) by plasma and chemical methods
Poliüretan ureter stentlerin yüzeyinin plazma ve kimyasal yöntemler kullanılarak poli(Vinil Pirrolidon) ile kaplanması
ŞEYDA DİDEM YILDIRIM
Yüksek Lisans
İngilizce
2013
Polimer Bilim ve Teknolojisiİstanbul Teknik ÜniversitesiPolimer Bilim ve Teknolojisi Ana Bilim Dalı
PROF. DR. FATMA SENİHA GÜNER
- Facile modification of propiolated castor oil via thiol-yne click reaction
Propiyolatlanmış hint yağının tiyol-in klik reaksiyonu ile kolay modifikasyonu
DAMLA KALAYCI
Yüksek Lisans
İngilizce
2024
Kimyaİstanbul Teknik ÜniversitesiKimya Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HAKAN DURMAZ
- Synthesis and characterization of one-side polypyrrole coated conductive and flexible polyurethane films
Tek yüzeyi polipirol kaplı iletken ve esnek poliüretan filmlerin sentez ve karakterizasyonu
MELİS KARAKUŞ
Yüksek Lisans
İngilizce
2017
Polimer Bilim ve Teknolojisiİstanbul Teknik ÜniversitesiPolimer Bilim ve Teknolojisi Ana Bilim Dalı
PROF. DR. BELKIZ USTAMEHMETOĞLU
- Farklı basınç değerlerinde uygulanan hiperbarik oksijen tedavisinin plazma ve eritrosit düzeyinde oksidatif stres ve antioksidan status üzerine etkileri
Başlık çevirisi yok
ŞEFİKA KÖRPINAR
Tıpta Uzmanlık
Türkçe
2004
Deniz ve Sualtı Hekimliğiİstanbul ÜniversitesiSualtı Hekimliği ve Hiperbarik Tıp Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MAİDE ÇİMŞİT