Geri Dön

Silisyum nanoyapı tabanlı gaz sensörü üretimi ve karakterizasyonu

Formation of silicon nanostructure based metal oxide gas sensors

PDF İndir

  1. Tez No: 503009
  2. Yazar: NİLÜFER USLU UZUN
  3. Danışmanlar: DOÇ. DR. YUSUF SELİM OCAK
  4. Tez Türü: Doktora
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Silisyum nanotel, gaz sensörü, metal oksit, atomik katman biriktirme, Silicon nanowire, gas sensor, metal oxide, atomic layer deposition
  7. Yıl: 2017
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Dicle Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 152

Özet

Bu tez çalışmasında Silisyum nanoteller Metal Yardımlı Kimyasal Aşındırma yöntemi kullanılarak elde edilmiştir. Aşındırma işleminin ardından termal ALD kullanılarak ZnO ince filmleri Si alttaş yüzeyi üzerine biriktirilmiş ve yapının gaz sensörü özellikleri incelenmiştir. Bu amaçla Si alttaş 0.02 M AgNO3 çözeltisi içine 5, 10, 30 ve 60 dakika aşındırma süreleriyle daldırılmıştır. SEM görüntüleri kullanılarak aşındırma süresi ile nanotelin uzunluğu arasında lineer bir ilişki olduğu belirlenmiştir. Farklı aşındırma sürelerinde farklı uzunlukları olan nanoteller elde edilmiştir. Yaklaşık 24 nm kalınlığında ZnO ince filmleri 200 ALD döngüsü kullanılarak biriktirilmiştir. İnce filmler biriktirildikten sonra ALD ve XRD grafikleri tekrardan görüntülenip incelenmiştir. Yapının özellikleri belirlenip değerlendirildikten sonra termal buharlaştırma cihazı kullanılarak maske yardımıyla Si nanotellerden oluşan yapı üzerine Al buharlaştırılarak nokta kontaklar elde edilmiştir. Gaz sensörü ölçümleri için elde edilen bu nokta kontaklar sonucu ölçümler gerçekleştirilmiştir. Sonuç olarak üretilen bu yapının yüksek yüzey alanına sahip olmasından ötürü gaz sensörü özelliği sergilediği bulgusu elde edilmiştir.

Özet (Çeviri)

In this work, Silicon nanowires were fabricated using metal assisted chemical etching method. After etching process ZnO thin films were deposited onto Si substrate via ALD and gas sensor properties of this structure were characterized. For this purpose Si substrates were deep into the 0.02 M AgNO3 solution and were kept in this solution for 5, 10, 30 and 60 minutes durations. The linear relation between etching duration and length of nanowire were determined by using SEM images. We determined Si nanowire structures with different length. 24 nm ZnO thin films were deposited onto Si nanowire structures 200 cycle by using ALD. SEM images and XRD graphics were examined after thin film deposited. After we were determined properties of structure, by using thermal evaporating device Al evaporated onto this structure via hole mask. For the measurements of gas sensor properties we were obtained point contact. As a result manufactured structure has a gas sensing properties because of its large surface volume ratio.

Benzer Tezler

  1. Tez No

    896593

    Gözenekli ve içi boş nanoyapı formunda SİO2 tabanlı sinerjistik terapi ajanlarının geliştirilmesi ve in-vitro terapi performanslarının belirlenmesi

    Development of SİO2 based synergistic therapy agents in the form of porous and hollow nanostructures and determination of their in-vitro therapy performance

    İLAYDA COŞAR

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2024

    Kimya MühendisliğiHacettepe Üniversitesi

    Kimya Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. SÜLEYMAN ALİ TUNCEL

    DOÇ. DR. FATOŞ ÇİĞDEM KİP

  2. Tez No

    152602

    Nanokristal yapılı silisyumlarda sıcaklığa ve lazer gücüne bağlı fotoışıma

    Temperature and laser power dependence of photoluminescence in nanocrystalline silicone

    İBRAHİM İNANÇ

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2004

    Fizik ve Fizik MühendisliğiBoğaziçi Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    DOÇ.DR. ALİ SERPENGÜZEL

    PROF. GÜLEN AKTAŞ

  3. Tez No

    384951

    Multi-scale self-assembly of silicon quantum dots into an anisotropic three-dimensional random network

    Çoklu ölçekte kendiliğinden oluşan üç boyutlu eşyösüz rastgele silisyum kuvantum nokta ağı

    SERİM KAYACAN İLDAY

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2014

    Fizik ve Fizik MühendisliğiOrta Doğu Teknik Üniversitesi

    Mikro ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. RAŞİT TURAN

    DOÇ. DR. HÜSNÜ EMRAH ÜNALAN

  4. Tez No

    430028

    Metalik nanopartiküllerin sabitleştirilmesi için polimer fırça kaplı fonksiyonel yüzeylerin üretilmesi ve karakterizasyonu

    Fabrication and characterization of functional surfaces coated with polymer brushes for immobilization of metallic nanoparticles

    HATİCE YILMAZ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2016

    Mühendislik BilimleriErciyes Üniversitesi

    Malzeme Bilimi ve Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. MUSTAFA SERDAR ÖNSES

  5. Tez No

    282876

    Optical and morphological investigation of chemical etched silicon for uniform photoluminescence

    Düzgün fotolüminesans için kimyasal aşındırılmış silisyumun optiksel ve morfolojik olarak incelenmesi

    ALİ KARATUTLU

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2010

    Fizik ve Fizik MühendisliğiFatih Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. BAYRAM ÜNAL

Geri Dön