Geri Dön

AIN tampon tabakaların kalıntı gerilmelerinin HR-XRD ile analizi

Analysis of residual stresses of AIN buffer layers by HR-XRD

PDF İndir

  1. Tez No: 569514
  2. Yazar: CELAL AVAR
  3. Danışmanlar: PROF. DR. METİN ÖZER
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2019
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Gazi Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Fizik Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
  13. Sayfa Sayısı: 79

Özet

Bu tezde, metal-organik kimyasal buhar biriktirme (MOCVD) tarafından safir alttaşlarda biriktirilmiş farklı kalınlıkta AlN tamponlu iki, yüksek elektronlu mobilite transistör yapısı (HEMT) üretildi. AlN tampon tabakası cihazın performansı için kritik öneme sahiptir. Bu nedenle mozaik model kullanılarak analiz edilen gerilmelerin etkisi gözlemlendi. AlGaN / AlN / GaN hetero-yapıları, X-Ray difraksiyonu (XRD) ve Atomik kuvvet mikroskobu (AFM) ile incelendi. Yapılarda GaN, AlGaN, AlN katmanlarının mozaikliğini değerlendirmek için mozaik modeli de kullanıldı. Yanal ve düşey kristal büyüklüğü, çıkık, eğim ve leke tabakaları, HR-XRD cihazı ile Vegard ve William Hall (WH) yarı deneysel yöntemleriyle incelenmiştir. XRD sonuçlarına göre; Tampon tabakası kalınlığı azaldıkça, simetrik (002) ve asimetrik zirvelerin (105) pik yükseklik yarı genişliği (FWHM) değerleri artmaktadır. Daha kalın tampon katmanı yapıyı daha fazla kristalize eder. AFM sonuçlarına göre düşük kalınlıkta AlN tamponu daha sık çukurlara ve tepeciklere sahiptir ve daha pürüzlüdür. Sonuç olarak, 520 nm kalınlığında AlN tampon tabakası daha iyi bir yapısal performans göstermiştir.

Özet (Çeviri)

In this thesis, two high-electron mobility transistor structures (HEMTs) with different thicknesses of AlN buffer deposited in sapphire substrates by metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD) were produced. The AlN buffer layer is of great importance for the performance of the device, so the effect of the wrinkles analyzed using the mosaic model was investigated by AlGaN / AlN / GaN hetero-structures, X-Ray Diffraction (XRD) and Atomic Force Microscopy (AFM). Mosaic model was also used to evaluate the mosaicity of GaN, AlGaN, AlN layers in the structures. Lateral and vertical crystal size, dislocation, slope and stain layers were examined with HR-XRD device and Vegard and William Hall (WH) semi-experimental methods. According to XRD results; as the thickness of the buffer layer decreased, symmetrical (002) and asymmetrical peaks (105) were found to increase FWHM values. The thicker buffer layer the further crystallizes the structure. According to the AFM results, the fine AlN buffer has more frequent pits and strokes and is more rough. Finally, the 520 nm thick AlN buffer layer showed better structural performance.

Benzer Tezler

  1. Tez No

    376140

    Nitratlı fonksiyonel malzemelerin (GaN/AlN/alInN/InGaN ) mozaik kusurlarının incelenmesi

    Mosaic defect investigation in the functional materials with nitrate (GaN/AlN/alInN/InGaN )

    MEHMET TAMER

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2013

    Fizik ve Fizik MühendisliğiGazi Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. MUSTAFA KEMAL ÖZTÜRK

  2. Tez No

    812740

    Çeşitli kolloidal gümüş nanomalzemeler kullanılarak yüzey geliştirilmiş raman saçılmasıyla bisfenol – a tayini

    Determination of bisphenol–a by surface–improved raman partitioning method using various colloidal silver nanomaterials

    RABİA GÜZEL

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2023

    Bilim ve TeknolojiErciyes Üniversitesi

    Nanobilim ve Nanoteknoloji Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. ŞERİFE SAÇMACI

  3. Tez No

    445590

    Plasenta previa ve akreata olgularında inhibin-a düzeyi

    The level of inhibin-A in placenta previa and placenta accreata cases

    FATMA SEVRA BASTACI

    Tıpta Uzmanlık

    Türkçe

    Türkçe

    2016

    Kadın Hastalıkları ve DoğumMustafa Kemal Üniversitesi

    Kadın Hastalıkları ve Doğum Ana Bilim Dalı

    DOÇ. DR. RAZİYE KESKİN KURT

  4. Tez No

    165054

    Dismenore patogenezinde lökotrienlerin rolü

    Leukotrienes in the pathogenesis of dysmenorrhea

    İLKE KILIÇ

    Tıpta Uzmanlık

    Türkçe

    Türkçe

    2005

    Çocuk Sağlığı ve HastalıklarıHacettepe Üniversitesi

    Çocuk Sağlığı ve Hastalıkları Ana Bilim Dalı

    PROF.DR. TEZER KUTLUK

  5. Tez No

    350528

    Bor ve mineral katkılı selülozik yalıtım malzemesi üretimi ve karakterizasyonu

    Production of boron and mineral reinforced cellulosic insulation material and its characterization

    İBRAHİM ETHEM KARAAĞAÇLIOĞLU

    Doktora

    Türkçe

    Türkçe

    2012

    Maden Mühendisliği ve Madencilikİstanbul Teknik Üniversitesi

    Maden Mühendisliği Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. MEHMET SABRİ ÇELİK

Geri Dön