CO gazına duyarlı In2O3 gaz sensörünün üretimi ve karakterizasyonu
The preparation and characterization of In2O3 gas sensor sensitive to CO gas
- Tez No: 571604
- Danışmanlar: DOÇ. DR. MEMET ALİ YILDIRIM
- Tez Türü: Yüksek Lisans
- Konular: Elektrik ve Elektronik Mühendisliği, Mühendislik Bilimleri, Electrical and Electronics Engineering, Engineering Sciences
- Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
- Yıl: 2019
- Dil: Türkçe
- Üniversite: Erzincan Binali Yıldırım Üniversitesi
- Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
- Ana Bilim Dalı: Elektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
- Bilim Dalı: Belirtilmemiş.
- Sayfa Sayısı: 81
Özet
In2O3 ince filmler, Successive Ionic Layer Adsorption and Reaction (SILAR) yöntemi ile oda sıcaklığında 20, 30, 40 ve 50 SILAR turlarında cam taban malzemeler üzerine başarılı bir şekilde büyütüldü. İnce filmlerin yapısal, morfolojik, kimyasal bileşen ve CO gaz algılama özellikleri üzerinde SILAR turunun etkisi, sırasıyla XRD, SEM, EDAX ve gaz ölçüm sistemi ile incelendi. XRD ve SEM çalışmaları, ince filmlerin In2O3'ün kübik fazına sahip polikristal yapıda olduğu ve ince filmlerin yapısal ve morfolojik özelliklerinin SILAR turuna bağlı olduğunu göstermiştir. CO gaz algılama ölçümleri sıcaklığın ve gaz konsantrasyonunun bir fonksiyonu olarak gerçekleştirildi. İnce filmlerin algılama yanıtları çalışma sıcaklığı ile arttı ve 222 °C'de maksimum değere ulaştı. In2O3 ince film sensörleri, 222 °C çalışma sıcaklığında 1-100 ppm CO gaz konsantrasyonuna maruz kaldığında yüksek algılama yanıtları gösterdiler. Optimum çalışma sıcaklığında (222 °C) ve 50 ppm CO gaz konsantrasyonunda 20,30, 40 ve 50 SILAR turlarına sahip In2O3 ince film sensörlerinin algılama yanıtları sırasıyla %47, %84, %74 ve %63 olarak hesaplandı. 30 SILAR turuna ait ince filmin gaz algılama özelliklerinin diğerlerinden daha iyi olduğu görüldü.
Özet (Çeviri)
In2O3 thin films were successfully grown on glass substrates at 20, 30, 40 and 50 SILAR cycles at room temperature by the Successive Ionic Layer Adsorption and Reaction (SILAR) method. The effect of SILAR cycle on the structural, morphological, compositional and CO gas sensing properties of the thin films were investigated by XRD, SEM, EDAX and gas measurement system, respectively. The XRD and SEM studies indicated that the thin films had polycrystalline nature with cubic phase of In2O3 and the structural and morphological properties of the thin films depended on the SILAR cycle. CO gas sensing measurements were carried out as a function of temperature and gas concentration. The sensing responses of the thin film sensors increased with operating temperature and reached to the maximum at 222 °C. The In2O3 thin film sensors exhibited high sensing responses when exposed to CO gas concentration in the range of 1-100 ppm at operating temperature of 222 °C. At the optimal operating temperature (222 °C) and 50 ppm CO gas concentration, the sensing responses of In2O3 thin film sensors with 20, 30, 40 and 50 SILAR cycle were calculated to be 47 %, 84 %, 74 % and 63 %, respectively. It was seen that the gas sensing properties of the thin film with 30 SILAR cycle were better than others.
Benzer Tezler
- CO gazına duyarlı Cd(OH)2 gaz sensörünün üretimi ve karakterizasyonu
The preparation and characterization of Cd(OH)2 gas sensor sensitive to CO gas
ESRA DEMET MÜEZZİNOĞLU
Yüksek Lisans
Türkçe
2020
Elektrik ve Elektronik MühendisliğiErzincan Binali Yıldırım ÜniversitesiElektrik-Elektronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. MEMET ALİ YILDIRIM
- Katkılı-katkısız TiO2 nanoyapıların üretimi, fiziksel ve gaz algılama yöntemlerinin incelenmesi
Fabrication of undoped-doped TiO2 nanostructures and investigation of their physical and gas sensing properties
ERDEM ŞENNİK
Doktora
Türkçe
2015
Fizik ve Fizik MühendisliğiGebze Teknik ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ZAFER ZİYA ÖZTÜRK
- Yer altı kömür gazlaştırma teknolojisi ile Eskişehir-Alpu linyit rezervinden sentez gazı üretimi: Tekno-ekonomik değerlendirmeler
Production of the synthesis gas from Eskisehir-Alpu lignite reserve with underground coal gasification: Techno-economic assessments
FATMA ÜNAL
Yüksek Lisans
Türkçe
2019
Enerjiİstanbul Teknik ÜniversitesiKimya Mühendisliği Ana Bilim Dalı
PROF. DR. HASAN CAN OKUTAN
- Pyrolysis processes and characterisation studies on three solid fuels
Üç katı yakıtın pirolizi ve karakterizasyon çalışmaları
MURAT ÇITIROĞLU
- MS ve MIS yapılarının gaz algılama özelliklerinin incelenmesi
Investigation of gas sensing properties of MS and MIS structures
FATİH DUMLUDAĞ
Doktora
Türkçe
2000
Fizik ve Fizik MühendisliğiMarmara ÜniversitesiFizik Ana Bilim Dalı
PROF. DR. ZAFER ZİYA ÖZTÜRK
