Geri Dön

Darbeli lazer biriktirme (PLD) yöntemi ile silisyum alttaş üzerine bakır oksit ince filmlerin büyütülmesi

Copper oxide thin film growth on silicone substratewith pulsed laser deposition (PLD) method

  1. Tez No: 574420
  2. Yazar: GÖKHAN UYGUR
  3. Danışmanlar: DR. ÖĞR. ÜYESİ MUSTAFA TOLGA YURTCAN
  4. Tez Türü: Yüksek Lisans
  5. Konular: Metalurji Mühendisliği, Metallurgical Engineering
  6. Anahtar Kelimeler: Belirtilmemiş.
  7. Yıl: 2019
  8. Dil: Türkçe
  9. Üniversite: Atatürk Üniversitesi
  10. Enstitü: Fen Bilimleri Enstitüsü
  11. Ana Bilim Dalı: Nanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı
  12. Bilim Dalı: Nanomalzeme Bilim Dalı
  13. Sayfa Sayısı: 79

Özet

Tez kapsamında darbeli lazer biriktirme (PLD) yöntemi kullanılarak atış sayısı, tekrarlama frekansı, hedef-alttaş mesafesi, lazer uyarma enerjisi, ısıtma ve soğutma hızı sabit tutulup basınç ve sıcaklık parametreleri değiştirilerek ve p-tipi silisyum alttaş üzerine en iyi kristal yapıya sahip bakır oksit büyütme yapılması hedeflenmiştir. Sıcaklık 300 - 500 ℃ arasında 100 ℃'lik adımlarla, büyütme basıncı ise 50 - 200 mTorr arasında 50 mTorr'luk adımlarla değiştirilerek kristal büyütme işlemleri yapılmıştır. Ultraviyole, görünür ışık ve yakın kızılötesi (UV-VIS-NIR) soğurma, Sıyırma Açısında X-Işını Kırınımı (GIXRD), Atomik Kuvvet Mikroskobu (AFM) ve Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM) teknikleri kullanılarak ince filmlerin yapısı tayin edilmeye çalışılmıştır. PLD ile büyütülen bakır oksit ince filmlerden kristal yapı olarak en iyi sonuç, düşük basınç ve düşük sıcaklık (300 ℃ ve 100 mTorr) değerlerinde elde edilmiştir. 300 ℃ ve 100 mTorr basınçta büyütülen bakır oksit ince filmin AFM analizi sonucu aritmetik ortalama pürüzlülüğü 2,19 nm olarak tespit edilmiş ve film kalınlığı 400 - 460 nm olarak tayin edilmiştir. Büyütülen bakır oksit ince filmlerde en küçük tanecik boyutu 20 nm, en büyük tanecik boyutu 140 nm olmuştur. Büyütülen bakır oksit ince filmlerde tanecik boyutunun sıcaklık ve basınç artışı ile arttığı gözlemlenmiştir.

Özet (Çeviri)

In this thesis, pulse number, repetition frequency, target-substrate distance, laser excitation energy, heating and cooling speed were kept constant, pressure and temperature parameters were changed by using pulsed laser deposition (PLD) method and the best crystalline copper oxide growth on p-type silicon substrate was aimed. Crystalline growth was performed by changing the temperature between 300 - 500 ℃ 100 ℃ steps and pressure between 50 - 200 mTorr in 50 mTorr steps. Ultraviolet, visible light and near infrared (UV-VIS-NIR) absorption, Grazing Incidence X-ray Diffraction - GIXRD, Atomic Force Microscopy (AFM) and Scanning Electron Microscopy (SEM) techniques were used to determine the structure of thin films. The best result as a crystal structure of copper oxide thin film grown with PLD were obtained at low pressure and low temperature (300 ℃ and 100 mTorr). As a result of AFM analysis of copper oxide thin film grown at 300 ℃ and 100 mTorr pressure, the arithmetic mean roughness was determined as 2.19 nm and film thickness was determined as 400 - 460 nm. The smallest particle size in the expanded copper oxide thin films was 20 nm and the largest particle size was 140 nm. It was observed that the particle size increased with increasing temperature and pressure in copper oxide thin films.

Benzer Tezler

  1. Hidroksiapatitin (HAp) darbeli lazer biriktirme (PLD) yöntemi ile Ti-6Al-4V üzerine ince film olarak büyütülmesi

    Thin film deposition of hydroxyapatite (HAp) on Ti-6Al-4V via pulsed laser deposition (PLD) technique

    SEDA EKMEKÇİ

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2019

    BiyomühendislikAtatürk Üniversitesi

    Nanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı

    DR. ÖĞR. ÜYESİ MUSTAFA TOLGA YURTCAN

  2. Electron paramagnetic resonance studies on oxygen related defects in memristive system

    Memristif sistemde oksijen ile ilgili kusurlar üzerinde elektron paramanyetik rezonans çalışmaları

    BÜNYAMİN ÖZKAL

    Yüksek Lisans

    İngilizce

    İngilizce

    2019

    Fizik ve Fizik MühendisliğiGebze Teknik Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    DR. ÖĞR. ÜYESİ SİNAN KAZAN

    PROF. DR. LÜTFİ ARDA

  3. Darbeli lazer biriktirme (PLD) sistemi ile üretilen itriyum demir garnet ince filmlerin manyetik tepkisi üzerindeki gerilme etkileri

    Strain effect on the magnetic responce of yttrium iron garnet (YIG) thin films deposited by pulsed laser deposition (PLD)

    SEVGİ ÖZOĞLU

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2021

    Fizik ve Fizik MühendisliğiHakkari Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    DR. ÖĞR. ÜYESİ HASAN AĞIL

    PROF. DR. EMERSON COY

  4. Y3Fe5O12 (YIG) bileşiğinin darbeli lazer biriktirme (PLD)tekniğiyle ince film olarak büyütülmesi

    Thin film growth of Y3Fe5O12 (YIG) compound by pulsed laser deposition (PLD) technique

    ÜMMÜGÜLSÜM SOYKAN

    Yüksek Lisans

    Türkçe

    Türkçe

    2019

    Mühendislik BilimleriAtatürk Üniversitesi

    Nanobilim ve Nanomühendislik Ana Bilim Dalı

    DR. ÖĞR. ÜYESİ MUSTAFA TOLGA YURTCAN

  5. Investigating magnetic properties of dot/antidot structures in magnetic thin films for microwave device applications

    Manyetik ince filmlerdeki nokta/boşluk yapıların manyetik özelliklerinin mikrodalga cihaz uygulamaları için incelenmesi

    ZEYNEP REYHAN ÖZTÜRK

    Doktora

    İngilizce

    İngilizce

    2023

    Fizik ve Fizik MühendisliğiBoğaziçi Üniversitesi

    Fizik Ana Bilim Dalı

    PROF. DR. MEHMET LEVENT KURNAZ

    PROF. DR. FİKRET YILDIZ